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[发明专利]一种PERC电池背面钝化工艺-CN202011450501.1有效
发明人：孙长红;杨文豹;秦积海;贾慧君 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种PERC电池背面钝化工艺，包括以下步骤：(1)将预处理后的硅片背面朝上放在载板上，然后放进ALD设备的进料腔中并抽真空到5mbar；(2)将步骤(1)的载板传送进预热腔加热至140℃，预热完毕；(3)调节ALD设备中工艺腔的温度至260℃，并将预热完毕后的载板传送到工艺腔内进行背面钝化处理；其中，步骤(3)重复两次。本发明中分两次钝化，并将不同比例水和三甲基氯按次序接触硅片背表面并沉积进行背面钝化，该处理工艺，能够大幅减少背钝化不均匀造成的PECVD镀膜不均匀以及EL不良问题。
一种 perc 电池背面钝化工艺

[发明专利]匹配SE的太阳能电池扩散方法-CN202111570976.9有效
发明人：郭海志;张伟;秦积海;王成;崔宁;聂文君 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种匹配SE的太阳能电池扩散方法，属于太阳能电池生产技术领域。包括：预沉积；一次沉积；一次氧化；二次沉积；二次氧化；推进；降温；三次氧化；三次沉积；四次氧化；四次沉积；通氧。通过设置四个沉积步骤，使得扩散反应更加充分，减少反应残留物。通过升温沉积，可以在沉积过程激活活性P，提高电池片效率。另外，通过多步少量的多次氧化，使反应更加彻底，增加了氧化层厚度，可以有效减少SE激光对表面绒面的损伤，同时减少了后续沉积对硅基底表面浓度的影响，在保证SE激光后可以得到良好欧姆接触的同时，减少表面浓度，提高少子寿命，增加了电池片的整体效率。
匹配 se 太阳能电池扩散方法

[实用新型]太阳能电池片的电注入设备-CN202223093434.X有效
发明人：田甲;张伟;秦积海;崔宁;徐国栋;郝鹏飞;穆晓超;王裕;贾慧君 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能电池片的电注入设备，属于太阳能电池制造技术领域。包括：上电极和下电极相对安装于工艺腔体中，上电极和下电极通过导线连接外接电源，上电极下表面连接有上盖板，下电极上表面连接有下盖板，上盖板上表面一侧、下盖板下表面一侧各安装有一个热电偶且两个热电偶分别与上电极和下电极连接，工艺腔体两侧与上盖板和下盖板之间的间隙相对应的位置安装有若干个红外温度测试仪，工艺腔体上每个红外温度测试仪旁边均开设有吹气孔，热电偶和红外温度测试仪均与吹气控制设备连接。本实用新型可以最大程度确保光伏组件不会因电注入而出现功率衰减及EL明暗现象，使得光伏组件整体光衰波动比较小。
太阳能电池注入设备

[发明专利]单晶PERC电池的制绒液及其制绒方法-CN202211348883.6在审
发明人：李浩;张伟;秦积海;崔宁;王晶;宋小刚;程风 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶PERC电池的制绒液及其制绒方法，属于太阳能电池制造技术领域。制绒液包括第一制绒液和第二制绒液；第一制绒液由下述重量百分比的原料组成：浓度为45％的KOH溶液1％‑2.5％，制绒添加剂0.3％‑0.7％，其余部分为去离子水；制绒添加剂由下述原料组成：去离子水、绒面刻蚀剂、络合剂、澄清处理后的糖蜜、表面活性剂及消泡剂；第二制绒液由下述重量百分比的原料组成：浓度为45％的KOH溶液0.05％‑0.1％，其余部分为去离子水。通过本发明制绒后，电池片转换效率得到了提高，在单晶PERC电池片表面形成小而均匀的绒面，降低绒面的反射率，减少化学品的使用，节约了成本。
perc 电池制绒液及其方法

