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- [实用新型]一种浸没式光刻机-CN202320395648.8有效
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胡德立
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杭州芯微影半导体有限公司
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2023-03-06
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2023-08-22
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种浸没式光刻机，属于光刻机领域，所要解决的问题是现有光刻机中载物板清理操作繁琐的问题，采用的方案为：该装置包括为其本体的光刻机，且光刻机的上方还固定安装有位于探测头正下方的载物板；所述载物板的顶侧开设有硅片槽，所述载物板的顶侧开设有位于硅片槽的外侧的液槽，且载物板中开设有与硅片槽内腔和液槽相连通的通槽；该浸没式光刻机，通过载物板上硅片槽的设置，便于根据需求对不同半径的硅片进行卡装，同时在工作完毕后，自动向液槽中灌装清洗液即可使其沿着硅片槽的内壁自动流至排槽中，解决了现有装置需要在工作后手动对载物板进行清洗操作繁琐且易对其造成损伤的问题，本实用新型适用于光刻机领域。
- 一种浸没光刻
- [实用新型]一种回收装置-CN202320540741.3有效
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胡德立
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杭州芯微影半导体有限公司
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2023-03-20
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2023-08-22
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B05C11/08
- 本实用新型提供一种回收装置，包括用于摆放工件的工作台，所述工作台外端贴合刮板，所述刮板右侧设置支撑板，所述支撑板呈矩形结构，所述支撑板固定在收集箱上端右侧，所述收集箱右端连通设置带有开关阀排胶口，所述支撑板左端设置收集盒，且收集盒开口朝上布置，所述收集盒设置在刮板正下方，所述收集盒下端连通设置收集管，所述收集管另一端连通设置在收集箱上端，所述收集管设置在支撑板左侧，该设计实现对光刻胶的收集，防止造成浪费。
- 一种回收装置
- [实用新型]一种棱镜角度可调的光刻机-CN202320051516.3有效
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胡德立
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杭州芯微影半导体有限公司
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2023-01-09
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2023-07-04
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种棱镜角度可调的光刻机，涉及光刻机技术领域，所述光刻机中设有棱镜放置箱，所述棱镜放置箱内侧螺栓安装电动推杆，所述电动推杆的输出端滑动连接移板，所述移板侧面活动连接第一转轴和第二转轴，所述第一转轴中部花键连接第一齿轮，所述第一转轴侧端花键连接棱形安装板，所述第二转轴中部花键连接第二齿轮，所述第二齿轮表面上啮合连接条纹皮带，所述条纹皮带侧端啮合连接第一齿轮，本实用新型通过电动推杆使得光刻机棱镜可以在水平面移动位置，也可通过第一齿轮、第二齿轮和条纹皮带使棱镜转动角度，这样使得棱镜可多位置和多角度使用，进而可提升光刻机通过棱镜印制芯片的质量。
- 一种棱镜角度可调光刻
- [实用新型]一种用于主机支撑装置-CN202320692406.5有效
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胡德立
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杭州芯微影半导体有限公司
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2023-04-01
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2023-07-04
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F16M11/04
- 本实用新型提供一种用于主机支撑装置，包括开口朝上布置的壳体，所述壳体内部底端设置有配重块，所述壳体内壁滑动连接有放置板且放置板位于配重块上侧，所述放置板上端放置有主机且主机延伸至壳体上侧，所述放置板上侧设置有两个呈对称结构的矩形板且矩形板位于壳体内，两个所述矩形板的朝内端分别与主机的左右端贴合，所述矩形板朝外端与壳体内壁之间四个棱角位置均设置有弹簧，两个所述矩形板上端均设置有内低外高倾斜布置的斜板且两个斜板呈V形布置，两个所述斜板均位于壳体内，该设计达到对主机进行稳定支撑的目的，防止主机发生倾倒，提高主机的使用效果。
- 一种用于主机支撑装置
- [发明专利]一种光刻机中近距离步进照明结构-CN202111637031.4有效
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胡德立
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杭州芯微影半导体有限公司
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2021-12-29
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2022-12-13
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G03F7/20
