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[实用新型]回转体平面度检测装置-CN201721850243.X有效
发明人：蒋新;郑绪云;陈国才;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种回转体平面度检测装置，它包括用于放置被检测回转体的旋转平台、位于旋转平台上方并可沿Z轴方向移动的检测台、连接在检测台上的至少四个测量传感器、与至少四个测量传感器分别连接的处理控制模块，检测台至少具有等待位置和检测位置，当检测台处于检测位置时，测量传感器的下端抵在回转体的被检测平面上，等待位置位于检测位置的上方，四个测量传感器包括沿X轴方向排列的第一传感器和第二传感器、沿Y轴方向排列的第三传感器和第四传感器。本实用新型回转体平面度检测装置，能够准确地测量回转体端面的平面度，本装置设计合理、结构紧凑、操作方便，测量准确。
回转体测量传感器平面度检测装置检测位置检测台本实用新型等待位置方向排列旋转平台传感器检测测量处理控制模块第二传感器第一传感器装置设计平面度下端

[实用新型]用于水槽水下传动装置的定位机构-CN201721744002.7有效
发明人：蒋新;宋浩;陈国才;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： B65G43/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于水槽水下传动装置的定位机构，伺服电机及其传动机构带动传动链在水槽内水平运动，用于承载工件的托盘固定在传动链上，传动链的两端分别为进料工位和出料工位，沿传动链的运动方向，位于托盘的两侧分别设有一根高出水槽液面的定位杆，在进料工位处从前至后依序设置有高于定位杆的原点感应传感器和上料位感应传感器，原点感应传感器和上料位感应传感器间的间距大于第一定位杆和第二定位杆的间距，其中，两根定位杆均为金属杆且包覆有防腐蚀的PP板材，原点感应传感器和上料位感应传感器为电感式传感器。本实用新型定位精度高，能够提高水下传动精度，且设备防腐蚀，使用寿命长。
定位杆传动链原点感应传感器水槽感应传感器上料位水下传动装置本实用新型托盘定位机构进料工位防腐蚀电感式传感器定位精度高承载工件出料工位从前至后使用寿命水平运动伺服电机出水槽金属杆包覆传动

[实用新型]一种便于机械臂抓取的花篮-CN201721869968.3有效
发明人：蒋新;陈熠欢;陈国才;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于机械臂抓取的花篮，包括呈长方体状的花篮本体，在所述花篮本体上相对的两个侧板、顶部具有便于机械臂抓取的抓取孔，所述抓取孔近L形，包括相连通的竖直设置的第一直槽和水平直槽，所述水平直槽的一端连接所述第一直槽的底部进而构成近L形的抓取孔，所述水平直槽的另一端向侧板上部延伸构成用于卡住所述机械臂的抓钩的n形槽，所述第一直槽的顶部呈开口状且开口朝上，便于所述抓钩竖直进入所述抓取孔。本实用新型的花篮在使用时可准确快速定位，便于抓取，能够节省外围组件的生产投入。
抓取机械臂直槽本实用新型花篮花篮本体抓钩侧板上部长方体状开口朝上快速定位竖直设置外围组件一端连接开口状侧板竖直卡住延伸生产

[实用新型]硅片退火用托盘机构-CN201721743756.0有效
发明人：蒋新;刘涛;陈国才;窦福存 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片退火用托盘机构，包括若干个摞放在一起的托盘，所述托盘包括云母制成的硅片定位板，硅片定位板限定出用于存放硅片的空腔，在所述空腔内固定有第一导电板，在金属导电板的底部固定连接有导电柱，所述导电柱的另一端固定连接有第二导电板，所述第二导电板用于与下层托盘中的硅片接触导通。本实用新型能够在硅片退火的同时，对硅片进行通电处理，提高退火效果，进一步提高硅片的性能，并且延长硅片使用寿命。
硅片退火托盘导电板本实用新型托盘机构导电柱定位板空腔云母金属导电板接触导通使用寿命通电处理内固定下层

