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- [实用新型]一种硅片花篮搬送装置-CN202320605520.X有效
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聂汉军;蒋新;刘苏凯;沈红旗;施利君
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-24
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2023-06-27
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H01L31/18
- 本实用新型属于光伏设备技术领域，公开了一种硅片花篮搬送装置，包括防护罩、纵梁组件、横梁组件、第一驱动机构和第二驱动机构。防护罩顶部开设有第一过孔，防护罩的背部开设有第二过孔；纵梁组件穿设于第一过孔，与防护罩沿第一方向滑动连接；横梁组件用于搬取硅片花篮，一端与纵梁组件固定连接；第一驱动机构，安装于防护罩内，能够带动纵梁组件沿第一方向移动；第二驱动机构包括第二电机、驱动齿轮和齿条，第二驱动机构能够带动防护罩、纵梁组件和横梁组件沿第二方向整体移动。该硅片花篮搬送装置的主要传动部件均安装于防护罩内，能充分防护传动机构，避免酸气腐蚀传动机构，提升安全防护能力，减少装置故障损失，提升了装置的使用寿命。
- 一种硅片花篮装置
- [实用新型]水膜喷淋装置及刻蚀设备-CN202320606732.X有效
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王涛;蒋新;刘苏凯;沈红旗;施利君
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-24
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2023-06-27
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H01L21/67
- 本实用新型涉及光伏发电技术领域，具体公开了水膜喷淋装置及刻蚀设备，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。通过调节计量泵的参数实现精准控制出水量，在喷淋之后无需设置额外的水膜刮水装置，降低设备成本以及生产成本。
- 喷淋装置刻蚀设备
- [实用新型]循环式清洗装置-CN202320625748.5有效
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张睿愚;蒋新;刘苏凯;沈洪旗;施利君;聂汉军
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-27
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2023-06-23
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H01L21/67
- 本实用新型属于光伏制造技术领域，公开了一种循环式清洗装置，其包括内清洗槽、外层壳体、隔离层单元、循环层单元和液体处理单元。导流盖封盖在内层槽体上，内层槽体上设有第一循环口。外层壳体套在内层槽体外周，且间隔于内层槽体。隔离层单元沿内层槽体的周向连接于外层壳体和内层槽体之间，且与外层壳体和内层槽体围成隔离槽，导流盖延伸至隔离槽上方。循环层单元沿内层槽体的周向连接于外层壳体和内层槽体之间，循环层单元位于隔离层单元下方，且与隔离层单元、外层壳体和内层槽体围成循环腔，隔离层单元和循环层单元之间的内层槽体上开设有第二循环口。循环管路的一端与循环腔相连，另一端与第一循环口相连，循环泵设置在循环管路上。
- 循环清洗装置
- [实用新型]液刀刀头-CN202320480312.1有效
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隋志明;胡磊;施利君;宋金林
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-14
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2023-06-20
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B05C5/02
- 本实用新型涉及喷淋液刀技术领域，具体公开了液刀刀头。该刀头包括公刀头、母刀头和拼接刀体；公刀头包括设有第一贴合面的第一刀体，第一贴合面设有第一缓冲槽和与其连通的第一流道槽；拼接刀体设有相对的设有入液面和第二缓冲槽的第二贴合面，拼接刀体贯通有入液孔；母刀头设有相对的第三贴合面和第四贴合面，第三贴合面贴合第一贴合面，且与第一流道槽围成排液通路，第三贴合面设有与排液通路连通的稳流槽；第二贴合面贴合第四贴合面，母刀头设有连通两个缓冲槽的槽顶的中转通路；入液孔、第二缓冲槽、中转通路、第一缓冲槽和排液通路依次连通。该刀头通过设置稳流槽和两个缓冲槽的结构，预防喷淋压力波动，减少气泡产生及压力波动的影响。
- 刀刀
- [实用新型]一种基板清洗装置-CN202320789726.2有效
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沈宗豪;胡磊;施利君;宋金林
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-04-11
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2023-06-20
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B08B3/10
- 本实用新型提供了一种基板清洗装置，包括清洗室与纳米气泡发生机构，所述纳米气泡发生机构设置于所述清洗室的外部，用于向所述清洗室内提供纳米气泡；所述清洗室的侧壁上开设有入料窗口，待清洗基板由所述入料窗口进入所述清洗室内，所述清洗室内可拆卸设置有清洗支架，所述清洗支架靠近所述入料窗口，所述清洗支架上紧密排布有若干清洁毛刷，所述清洁毛刷远离所述清洗支架的一端抵住待清洗基板的表面，以刷洗待清洗基板表面的污染物质。本实用新型采用毛刷与纳米气泡的协同清洗作用，清除基板表面的颗粒物、有机物、表面氧化物及其他难溶物，提高了清洗效率，显著增强清洗效果。
- 一种清洗装置
- [实用新型]晶圆烘干装置-CN202320606249.1有效
