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[发明专利]一种基板作业平台-CN202010589511.7在审
发明人：刘正勇;张作军;刘晏;王广炎;盛俭;吕海波;沈洪星;何烽光;黄振东;李然;熊海军;刘同心 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本发明涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台，该基板作业平台包括：架台组件，架台组件包括机架和支撑盘；基板承载组件，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台安装于支撑盘；基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；至少一个龙门组件，每个龙门组件沿平行于承载面的第一方向可移动地安装于支撑盘；每个龙门组件上设至少一个工作组件，且至少一个工作组件沿平行于承载面的第二方向可移动地安装于龙门组件；每个工作组件与龙门组件间可拆卸连接；每个龙门组件上还设有驱动部，驱动部用于驱动工作组件动作；设于支撑盘、用于驱动龙门组件动作的驱动机构。上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的多功能作业。
一种作业平台

[发明专利]一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质-CN202110737207.7在审
发明人：何烽光;冯晓庆;刘晏;刘正勇;盛俭 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质，所述方法包括：基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标；以及移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件；控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。该方法预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，可以控制两个转移执行器微调以对准转移目标，最终分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上，实现快速的转移。
一种转移设备方法装置电子设备介质

[实用新型]一种基板作业平台-CN202021196785.1有效
发明人：刘正勇;张作军;刘晏;王广炎;盛俭;吕海波;沈洪星;何烽光;黄振东;李然;熊海军;刘同心 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台，该基板作业平台包括：架台组件，架台组件包括机架和支撑盘；基板承载组件，基板承载组件包括基板承载平台，基板承载平台安装于支撑盘；基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；至少一个龙门组件，每个龙门组件沿平行于承载面的第一方向可移动地安装于支撑盘；每个龙门组件上设至少一个工作组件，且至少一个工作组件沿平行于承载面的第二方向可移动地安装于龙门组件；每个工作组件与龙门组件间可拆卸连接；每个龙门组件上还设有驱动部，驱动部用于驱动工作组件动作；设于支撑盘、用于驱动龙门组件动作的驱动机构。上述基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的多功能作业。
一种作业平台

[发明专利]一种基板校准装置、基板校准方法及基板搬运装置-CN201811404516.7在审
发明人：沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李建中;熊海军;张作军;李英旭 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板校准装置、基板校准方法及基板搬运装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台。为对基板进行定位，该装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位。为提高对基板的定位精度，该装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。
一种校准装置方法搬运

[实用新型]一种自升式混凝土布料机-CN201920582835.0有效
发明人：李兴才;盛俭;陈海华;李兴龙;吴炳;徐令宇 -专利权人：广东重工建设监理有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： E04G21/04 文献下载
摘要：一种自升式混凝土布料机，包括底座、支撑架、回转台、升降调、承载架、配重块、输料管，承载架远离配重块一侧的底部设置有滑槽，滑槽内设置有滑轮，滑轮下方通过滚轮支架连接有滚轮；输料管在经过承载架顶端的位置设置弯折部后再穿过所述滚轮支架与滚轮滚动连接；出料端上套接有出料端口，出料端口上套接有转动的手持杆，出料口外表面上还设置有缓冲块。通过在承载架底部设置滑槽、滚轮、滚轮支架和滑轮，滚轮与输料管滚动连接，方便放置输送管，降低施工者的劳动强度，增加了输送管的施工灵活性；手持杆与出料端口、转动腔室与接驳管的配合，提高了施工者的操作便捷性。
一种混凝土布料

[实用新型]一种基板校准装置及基板搬运装置-CN201821938543.8有效
发明人：沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李建中;熊海军;张作军;李英旭 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基板校准装置及基板搬运装置，该基板校准装置包括用于承接基板并可伸缩的顶起机构、以及在顶起机构承接基板后悬浮支撑基板的气浮台。为对基板进行定位，该装置还包括用于对悬浮的基板进行预定位的第一对位单元，该第一对位单元包括多个滑动装配在气浮台上的夹持机构，且在基板的每个边缘对应至少一个夹持机构；其中，在上述的多个夹持机构滑动到第一设定位置时，多个夹持机构夹持基板以实现对基板的预定位。为提高对基板的定位精度，该装置还包括用于对预定位后的基板进行多维度调整的第二对位单元；且该第二对位单元包括设置在气浮台上的多维度调整机构、以及设置在多维度调整机构上并用于吸附基板的第一吸盘。
对位单元夹持机构基板基板校准装置对基板多维度预定位基板搬运装置承接基板调整机构顶起机构气浮吸盘本实用新型滑动装配夹持基板可伸缩的吸附基板悬浮支撑滑动气浮台悬浮

[实用新型]一种基板输送装置-CN201621431960.4有效
发明人：沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李英旭;杨凤媛 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基板输送装置，涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本实用新型的基板输送装置包括输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。本实用新型基板输送装置用于降低基板在输送过程中产生磨损、划伤或变形的可能性。
一种输送装置

[发明专利]一种基板输送装置及其控制方法-CN201611213426.0在审
发明人：沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李英旭;杨凤媛 -专利权人：合肥欣奕华智能机器有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开一种基板输送装置及其控制方法，涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本发明的基板输送装置包括输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。本发明基板输送装置用于降低基板在输送过程中产生磨损、划伤或变形的可能性。
一种输送装置及其控制方法

[发明专利]一种阵列基板检测设备的探针框架及检测设备-CN201210546649.4有效
发明人：葛兴;魏振;朱承达;盛俭;蔡元一;张力行;李清生 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种探针框架，包括架体和设置在架体上的信号分配电路板，还包括：设置在架体上的电路板，电路板上设置有通孔，且电路板内设置有与通孔一一对应的多条信号传输线路，每一条信号传输线的一端伸入与其对应的通孔内，另一端与信号分配电路板的输出端电性连接；与所述通孔一一对应的多个探针，每一对所述探针与所述通孔，所述探针的一端插入所述通孔、且所述探针插入通孔的一端与该通孔内的信号传输线电性连接。各个探针与信号分配电路板之间的电性连接均通过电路板内的信号传输线实现，探针框架上的布线简单，且能够提高探针与信号分配电路板之间信号连接的稳定性。本发明还提供了一种具有上述探针框架的阵列基板检测设备。
一种阵列检测设备探针框架

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