[发明专利]单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片-CN202211365671.9在审
发明人：李宏;秦积海;张伟;王菲;李云鹤;李文敏 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片，属于太阳能电池制造技术领域。制备方法包括背钝化工艺，背钝化工艺包括：在热氧化后的单晶硅片背面沉积Al2O3层，其中，沉积所述Al2O3层时控制TMA/H2O的比例为2.3‑3，控制Al2O3层的厚度为2.8‑5nm；在Al2O3层背面通过PECVD背镀工艺沉积SixNy层，其中，PECVD背镀工艺中控制氨气通入量为5000‑6500sccm，PECVD设备的射频功率为9000‑12500kW。本发明在保证单晶PERC电池片转化效率准确的基础上，可以降低单晶PERC电池片的爆膜比例，以及降低由于边缘缺陷导致的不良比例。
perc 电池制备方法

[发明专利]PERC电池的热氧工艺及PERC电池-CN202211304322.6在审
发明人：郭海志;张伟;秦积海;崔宁;李巧炜;聂文君;吕霞 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司;晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种PERC电池的热氧工艺及PERC电池，属于太阳能电池制备技术领域。包括：设置低压管式炉的温度为500‑650℃，并向炉内通入氧气和氮气，通氧量为500‑1500sccm，通氧时间为10‑25min，氮气流量为1500‑3000sccm；将低压管式炉的温度降低至450℃‑550℃，时间为5‑20min，并继续向炉内通入氧气和氮气，通氧流量为0‑1500sccm，氮气流量为1000‑5000sccm。本发明在不影响PERC电池效率的基础上，降低了PERC电池背面小白点的数量，提高了PERC电池背面的美观度。
perc 电池工艺

[实用新型]一种多层减反膜结构-CN202123164249.0有效
发明人：李宏;秦积海;张伟;王菲;李云鹤;任彭霞 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L31/054 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多层减反膜结构，包括自下而上依次设置的底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜；所述底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜均为氮化硅膜，且各层的折射率递减。本实用新型提供了一种具有折射率递减的多层减反膜结构，通过匹配各膜层间的氮硅比例来降低表面反射率，提高了光的利用率，从而提升光电转化效率。
一种多层膜结构

[发明专利]一种PERC单晶太阳能电池片边缘缺陷消除方法-CN202111209976.6在审
发明人：李宏;贾慧君;秦积海;张伟;王菲;李云鹤;青青 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明公开了一种PERC单晶太阳能电池片边缘缺陷消除方法，包括以下步骤：将单晶硅片进行制绒、清洗、去薄并形成绒面；将单晶硅片进行扩散制结，形成PN结层；在PN结层表面进行激光推进，刻蚀清洗，然后进行背面抛光；对单晶硅片进行热氧处理，然后在背面进行AL2O3原子沉积，形成背钝化的AL2O3薄膜；在单晶硅片的正面进行镀膜，形成Si3N4减反射膜；对单晶硅片进行氧化铝层退火处；在退火处理后的氧化铝层表面进行镀膜，形成Si3N4保护膜，印刷，烧结，得到PERC单晶太阳能电池片。本发明中增加氧化铝层退火处理后，大大增加了烧结工艺窗口，使烧结温度得以大范围匹配银浆，达到效率提升、B级降低的效果。
一种 perc 太阳能电池边缘缺陷消除方法

[发明专利]一种光伏SE电池及其制备方法-CN201911397716.9有效
发明人：王成;王苗;秦积海;贺稷泽;武建园;秦大威;薛少强;贾慧君 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种光伏SE电池，包括背场极、背电极、保护膜、钝化层、P型硅基底、PN结层、SE激光推进层、氧化修复层、减反射膜层、副栅线电极和主栅线电极，通过各层结构之间相互配合，可以获得较高的太阳能电池转化率；而且本发明公开了一种光伏SE电池的制备方法，整体制备工艺流程简单，原料简单易得，能够明显降低生产成本。
一种 se 电池及其制备方法

