专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种刻蚀设备及其防爆方法-CN202111458981.0在审
  • 李晓波;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-03-11 - H01L21/67
  • 本发明属于刻蚀技术领域,公开了一种刻蚀设备及其防爆方法。该刻蚀设备包括刻蚀反应箱和储液箱,储液箱通过药液管路与刻蚀反应箱连通并形成循环通路,储液箱内设置有加热器、冷却盘管和多个温度传感器;储液箱的底部设置排液管,排液管上设置阀门,阀门被配置为在达到刻蚀设备预设的生产值或温度传感器报警时使排液管与储液箱连通,排空储液箱内的刻蚀药液。该刻蚀设备,通过药液管路在刻蚀反应箱和储液箱之间形成循环回路,能够提高刻蚀药液的利用率,同时能够有效监控刻蚀药液的温度,在刻蚀药液温度异常或者达到刻蚀设备预设的生产值时能够及时将储液箱内的刻蚀药液排出,防止发生爆炸。
  • 一种刻蚀设备及其防爆方法
  • [发明专利]一种液位检测方法与装置、可读存储介质-CN202111349487.0在审
  • 孙巍;施利君;蒋新 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-11-15 - 2022-02-18 - G01F23/80
  • 本发明实施例公开了一种液位检测方法与装置、可读存储介质,用于检测容器的当前液位高度,容器包括液位高度依次增大的多个液位等级,各液位等级处均设置有液位计;方法包括:接收各液位计输出的电信号,监测电信号的持续时间是否大于或者等于第一预设时间,若是则生成第一液位信号,若否则确定电信号为无效信号,确定至少一个第一液位信号对应的液位等级中最高的液位等级所对应的液位高度为容器的当前液位高度。本发明实施例的技术方案,避免了液位计出现因液位波动或者液位物理特性导致的误检测液位的情况,保证了对液位的精准检测。
  • 一种检测方法装置可读存储介质
  • [发明专利]一种转运小车限位装置-CN202111196581.7在审
  • 聂汉军;陈书良;施利君 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-10-14 - 2021-12-28 - B62B3/02
  • 本发明属于转运设备技术领域,公开了一种转运小车限位装置,包括支架、旋转限位件、限位杆和驱动件。旋转限位件转动设置于支架上。限位杆设置于旋转限位件上,转运小车上设置有与限位杆匹配的限位槽,限位槽沿水平方向延伸。驱动件能够驱使旋转限位件相对于支架转动,使限位杆伸入沿水平方向延伸的限位槽中对转运小车进行限位。从而通过限位杆与限位槽的配合保证转运小车的位置准确,同时避免转运小车因为地面不平发生回退现象。
  • 一种转运小车限位装置
  • [实用新型]一种清洗装置-CN202120518030.7有效
  • 沈宗豪;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-03-11 - 2021-12-14 - B08B3/10
  • 本实用新型涉及显示面板制造技术领域,公开了一种清洗装置,该清洗装置包括清洗槽、电源和控温机构,清洗槽中盛装有清洗液,待清洗件的待清洗部分浸没于清洗液中;电源的阴极与待清洗件电连接,至少部分电源的阳极浸没于清洗液中,接通电源,清洗液能够电离并产生大量气体,从而带离待清洗部分上附着的污染物;控温机构用于控制清洗槽内清洗液的温度。该清洗装置能够控制清洗过程中的温度,从而对待清洗件进行保护,避免清洗过程中温度累积升高对待清洗件造成损伤。
  • 一种清洗装置
  • [实用新型]一种平板载具阴极移动装置-CN202120259365.1有效
  • 蒋新;刘礼勇;施利君;陈书良 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-01-29 - 2021-11-19 - C25D17/06
  • 本实用新型涉及一种平板载具阴极移动装置,它包括:Z轴移动机构,Z轴移动机构包括滑轨Ⅰ和滑移设置在滑轨Ⅰ上的载台;X轴移动机构,X轴移动机构设置在载台上,X轴移动机构包括滑轨Ⅱ和滑移设置在滑轨Ⅱ上的载具支撑座;载具通电机构,载具通电机构设置在载具支撑座上;Z轴移动机构、X轴移动机构以及载具通电机构设置有两套,两套之间相距设定距离;载具,载具两端分别可分离地结合在两个载具支撑座上,载具用于承载基板。由于通过Z轴移动机构和X轴移动机构可实现载具在Z轴和X轴方向上的移动。并通过载具吊取平板,通过载具通电机构给平板通电。从而提供了一种结构简单,自动化程度高的平板载具阴极移动装置。
  • 一种平板阴极移动装置
  • [实用新型]一种基板归正装置-CN202120508853.1有效
  • 蒋新;刘斌;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-03-10 - 2021-11-12 - B65G47/22
