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- [实用新型]用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构-CN202320114196.1有效
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赵裕兴;高峰
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-01-17
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2023-07-25
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于晶圆贴膜后的自动撕膜机构,包括撕膜手臂、撕膜台及放膜烫膜组件,撕膜手臂设于撕膜台的一侧,且撕膜手臂与撕膜台呈相邻平行设置,放膜烫膜组件安装于撕膜台的正上方,利用压膜气缸通气压紧胶带,控制托板二气缸推进带动第二托板伸出,使得交代穿过压膜块的凹槽,与此同时放膜电机通电进行皮带传动,保证卷材胶带处于绷紧状态,再将贴附背胶的晶圆片置于吸附盘上,对有背胶面朝上进行晶圆片加热,最后利用旋转电机驱动吸附盘转动角度,便于撕膜处理。本实用新型结构紧凑,能够实现晶圆表面的自动化撕膜,并同时集成至晶圆加工的自动化流水线中,有效提高作业效率,降低人工成本。
- 用于晶圆贴膜后自动机构
- [实用新型]一种棱镜自动分离装置-CN202320555233.2有效
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赵裕兴;高峰
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-03-21
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2023-07-25
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B65G47/91
- 本实用新型涉及一种棱镜自动分离装置,包括基板、气缸、固定侧板、固定横板、连接板、移动机构、第一导向块、固定端板和第二导向块,气缸底部的驱动端通过转接板与位于基板正下方的固定横板相连接,第一导向块沿着Y轴方向的至少一侧设置有移动机构,移动机构包括若干个沿着X轴方向均匀设置有的移动块,任意一个移动块均同时从外至内依次与第二导向孔和第一导向孔相连接。本实用新型可以取出多颗棱镜,效率较高;本实用新型可对多颗棱镜同时吸附,机构同时水平运动,棱镜无上下方向运动,减少磕碰造成的外观问题,提高良率。
- 一种棱镜自动分离装置
- [发明专利]晶圆贴膜用贴膜辊检测装置-CN202310297106.1在审
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赵裕兴;王乾宝
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苏州德龙激光股份有限公司
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2023-03-24
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2023-07-04
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G01B5/14
- 本发明公开了一种晶圆贴膜用贴膜辊检测装置,包括V形块一、外导轨、内导轨和V形块二,外导轨的左侧安装有V形块一,外导轨的右侧安装有内导轨,内导轨可在外导轨内沿着左右方向移动,内导轨的右侧安装有V形块二,内导轨的前端面上沿着左右方向安装有刻度尺。本发明用于对贴膜辊水平度、平行度以及间距的检测,确保安装精度,确保实现较好的贴膜效果,可提高生产效率;通过设置刻度尺能够清楚查看各个辊子间隙,方便后续调平;通过设置V形块一和V形块二可以在不同直径辊子直径进行检测;通过设置调整旋钮,能够固定内导轨在不同位置,便于检测后对比不同的距离。
- 晶圆贴膜用贴膜辊检测装置
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