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[实用新型]一种碳纳米管制备设备-CN202220477490.4有效
发明人：王倩;王锴宁;付丽敏;马赛美;李志超 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种碳纳米管制备设备，属于碳纳米管制备技术领域，该碳纳米管制备设备包括反应釜体，反应釜体的左端连通有进料接口，反应釜体的右侧设置有釜盖，釜盖上设置有清洁机构，釜盖与反应釜体之间设置有开合机构，反应釜体的底部连接有倾斜机构，清洁机构包括电机，电机设置于釜盖的右侧，电机的输出端贯穿釜盖并设有转轴，转轴的左端设有连杆，连杆的另一侧设有刮板，且刮板与反应釜体的内壁相贴合，整个碳纳米管制备设备结构设置合理，构思巧妙，使用灵活，清洁快速便捷，可大大提高对碳纳米管制备效率，并且重复使用后不会对其制备材料成分比例形成影响，具有较强的实用性及市场应用前景。
一种纳米制备设备

[实用新型]一种晶圆氧化用高温扩散炉管-CN202220477440.6有效
发明人：王倩;付丽敏;马赛美;王锴宁;李志超 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆氧化用高温扩散炉管，包括炉管本体，所述炉管本体的内壁顶端中心处连接有清洁机构，所述炉管本体右侧的外壁连接有平整机构，所述炉管本体的内壁底端连接有承重底板，所述平整机构包括防护罩本体，所述防护罩本体的外壁左侧与炉管本体右侧的外壁连接，所述防护罩本体的内壁底端连接有电机，所述电机的输出端连接有螺纹杆。本实用新型通过设置有平整机构，不仅可以将进入炉管本体内的晶圆扫至平整，避免晶圆氧化不均匀而影响晶圆质量，还可以在收集时候，将晶圆统一扫至炉管本体的左侧，从而使得工作人员更好地进行收纳。
一种氧化高温扩散炉管

[实用新型]CVD涂层设备-CN202120910105.6有效
发明人： 王锴宁;王文涛;李志超;付丽敏;王倩 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了CVD涂层设备，属于CVD技术领域，解决传统CVD涂层设备废气处理效果不佳的问题。该设备包括设备本体和过滤箱，所述的设备本体与过滤箱之间设有排气管，所述的排气管中部设有抽风机，所述的排气管末端转动设有中空管，所述的中空管延伸进入过滤箱底部，且所述的中空管两端均与过滤箱转动连接，所述的过滤箱顶部设有带动中空管转动的驱动组件，所述的过滤箱顶部还设有出气管，所述的中空管下部开设有多个排气孔，所述排气孔上方的中空管外壁开设有上下迂回布置的环形斜槽，所述的中空管上部活动套设有连接环，所述连接环的外壁连接有多个连杆。本实用新型的CVD涂层设备，能够提高废气的净化效果，进一步减少环境污染和降低生产风险。
cvd 涂层设备

[实用新型]晶圆快速退火设备-CN202120910157.3有效
发明人： 王锴宁;王文涛;李志超;付丽敏;王倩 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆快速退火设备，属于退火设备领域，解决现有退火设备难以对晶圆背面进行加热退火而导致加工效率低的问题。该设备包括炉体，所述的炉体内设有转动盘，所述的炉体底部设有驱动电机，所述驱动电机的输出端与转动盘连接，所述的转动盘上设有多个用于夹紧晶圆的夹紧组件，每个所述的夹紧组件均间隔并列布置在转动盘的顶部，且所述的夹紧组件包括方形管、方形杆、压杆和拉簧，所述方形管的一端垂直安装在转动盘后侧，所述方形杆的一端滑动插接在方形管内，所述的拉簧位于方形杆下方的方形管内。本实用新型的晶圆快速退火设备，可以实现对晶圆的两面进行加热退火处理，有效提高加工效率，降低劳动强度，节约能源。
快速退火设备

[实用新型]一种管式淬火炉-CN202020572803.5有效
发明人：王玲玲;王锴宁;刘荣荣;马赛美;王倩 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及管式淬火炉技术领域，具体涉及一种管式淬火炉，包括安装套、盖板、电磁脱钩机构，电磁脱钩机构包括铰座、转动环、挂杆、铰链杆、滑动杆、导磁块、电磁铁、弹性件。本实用新型的有益效果：通过电磁铁通电产生磁性，驱动导磁块快速下移，进而使挂载杆悬挂了坩埚的自由端向下摆动，使坩埚连通钼丝快速掉落至管式淬火炉炉膛内的冷却机构上，通过快速冷却，达到淬火目的，由于采用联动设计，使得坩埚掉落比较及时，因此至少一定程度上提高了淬火的质量及效率，另外通过弹性件的弹力，使钼丝能够将坩埚悬吊在挂杆的自由端上，设置观察口，便于工作人员及时观看坩埚是否掉落。
一种淬火

[实用新型]一种立式高温化学气相沉积炉-CN202020572804.X有效
发明人：王玲玲;王锴宁;刘荣荣;马赛美;鲍婷;付丽敏 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉，包括尾气冷却机构，尾气冷却机构包括冷却箱、箱盖、混合气体进气口、气体排出口、蛇形冷凝管。本实用新型的有益效果：通过惰性气体与尾气的混合，降低了尾气的温度，同时由冷凝管的吸热，进一步加速尾气的冷却，提高尾气冷却效率，另外设置水箱中的常温水，利用水的比热容高的特点，能够持续对冷却箱内的混合气体进行吸热，由于尾气中通常含有杂质，因此设置箱盖可拆卸连接在冷却箱上，使得在作业完毕后，快速打开箱盖，对冷却箱内部进行清理，提升工作效率。
一种立式高温化学沉积