  • 本实用新型涉及基板制造技术领域,具体公开了一种基板归正装置。该装置包括传动组件和归正组件;传动组件包括下传动件,基板能放置于下传动件上,且下传动件能带动基板移动;归正组件包括两个归正件,两个归正件分别设于传动组件的两侧,归正件能与基板的侧面相抵接,归正件滑设于同步带上,同步带垂直基板移动方向延伸,使两个归正件能同时靠近/背离彼此移动;两个归正件的移动范围能根据基板的规格调整。上述设置能根据基板的规格调整归正组件的进行归正操作时运动的极限位置,进而扩大了装置的适用范围。
  • 一种基板归正装置
  • [发明专利]一种有机废液处理装置-CN202111037668.X在审
  • 胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-09-06 - 2021-11-09 - C02F1/44
  • 本发明涉及废液处理领域,尤其涉及一种有机废液处理装置。本发明提供的废液处理装置中,通过设置加热件将待提纯液体加热至其沸点,使待提纯液体中的有机分子和水均变成蒸汽状态,再利用特种膜去除至少部分水蒸气,剩下被拦截蒸汽(包含部分水蒸气和有机分子形成的蒸汽),并通过冷却组件对被拦截蒸汽进行冷凝,进而形成有机成分浓度高于待提纯液体的回收液。加热件加热待提纯液体至其沸点,避免出现使用多级加热装置带来耗能过大的问题。
  • 一种有机废液处理装置
  • [实用新型]一种电化学沉积槽药量控制装置-CN202120257900.X有效
  • 张军;施利君;陈书良 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-01-29 - 2021-10-29 - C25D21/14
  • 本实用新型涉及一种电化学沉积槽药量控制装置,它包括:药液浓度分析仪,药液浓度分析仪与槽体相连接,且从槽体接收药液进行浓度分析;药水供应组件,药水供应组件包括用于检测药液量的称重传感器,还包括气动隔膜泵以输送药水;药水添加组件,药水添加组件连接在药水供应组件和槽体之间,药水添加组件包括加液桶和连接在加液桶上的进液管路和出液管路,进液管路连接气动隔膜泵,出液管路连接槽体。由于设置有药液浓度分析仪,从而可以实时从槽体中取出药液进行浓度分析,当药液浓度不够时通过药水供应组件和药水添加组件向槽体中加入药液,且药水供应组件中的称重传感器可以控制加药量。使得药液浓度控制更为实时。
  • 一种电化学沉积药量控制装置
  • [实用新型]一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽-CN202120259405.2有效
  • 蒋新;张军;施利君;陈书良 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-01-29 - 2021-10-15 - C03C17/00
  • 本实用新型涉及一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽,它包括:槽体;喷盘,所述喷盘用于喷射药液以促进药液流动,所述喷盘设置在所述槽体内,所述喷盘将所述槽体内间隔成至少两个分区,每个所述分区中设置有两个温度传感器;循环管,所述循环管中设置有循环泵,所述循环管连接在所述槽体周壁与所述喷盘之间,所述循环组件用于将所述槽体内药液引导至所述喷盘。由于在每个分区设置两个温度传感器,从而在其中一个温度传感器损坏时仍保证正常运行;由于循环管和喷盘的作用,促进药液流动,促进药液温度匀匀性。最终使药液温度控制更精确。
  • 一种具有高精度功能电化学沉积
  • [实用新型]一种上压轮装置-CN202120404036.1有效
  • 张帆;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-02-24 - 2021-10-15 - B65G47/22
  • 本实用新型涉及一种上压轮装置,它包括:上压轮,所述上压轮设置有两个;皮带,所述皮带为闭环结构,所述皮带套设在两个相距一定距离的皮带轮上;连接杆,所述连接杆设置有两个,所述连接杆的下端分别连接对应的所述上压轮,两个所述连接杆的上端分别连接在所述皮带的相向移动部位上。由于两个上压轮通过连接杆连接在皮带上,因此当皮带由皮带轮带动旋转时,两个上压轮之间发生相向或背向运动,从而两个上压轮之间的距离得以调整,于是能够适应不同尺寸的基板。
  • 一种上压轮装置
  • [实用新型]一种消泡储液槽-CN202120404166.5有效
  • 李晓波;施利君;宋金林 - 苏州晶洲装备科技有限公司
  • 2021-02-24 - 2021-10-01 - B01D19/02
  • 本实用新型涉及一种消泡储液槽,它包括:槽体;回流管路,所述回流管路的出液口延伸进所述槽体内;回流挡板,所述回流挡板设置在所述回流管路出液口下方,所述回流挡板具有倾斜部分。由于在回流管路出液口下方设置了回流挡板,回流挡板具有倾斜部分,药液从回流管路回流时,沿着回流挡板进行流动,减缓流动速度,减少药液与药液之间的直接撞击,从而减少泡沫的产生。
  • 一种消泡储液槽

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