[发明专利]一种PECVD石墨舟的电池片插片方法和PECVD石墨舟-CN201911328507.9在审
发明人：李宏;秦积海;王苗;孙长红;李亚兵;贾慧君 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种PECVD石墨舟的电池片插片方法和PECVD石墨舟，先控制机械手夹取电池片，带动电池片运动，使电池片与石墨舟片保持平行，并且使电池片处于卡点斜壁正上方，并进一步移动，使电池片与三个卡点卡接位置吻合；再次带动电池片向正上方移动至适当位置，并处于卡槽与卡点斜壁之间位置正上方1mm处，控制机械手释放电池片，使电池片自由落体沿卡点的卡点斜壁下滑至卡槽底部；通过采用本发明的电池片插片方法，使电池片与石墨舟片贴合过程中无相对摩擦，能够大幅度降低因电池片与石墨舟片相对摩擦产生的返工数量及成品电池片的EL不良。
一种 pecvd 石墨电池片插片方法

[发明专利]一种PERC太阳能电池的电注入装置及注入工艺-CN201911100435.2在审
发明人：田甲;王苗;郝鹏飞;常骞;秦积海;张冬冬;李宏;袁团;王国杰;李昌恩;刘学飞 -专利权人：晋能光伏技术有限责任公司
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L31/0725 文献下载
摘要：本发明公开了一种PERC太阳能电池的电注入装置及注入工艺。它包括工艺腔内的堆叠电池片、堆叠电池片的上电极表面设置的上热电偶以及堆叠电池片的下电极表面设置的下热电偶，工艺腔内的中间位置还设置有温度测试仪，上热电偶、下热电偶以及温度测试仪能够对工艺腔的顶部、底部以及中间部分进行温度监测，从而能够通过降温装置根据监测数据对堆叠电池片进行温度控制。其优点是：其结构简单、使用方便，可以在电注入过程中，在保证成本、能耗不增加的基础上，对工艺腔进行多点控温，重新定义后的处理工艺并且对电注入时上下电极电压、恒定电流和工艺时间进行特殊设计，大幅减少了LID光致衰减不均匀问题且在生产过程中很好控制了生产成本。
一种 perc 太阳能电池注入装置工艺

[实用新型]一种能够提高镀膜均匀性的石墨载具-CN201820681766.4有效
发明人：韩晓辉;秦积海 -专利权人：晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的能够提高镀膜均匀性的石墨载具，沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑，支撑架之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离，从外侧向内侧支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片间距逐渐缩小，以提高电场强度，补偿因温度不同导致的膜层沉积速度的不同，实现了对膜层沉积速度的有效控制，使得膜层厚度均匀性表现更为优异。
支撑架石墨舟太阳能晶硅电池片镀膜均匀性石墨载具膜层厚度均匀性本实用新型横向并列膜层沉积陶瓷支撑有效控制支撑固定逐渐缩小不均匀沉积炉对膜层沉积分隔装载支撑表现

[发明专利]一种能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具-CN201810435159.4在审
发明人：韩晓辉;秦积海 -专利权人：晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2018-05-09 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的能够提高镀膜均匀性的方法及石墨载具，沉积炉内设置若干横向并列的能够装载太阳能晶硅电池片的石墨舟，每片石墨舟通过支撑架支撑固定，相邻支撑架之间通过陶瓷支撑套分隔支撑，支撑架之间距离不均匀，位于外侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离大于位于内侧的支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片之间距离，从外侧向内侧支撑架上石墨舟中的太阳能晶硅电池片间距逐渐缩小，以提高电场强度，补偿因温度不同导致的膜层沉积速度的不同，实现了对膜层沉积速度的有效控制，使得膜层厚度均匀性表现更为优异。
支撑架石墨舟太阳能晶硅电池片镀膜均匀性石墨载具膜层厚度均匀性横向并列膜层沉积陶瓷支撑有效控制支撑固定逐渐缩小不均匀沉积炉对膜层沉积分隔装载支撑表现

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