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- [发明专利]用于低速重载车削钢、不锈钢的刀具涂层-CN201310718314.0无效
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李洪林;周彤;曾祥才;胡恒宁;吴春涛;李波;薛峰
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成都工具研究所有限公司
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2013-12-24
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2014-04-23
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C23C16/32
- 本发明为用于低速重载车削钢、不锈钢的刀具涂层,解决已有刀具涂层工艺复杂,而且工艺气体耗费较高的问题。所述的涂层为复合涂层,复合涂层与基体接触的为第一TiN层,依次沉积第一TiC层、第一TiCN、第二TiC、第二TiCN、第二TiN层,第一TiN层的沉积温度880900℃,沉积压力95—101KPa,使用气体为TiCl4、H2、N2、Ar,其中TiCl4用载H2带入反应炉中,TiCl4水温45—48℃,涂层厚度0.5—1um,第一TiC层沉积温度1000—1100℃,沉积压力6kPa—50kPa,使用气体为TiCl4、H2、CH4,TiCl4用载H2带入反应炉中,TiCl4水温45—48℃,涂层厚度0.5—1um,第一TiCN层沉积温度1000—1100℃,沉积压力6kPa—50kPa,使用气体为TiCl4、H2、CH4、N2、Ar,涂层厚度2—4um,第二TiC层沉积工艺及厚度与第一TiC层完全一致,第二TiCN层沉积工艺及厚度与第一TiCN完全一致。
- 用于低速重载车削不锈钢刀具涂层
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