- 本发明提供一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机，所述步进电机固定在第一支撑板一侧面，所述第一支撑板一端固定连接有导向板，所述导向板另一端固定连接有与第一支撑板平行布置的第二支撑板，所述第一支撑板与第二支撑板之间转动安装有沿导向板长度方向布置的丝杆，所述丝杆上螺纹连接有与滑块，所述滑块面向导向板的一面对称安装有可沿导向板滚动的滚轮，所述导向板面向滑块的一侧面开设有沿导向板长度方向布置的条形口，所述导向板面向滑块的一面对称开设有两个与条形口相通的阶梯槽，所述阶梯槽内滑动安插有与滚轮相接触的接触板，本发明具有如下的有益效果：实现防滚轮直接与导向板接触，延长导向板的使用寿命。
- 一种光刻近距离步进照明结构
- [实用新型]一种光刻机的晶片传送机构-CN202220222040.0有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-01-27
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2022-07-29
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种光刻机的晶片传送机构，包括第一壳体，所述第一壳体上安装有电机，所述电机的输出轴固定有连杆，所述连杆上固定有圆柱状的拨块，所述第一壳体的顶部通过支架固定有固定座，所述固定座的侧边设置有晶片出料口，所述第一壳体上转动套接有空心的转轴，所述转轴上套接有槽轮和定位盘，所述定位盘转动套接在固定座内，所述定位盘上设置有呈圆周阵列布置的晶片放置口，所述第一壳体的内部固定有固定轴，所述固定轴活动贯穿转轴，所述固定轴上固定有安装板，所述安装板上安装有推料机构。本实用新型操作方便，传送效率高。
- 一种光刻晶片传送机构
- [实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶机构-CN202220232385.4有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-01-28
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2022-07-29
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G03F7/16
- 本实用新型提供一种光刻机用晶圆片匀胶机构，包括：真空管、定位机构、晶圆片、吸盘以及匀胶碗，匀胶碗内部中间设置有所述真空管，所述真空管上端设有吸盘，吸孔开设在所述吸盘上表面，定位机构分别安装在所述真空管正前侧、正后侧、正左侧以及正右侧，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置定位机构，便于对晶圆片进行定位，无需操作人员依靠经验和肉眼观察判定晶圆和吸盘的中心是否重合，保证晶圆片和吸盘的中心重合，提升产品质量，同时提升操作人员的工作效率，调节平台与定位板的设计，使得定位板能够进行位置调节，以此使得四个弧板聚拢或者分散，用以应对不同直径的晶圆片，提升设备的使用范围。
- 一种光刻机用晶圆片匀胶机构
- [实用新型]一种光刻机的气液抽取分离装置-CN202220254351.5有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-02-08
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2022-07-29
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B01D19/00
- 本实用新型提供一种光刻机的气液抽取分离装置，包括：光刻机主体、控制面板、观察门以及加工门，光刻机主体正面上方设计设置有控制面板，光刻机主体右侧面中间设置有观察门，控制面板右侧下方设置有加工门，光刻机主体内部下方设置有工件台，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置抽气泵和抽水泵，抽气泵能够通过分支抽气管抽取光刻机主体内部的气体，抽液泵能够通过分支抽水管抽取工件台上方的液体，使光刻机主体内部的气体和液体能够快速分离，使得本实用新型更加实用，通过设置液体箱和气体箱，能够使气体和液体分类储存，在排出时使其能够分类排出，在实际使用的时候，更适合光刻机技术领域。
- 一种光刻抽取分离装置
- [发明专利]一种基于ITP成像的接近式步进器-CN202210126919.X在审
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-02-11
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2022-06-17
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H02K11/20
- 本发明提供一种基于ITP成像的接近式步进器，包括横板，所述横板一端固定连接有竖向布置的第一支板，所述横板另一端固定连接有竖向布置的第二支板，所述第一支板与第二支板之间转动安装有与横板平行布置的丝杆，所述丝杆上螺纹连接有用于安装ITP成像设备的滑座，所述第一支板与第二支板之间安装有与丝杆平行布置的螺纹杆，所述螺纹杆上套设有两个支座，所述支座的两侧均设有用于限制支座与螺纹杆相对位置的螺母，所述载板竖直部安装有可拆卸的用于控制步进电机正转和反转的接近开关，本发明具有如下的有益效果：实现根据产品的尺寸调整两个接近开关的间距，避免出现ITP成像设备移动至超出产品尺寸范围以外或产品未被完全采集图像的情况。
- 一种基于itp成像接近步进
- [发明专利]一种接近式扫描步进光刻机-CN202210132874.7在审
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2022-02-14
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2022-06-14
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G03F7/20
- 本发明提供一种接近式扫描步进光刻机，包括光刻机本体，光刻机本体的加工腔内部底端滑动连接工作台板，光刻机本体后端固定连接伸缩设备的固定部，伸缩设备的活动部穿过光刻机本体并与工作台板连接，工作台板左右两端均固定连接齿条，齿条背离工作台板一端啮合齿轮，光刻机本体的加工腔内部底端前侧位置对称转动连接两个螺杆，且螺杆外端螺纹连接套筒，光刻机本体前端滑动连接盖板，盖板后端对称固定连接两个连接杆，与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：利用伸缩设备，使工作台板移动，并在齿条、齿轮、套筒以及螺杆作用下，使盖板上下运动，达到工作台板运动与盖板开合产生联动的目的，便于使用，提供工作效率。
