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- [实用新型]动力机构及包括它的机械手装置-CN201420561315.9有效
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史晓华
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2014-09-26
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2015-01-28
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B25J11/00
- 本实用新型公开了一种动力机构，其包括：摆动单元，其安装于驱动单元的输出轴上；第一滑动单元，其滑动连接于滑动面上，该滑动面位于该第一滑动单元的底部；第二滑动单元，其安装于摆动单元上，同时该第二滑动单元还与第一滑动单元滑动连接，该第二滑动单元的滑动方向与第一滑动单元的滑动方向相垂直。同时本实用新型还提供了一种包括这种动力机构的机械手装置。本实用新型相较于现有技术，其有效地提高了多方向运动的同步性，使得部件的运动精度和运动效率也都得以提高；同时本实用新型的结构也较为简单，主要包括了三大部件，无论是前期的制造成本还是后期的维护成本，相较于传统的机构都可以得到降低。
- 动力机构包括机械手装置
- [实用新型]纳米压印复合模板-CN201220615655.6有效
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史晓华;冀然
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2012-11-20
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2013-06-26
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G03F7/00
- 本实用新型公开了一种纳米压印复合模板；所述复合模板为三层粘接结构，上层为高弹性模量PDMS层，中层为低弹性模量PDMS层，下层为塑料板或玻璃板，所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构。本实用新型的纳米压印复合模板硬度高，弹性模量可达80Mpa，是普通PDMS模板的30~40倍，并且其本身包含PDMS层，具有一定的弹性，因此本实用新型的纳米压印复合模板既具有软模板能够形变并进行大面积压印的优点，又具有硬模板硬度高，能够精确复制高精度结构的优点，保证了纳米压印工艺的精度要求。
- 纳米压印复合模板
- [实用新型]纳米压印装置-CN201220662145.4有效
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史晓华;冀然;薛愉峰
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2012-12-05
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2013-05-01
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G03F7/00
- 本实用新型公开了一种纳米压印装置，包括顶板、气缸、腔体、加热盘和底座，所述气缸的缸体与顶板连接，气缸的活塞杆与腔体连接，所述腔体与底座活动密封形成密闭空间，所述加热盘置于该密闭空间内且通过调平机构固定于底座上，所述腔体上设有充气孔。本实用新型利用压力气体对压印模板施加压力，由于气体均布的特性，因此压印模板的压入平衡、均匀、与表面垂直，并且还设置了调平机构，通过调平机构的调整，保证了压印模板和压印基板的平整性；本实用新型通过上述两项措施克服了现有技术中因压入的不平衡、非均匀、与表面不垂直，或者压印模板、压印基板倾斜等原因造成的产品缺陷，保证了纳米结构的精确复制，保证了压印产品质量稳定。
- 纳米压印装置
- [发明专利]纳米压印复合模板及其制备方法-CN201210471464.1无效
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史晓华;冀然
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2012-11-20
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2013-03-06
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G03F7/00
- 本发明公开了一种纳米压印复合模板及其制备方法；所述复合模板为三层粘接结构，上层为高弹性模量PDMS层，中层为低弹性模量PDMS层，下层为塑料板或玻璃板，所述高弹性模量PDMS层的上表面具有微纳米压印结构；所述复合模板的制备方法包括以下步骤：1）在母模板表面旋涂抗粘剂；2）在母模板上旋涂高弹性模量PDMS；3）在高弹性模量PDMS上浇注低弹性模量PDMS；4）在低弹性模量PDMS上粘附塑料板或玻璃板；5）固化PDMS后与母模板分离，形成复合模板。本发明的纳米压印复合模板硬度高，弹性模量可达80MPa，既具有软模板能够形变并进行大面积压印的优点，又具有硬模板硬度高，能够精确复制高精度结构的优点。
- 纳米压印复合模板及其制备方法
- [发明专利]一种彩色纳米压印工艺-CN201210094991.5无效
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史晓华;冀然;陈沁
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2012-03-31
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2012-09-26
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G03F7/00
- 本发明公开了一种彩色纳米压印工艺，包括以下步骤：1）应用两个光学掩模板，利用光刻技术及硅的干法刻蚀技术制作出与相关可见光的波长相匹配的四阶模具，2）应用纳米热压印技术，将多阶模具压印于聚合物基材上形成最终产品。该产品为具有多阶微小结构的聚合物，对不同波长光反射而形成彩色条纹。体积小、质量轻、高性价比。该方法能实现彩色显示图案的直接制作，提高器件和系统的功能密度、信息密度与互联交互密度，能大大节约材料和能源。与传统硅、LIGA工艺相比，不需要通过键合、微装配实现系统集成，因此工艺过程较简单。利用物理转移机制降低成本、简化操作，而且具有较高分辨率，减少形成复杂的三维图形所需的工艺步骤。
- 一种彩色纳米压印工艺
- [发明专利]一种纳米热压印装置-CN201110450091.5无效
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史晓华;冀然;陈沁;薛愉峰
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2011-12-29
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2012-05-02
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G03F7/00
- 本发明公开一种纳米热压印装置，包括模具（16）、毛坯（15）、加热盘（14）、底座（9）、腔体（3），腔体（3）与底座（9）活动密封形成密闭空间，模具（16）、毛坯（15）和加热盘（14）封闭在该密闭空间内，所述腔体（3）内还设置有膜（6），该膜（6）在所述腔体（3）与底座（9）的密封接触面处被固定，将腔体与底座构成的密闭空间分成压力腔（12）和真空腔（11），压力腔（12）与进气道（5）相通，真空腔（11）与排气道（10）相通。本发明能使纳米压印模仁平衡、均匀、与表面垂直地压入压印基板，产品质量稳定，结构简单，操作方便。
- 一种纳米压印装置
- [发明专利]滚轮式紫外线软压印方法-CN201110118347.2有效
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陈沁;史晓华
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苏州光舵微纳科技有限公司
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2011-05-09
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2011-09-14
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G03F7/00
- 本发明公开了一种滚轮式紫外线软压印方法，包括以下步骤：1）应用微细加工技术制作硬压印模；2）利用硬压印模翻刻制作软压印模；3）在衬底表面涂覆压印胶；4）利用滚轮线性滚压软压印模，将软压印模上的压印图形压印到衬底表面的压印胶上；5）使用紫外光对压印胶进行充分曝光；6）压印胶完全固化后，剥离软压印模。本发明结合了紫外线压印、软压印和滚轮式压印的优点，克服了普通硬模压印在大面积图形转换中均匀性问题，减小了衬底弯曲和表面不平整的影响，可以实现大尺寸样片的均匀压印，整个工艺过程简单，没有高温高压过程，不需要昂贵的激光器和光学器件，压印时间短，可控性高。
- 轮式紫外线压印方法
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