[实用新型]在线式玻璃基板方向检测机构-CN201721741669.1有效
发明人：蒋新;毛志龙;陈国才;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G01D21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种在线式玻璃基板方向检测机构，玻璃基板沿传送导向机构进行传输，方向检测机构设置在传送导向机构的输送带上，所述方向检测机构包括现场控制器和与现场控制器相连的至少四个位置检测传感器，所述至少四个位置检测传感器包括对应于玻璃基板的三个边角所设的三个位置检测传感器以及用于检测玻璃基板到位情况的第四传感器，其中，设置在所述输送带上的第四传感器位于所述输送带宽度方向中部。本实用新型能够结构简单，能够可靠检测玻璃基板的方向，并给予工人提示，结合现场控制器实现产线的智能控制。
玻璃基板位置检测传感器现场控制器输送带传送导向机构本实用新型在线式传感器输送带宽度方向玻璃基板沿可靠检测智能控制边角产线提示传输检测

[实用新型]一种恒压补液装置-CN201721742165.1有效
发明人：蒋新;胡全;陈国才;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种恒压补液装置，包括竖直放置的用于存放药液的药液盒，药液盒内竖直设置有液位检查器，药液盒的出液口处设置有出液电磁阀，所述液位检查器的检测信号送至与其相连的PLC控制单元，所述PLC控制单元的控制端与所述出液电磁阀相连，所述液位检查器为液位传感器，在所述药液盒的进液口设置有进液电磁阀，所述进液电磁阀与所述PLC控制单元的控制端相连，其中，所述出液电磁阀中设置有用于降低出液流速的节流片。本实用新型能够精确控制药液盒加液量，进而能够提高产品良品率。
药液盒出液电磁阀检查器液位本实用新型进液电磁阀补液装置控制端恒压液位传感器检测信号竖直放置竖直设置出液口加液量节流片进液口良品率液流速

[发明专利]硅片退火用托盘机构-CN201711339806.3在审
发明人：蒋新;刘涛;陈国才;窦福存 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片退火用托盘机构，包括若干个摞放在一起的托盘，所述托盘包括云母制成的硅片定位板，硅片定位板限定出用于存放硅片的空腔，在所述空腔内固定有第一导电板，在金属导电板的底部固定连接有导电柱，所述导电柱的另一端固定连接有第二导电板，所述第二导电板用于与下层托盘中的硅片接触导通。本发明能够在硅片退火的同时，对硅片进行通电处理，提高退火效果，进一步提高硅片的性能，并且延长硅片使用寿命。
硅片退火托盘机构

[发明专利]一种晶圆刻蚀设备-CN201610177274.7有效
发明人：蒋新;施利君;窦福存 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆刻蚀设备，它包括依次设置的上料组件、刻蚀组件、水洗组件、风干组件和下料组件，上料组件与下料组件的结构相对应，所述上料组件包括可上下升降的滑轨座、可滑动地安装在所述滑轨座上的固定座、安装在所述固定座上的晶圆卡夹、设置于所述晶圆卡夹一侧的传动辊轴、与所述传动辊轴相连接用于驱动其转动的传动机构以及用于将所述晶圆卡夹内的晶圆取至所述传动辊轴上的机械臂机构。采用自动上下料的上料组件和下料组件，通过调节工艺参数可以实现自动化生产；中途不需要搬运晶圆，安全性高；刻蚀组件、水洗组件、风干组件将各工序分开，不会互相影响，工艺效果好、结构简单、容易维护、制造成本低。
一种刻蚀设备

[实用新型]在线监测玻璃基板是否破片的装置-CN201721060945.8有效
发明人：蒋新;孙巍 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种在线监测玻璃基板是否破片的装置，包括用于传送玻璃基板的传送装置，其特征是在所述传送装置上沿玻璃基板的传送方向布置一个或多个检测区域，在检测区域的进口端的两侧设置第一光纤传感器和第二光纤传感器，在检测区域的出口端的两侧设置第三光纤传感器和第四光纤传感器，第一光纤传感器、第二光纤传感器、第三光纤传感器和第四光纤传感器包围形成的检测区域与待检测的玻璃基板的大小一致，第一光纤传感器和第二光纤传感器用于对进入检测区域的玻璃基板的两侧边进行扫边。本实用新型所述的在线监测玻璃基板是否破片的装置，结构简单、检测精确、命持久，并且能够实现在线检测。
在线监测玻璃是否破片装置