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陈淑雯;蒋新;刘苏凯;沈红旗;施利君
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-24
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2023-06-20
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F26B9/06
- 本实用新型属于半导体加工技术领域，公开晶圆烘干装置，包括烘干箱、气体循环组件和加热组件，烘干箱设有烘干槽、出风口和进风口；风管机构包括循环风管和导入风管，循环风管两端分别连通出风口和进风口，风机机构连通循环风管，烘干气体经循环风管形成循环风干气流；导入风管两端分别连通外部空气和循环风管，导入风管能够导入外部空气以混合烘干气体，调节阀机构设于循环风管和导入风管上，调节阀机构能调节循环风管的进气流量和导入风管的进气流量；加热组件连接循环风管。本实用新型的晶圆烘干装置，能对循环风干气流中的烘干气体的流量和外部空气的流量进行调节控制，同时达到降低烘干槽内湿度和缩短升温时间的效果，对晶圆快速烘干。
- 烘干装置
- [实用新型]液槽抽风装置-CN202320616854.7有效
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黄晓晨;蒋新;刘苏凯;沈洪旗;施利君;聂汉军
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-27
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2023-06-16
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B08B15/00
- 本实用新型属于加工设备技术领域，公开了一种液槽抽风装置，包括隔舱、风扇和喷淋组件，隔舱内部设有抽风隔腔，抽风隔腔具有进风口和出风口，进风口与液槽连通，出风口连接至外部，风扇引导气流由进风口流向出风口；具体地，风扇包括抽风风扇和排风风扇，抽风风扇安装于进风口处用于将液槽内的气体抽入抽风隔腔，以避免碱性药液挥发产生的气体对工作人员造成危害，排风风扇安装于出风口处，用于将抽风隔腔内的气体排出，进行下一步的净化处理；喷淋组件设置于抽风隔腔内，用于冲洗风扇和抽风隔腔内壁，避免碱结晶附着，保证抽风装置的正常运行。
- 抽风装置
- [实用新型]清洗装置-CN202320269937.3有效
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窦鹏鑫;施利君;宋金林
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-02-21
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2023-06-16
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B08B11/04
- 本实用新型属于抛光设备技术领域，公开了一种清洗装置，其包括壳体、输送组件、喷淋机构以及排水组件，壳体包括罩体和清洗槽，罩体设置于清洗槽的上方，罩体和清洗槽之间设有进口和出口，进口和出口沿第一方向分别开设于壳体的两侧，待洗件能自进口进入壳体，再从出口出去，输送组件设置于清洗槽内且用于运送待洗件，喷淋机构设置于罩体内且用于对待洗件喷射清洗液体；排水组件沿第二方向可伸缩地设置于清洗槽的槽底且能排出清洗槽内的清洗液体，排水组件能够调节清洗槽内的水位的高度。上述结构能够提高清洗装置的清洗能力，使得玻璃基板的洁净度更好，且能够在现有清洗装置中进行调整，无需增加其他结构，成本低。
- 清洗装置
- [实用新型]运输系统-CN202320380413.1有效
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陈书良;蒋新;施利君
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2023-03-03
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2023-06-13
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B65G47/90
- 本实用新型涉及运输传送技术领域，尤其涉及一种运输系统，包括回转运输模块，回转运输模块包括依次连接形成循环的输送机构、第一滑动机构、回传机构以及第二滑动机构，输送机构、第一滑动机构、回传机构以及第二滑动机构能够带动多个滑块循环移动，多个夹爪一一对应连接于多个滑块，位于输送机构的多个夹爪能够带动被运输物品移动，第一滑动机构包括至少一个第一滑轨，第二滑动机构包括至少一个第二滑轨，多个滑块均能够滑动配合于第一滑轨以及第二滑轨。该运输系统将循环系统分为四部分独立控制的机构，即可避免传输带过长需要涨紧的情况，所以具有较长的使用寿命，且能够保证设备的正常生产进度。
- 运输系统
- [实用新型]导向轮调整装置-CN202223461866.1有效
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窦福存;施利君;陈书良
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2022-12-22
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2023-05-26
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B65G49/06
- 本实用新型公开了一种导向轮调整装置，包括安装座，安装座包括第一调节板、基座和第二调节板，第一调节板能够沿第一方向连接于机架上，第一调节板上设置有第一腰形槽，第一调节板的第一腰形槽内设置有与机架相连的第一固定件，基座设置于第一调节板，第二调节板能够沿第二方向连接于基座上，第二方向与第一方向相垂直，第二调节板上设置有第二腰形槽，第二调节板的第二腰形槽内设置有与基座相连的第二固定件，导向轮可拆卸连接于第二调节板。该导向轮调整装置能够对导向轮的安装位置进行微调，以适应导向轮长期作业后出现的磨损的情况。
- 导向调整装置
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