专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于LDI光伏曝光机的光路降温装置-CN202320498085.5有效
  • 祝世君;邓小虎;张浩为;武林 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-03-10 - 2023-09-22 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种用于LDI光伏曝光机的光路降温装置,包括所述光路降温装置包括导热块、液冷管道,以及固定组件;所述导热块通过固定组件固定于LDI光伏曝光机的光路中;所述液冷管道开设于导热块的内部,且所述液冷管道的两端设置有用于液体进出的进水口和出水口,所述液冷管道配合导热块通过液冷循环进行光路降温;所述固定组件包括开设于导热块的若干个固定孔,以及设置于所述固定孔的紧固件。本实用新型通过设置导热块,并在内部设置管道,外接水冷装置。并将其固定在光路的外壁处。通过水冷机对光路的闭环式温控,使得整体温度的变化在设定值的±0.2℃内稳定波动,从而极大限度的降低了温升对曝光的影响。
  • 一种用于ldi曝光降温装置
  • [发明专利]兼容轮廓对位的mark对位方法以及对位装置-CN202310447958.4在审
  • 武林;祝世君;张浩为 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-04-24 - 2023-08-15 - G03F9/00
  • 本发明提供一种兼容轮廓对位的mark对位方法以及对位装置,其兼容轮廓对位的mark对位方法在待对位工件的边缘上方设置若干mark对位相机获取待对位工件的边缘处的局部图像,在待对位工件上位于所述mark对位相机的视场内设置mark标记,通过所述局部图像中的mark标记实现mark对位操作;从所述局部图像中提取待对位工件的边缘,拟合得到待对位工件的完整边缘,依据所述完整边缘的数据解算所述待对位工件的位姿。该兼容轮廓对位的mark对位方法通过在待对位工件上方同时适应待对位工件的边缘与设置在边缘处的mark标记而设置的mark对位相机实现兼容有mark对位曝光与无mark对位曝光,能够提高设备兼容性与利用率,降低厂家的初始设备投入,摊薄生产成本。
  • 兼容轮廓对位mark方法以及装置

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