[实用新型]全自动工件夹持装置-CN201720902225.5有效
发明人：陈熠欢 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种全自动工件夹持装置，包括机架，其特征是在所述机架上设置Y轴导轨和X轴导轨，X轴导轨通过滑块和Y轴导轨滑动配合，并且X轴导轨由垂直驱动装置驱动实现上下升降动作，在X轴导轨上滑动配合用于夹持压篮的夹取机构，夹取机构由水平驱动装置驱动实现水平移动；在所述夹取机构上布置有能够感应到压篮的感应器。本实用新型夹取精确，能在规定的工艺时间内完成搬运。
全自动工件夹持装置

[实用新型]一种高精度风刀调节机构-CN201720841029.1有效
发明人：姚云辉 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高精度风刀调节机构，它包括底座以及可调节地安装在所述底座上的风刀安装架，所述风刀安装架包括安装框、可滑动地安装在所述安装框内的第一滑动安装块、可滑动地安装在所述安装框内且与所述第一滑动安装块相配合的第二滑动安装块、安装在所述安装框上且端部延伸至穿入所述第一滑动安装块内的第一调节螺杆以及安装在所述安装框上且端部贯穿所述第一滑动安装块而延伸至穿入所述第二滑动安装块内的第二调节螺杆。达到了从点到线、再到面的清理方式，大大提高了风刀的有效使用率。
一种高精度调节机构

[实用新型]一种可翻转臭氧释放装置-CN201720841061.X有效
发明人：董红 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可翻转臭氧释放装置，它包括支撑基板、处于同一直线上且与所述支撑基板相枢轴连接的多个支撑底座、与所述支撑底座间隔设置且与所述支撑底座处于同一高度的至少一个油压缓冲器、安装在所述支撑基板上表面的臭氧发生器以及一端与所述支撑基板底面相枢轴连接的气缸，当所述支撑基板处于水平状态时，所述油压缓冲器支撑在所述支撑基板的下表面。这样当气缸工作而带动水平设置的支撑基板进行转动时能够比较平稳的工作，而且方便臭氧发生器的检修。
一种翻转臭氧释放装置

[实用新型]一种喷洒角度可控的喷淋组件-CN201720840894.4有效
发明人：梁林旭 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种喷洒角度可控的喷淋组件，它包括支撑底座、可转动地安装在所述支撑底座上且平行设置的多道喷淋管组以及与所述喷淋管组相连接用于带动其转动的动力传动机构，所述动力传动机构包括第一连杆、一端与所述第一连杆相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组相固定的多块连接卡块、角度调节盘、一端与所述第一连杆端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘表面的第二连杆以及与所述角度调节盘相连接用于带动其转动的电机。进而利用第一连杆带动喷淋管组的转动，实现其喷洒角度的调节和控制。
一种喷洒角度可控喷淋组件

[实用新型]一种水平传输多层工件暂存装置-CN201720840892.5有效
发明人：董红 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水平传输多层工件暂存装置，它包括支撑基框；支撑架体，所述支撑架体至少有两组，它们相互平行且间隔设置；每组支撑架体包括竖立于所述支撑基框上表面且间隔设置的多根支撑杆；所述支撑杆的侧面由下向上开设有多道豁口，相邻两根所述支撑杆开设的所述豁口一一对应；鱼线，所述鱼线的端部对应系在所述豁口上；这样能够实现对支撑架体高度的调节，从而利用不同高度的鱼线暂存输入的薄板。
一种水平传输多层工件暂存装置

[实用新型]一种具缓存功能的硅片自动上料装置-CN201720841063.9有效
发明人：张军 -专利权人： 苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2017-07-12 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具缓存功能的硅片自动上料装置，它包括支撑箱体、安装在所述支撑箱体顶部的输料箱体、安装在所述输料箱体内且首尾相对设置的至少两组输料机构、设置于所述输料机构上的至少一组花篮以及安装在所述输料机构两侧用于对所述花篮进行纠偏的定位机构。无需等待前一批次被机械手提走，具有暂存功能，极大提高劳动效率及操作的舒适性。
一种缓存功能硅片自动装置