- 一种接近扫描步进光刻
- [实用新型]一种光刻机的不间断放料设备-CN202123140847.4有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2021-12-13
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2022-06-07
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B65G47/82
- 本实用新型提供一种光刻机的不间断放料设备，包括带式输送机构，所述带式输送机构上端左侧边缘位置固定连接矩形盒，所述矩形盒上端后侧边缘位置固定连接U型定位板，所述矩形盒前端上侧边缘位置转动连接平板，所述矩形盒前端固定连接U型支撑架且U型支撑架处在平板下端，所述矩形盒内部底端固定连接锥形底板，所述锥形底板的斜面上端左侧边缘位置滑动连接推板，所述矩形盒左端下侧固定连接伸缩设备，所述伸缩设备的活动部穿过矩形盒并与推板固定连接，该设计利用U型定位板对物料进行定位，使物料整体结构均处在矩形盒开口上端，使物料可直接进入矩形盒内，达到向矩形盒内便捷的补充物料的目的，提升工作效率。
- 一种光刻不间断设备
- [实用新型]一种光刻机用边胶去除装置-CN202123157210.6有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2021-12-15
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2022-06-07
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G03F7/42
- 本实用新型提供一种光刻机用边胶去除装置，包括用于限制芯片移动路径的导轨，所述导轨横截面为C字形，所述导轨一侧面开设有条形口，所述条形口内安装有可拆卸的用于去除芯片上边胶的切刀件，所述导轨背离条形口的一侧设有用于限制芯片另一端位置的L型板，所述L型板面向导轨的一面中部位置固定连接有方形杆，所述方形杆安插在方形管内，所述方形杆通过夹紧螺丝固定在方形管内，所述方形管远离方形杆的一端与导轨固定连接，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现根据芯片的宽度调整导向结构的宽度，扩大适应范围，提高通用性。
- 一种光刻机用边胶去除装置
- [实用新型]一种光刻机的激光器用光轴校准装置-CN202123158619.X有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2021-12-14
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2022-06-07
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G03F7/20
- 本实用新型提供一种光刻机的激光器用光轴校准装置，包括校准筒和设置在校准筒内的激光器，所述校准筒外表面呈环形等距开设有三个螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有用于调整激光器位置的调节螺杆，所述调节螺杆上套设有与螺纹孔同心布置的限位套，所述限位套一端与校准筒固定连接，所述限位套内远离螺纹孔的一侧滑动安装有压盘，所述压盘背离螺纹孔的一面开设有圆孔，所述调节螺杆贯穿圆孔，所述压盘通过连接件与调节螺杆转动连接，所述压盘与螺纹孔之间设有压缩弹簧，所述压缩弹簧套设在调节螺杆上，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现利用压缩弹簧的回弹力防调节螺杆发生自传，提高光轴校准的稳定性。
- 一种光刻激光器用光轴校准装置
- [实用新型]一种光刻机用废料清理设备-CN202123171856.X有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2021-12-16
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2022-06-07
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B08B5/02
- 本实用新型提供一种光刻机用废料清理设备，包括防尘风机，所述防尘风机的输出端与连管的一端连通固定，所述连管上滑动设置有连板，所述连板的背离连管的一端设置有伺服电机，所述伺服电机的输出端穿过连板并与三角板固定连接，所述热风管、第一清洁管以及第二清洁管穿过三角板的一端与连管的一端相配合，所述防尘风机的一侧端面设置有安装板，所述安装板上设置有液压杆，所述液压杆的输出端与连板的一侧端面固定连接,与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：避免了因水渍附着在曝光平台上，无法清理，导致后续的光刻失焦，影响对芯片的光刻作业。
- 一种光刻废料清理设备
- [实用新型]一种光刻机衬底定位装置-CN202123107295.7有效
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胡德立
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江苏微影半导体有限公司
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2021-12-10
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2022-06-07
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G03F7/20
- 本实用新型提供一种光刻机衬底定位装置，包括底座以及转动连接在底座前端的衬底板，所述底座后端中间位置固定连接第一驱动设备的固定部，所述第一驱动设备的活动部贯穿底座并固定连接大锥形齿轮，所述大锥形齿轮外端等距啮合三个小锥形齿轮，所述小锥形齿轮背离大锥形齿轮一端固定连接螺杆，所述螺杆外端螺纹连接螺母座，所述螺母座前端可拆卸连接定位柱，所述衬底板前端等距开设呈圆形布置的三个导向通槽，所述定位柱贯穿导向通槽，该设计利用大锥形齿轮以及三个小锥形齿轮，会使三个螺杆进行同步转动，会使三个螺母座以及相应的定位柱向内移动，从而利用三个定位柱，达到对圆晶产品进行三点定位夹持的目的，提升定位效果，适用性好。
- 一种光刻衬底定位装置
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