[发明专利]一种机械臂位姿误差标定方法及系统-CN201710937852.7有效
发明人：杨聚庆;史亚贝;户燕会;蔡峰;杨少蒙;刘娇月;王锴宁;吴柏林;王世明;钟文奇;潘志豪;王光民 -专利权人：杨聚庆
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明提供一种机械臂位姿误差标定方法及系统。所述方法包括：对机械臂末端位姿误差进行等效微分变换得到的等效微分运动矢量，分解成所述机械臂各关节轴独立运动时的等效微分运动矢量，从而通过对所述机械臂各关节轴单独旋转采样时位姿误差的标定与解耦变换实现所述机械臂末端位姿误差的标定。本发明提供的一种机械臂位姿误差标定方法及系统，通过对机械臂末端位姿误差进行等效微分变换描述，将其分解成各连杆坐标系的等效微分运动矢量，对连杆坐标系与关节运动耦合关系进行解耦计算和变换，能够实现机械臂在全工作空间范围内具有高精度可靠性的位姿绝对误差同步标定。
一种机械臂位姿误差标定方法系统

[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积设备-CN201920048291.X有效
发明人：程亚南;王锴宁;时昌温;连克科 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种钟罩式化学气相沉积设备，包括反应柜，反应柜与所述控制柜连接，反应柜内上端设有钟罩壳，钟罩壳内设有钟罩保温层，钟罩保温层内设有钟罩箱，钟罩保温层内壁与钟罩箱外侧形成空腔，钟罩箱上设有通气孔，反应柜内部底端上设有与液压油泵连接的升降平台，升降平台上端设有从下至上依次连接的壳体封闭板、保温封闭板、箱体封闭板，钟罩壳左右两侧设有通向空腔的进气管，进气管上设有转接头，反应柜左右两侧设有通向空腔的出气管，出气管上下两端设有球阀，出气管上设有与冷水机连接的水冷管，钟罩保温层前后两侧设有通向空腔的硅钼棒；本实用新型适合尺寸较大的产品，带有升降设备，进气出气均匀。
钟罩反应柜空腔保温层出气管本实用新型升降平台左右两侧进气管上端化学气相沉积设备保温层内壁壳体封闭上下两端升降设备箱体封闭液压油泵依次连接出气封闭板硅钼棒控制柜冷水机水冷管通气孔钟罩式转接头底端进气球阀保温

[实用新型]一种新型接线方式真空坩埚炉-CN201822258346.8有效
发明人：刘文博;王锴宁;时昌温;连克科 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： F27B14/06 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种新型接线方式真空坩埚炉，包括：外箱、炉体；外箱上端设有通孔，其右侧设有侧盖；炉体穿过通孔安装在外箱内，炉体包括下端的底板、内部的内板、位于内板上端的炉衬、位于炉衬上端的炉衬盖，炉衬内安装有刚玉坩埚，炉衬盖上设有固定在炉体上的炉体盖，炉体盖上设有通向刚玉坩埚的接管，内板下端固定有压板，压板上设有通过关卡固定的硅碳棒，硅碳棒穿过内板通入加热腔中，炉体侧板下端设有与碳硅棒连接的电极座；本实用新型通过底部接线有效避免了打开炉门时炉内热辐射对接线端子造成损害，增加了线路的使用寿命，通过底部接线的方式，便于放取料或取出坩埚，操作简单，有助于提高工作效率。
炉衬炉体内板上端本实用新型刚玉坩埚接线方式硅碳棒炉体盖坩埚炉接线通孔下端压板穿过底板对接线端子工作效率炉体侧板使用寿命电极座固定的加热腔碳硅棒侧盖炉门内热取料坩埚关卡接管取出辐射损害

[实用新型]一种新型可开启多工位旋转真空管式炉-CN201920048299.6有效
发明人：梁秀阁;刘文博;程亚南;王锴宁 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种新型可开启多工位旋转真空管式炉，包括：上箱、下箱、旋转支架、固定支架；所述旋转支架下端固定在所述下箱后侧，所述旋转支架上设有多个相互连通的斜向的挂槽；所述上箱包括相互铰接的上盖板、下盖板，所述上盖板上设有与所述下盖板配合的扣锁，所述上盖板、所述下盖板两端设有带热电偶的端盖、内部设有带电阻丝的炉衬，所述端盖、所述炉衬中部为半圆槽，所述端盖、所述炉衬闭合时中心形成炉孔，所述炉孔内安装有炉管；所述固定支架包括与所述下盖板后侧连接的压板，所述压板后侧设有穿过所述挂槽的螺丝，所述螺丝上设有紧固螺母；本实用新型可快速进行开启关闭，方便取管，满足客户观察物料各温度段的反映情况。
下盖板旋转支架上盖板端盖炉衬本实用新型真空管式炉固定支架多工位可开启挂槽炉孔螺丝上箱下箱压板带电阻丝紧固螺母半圆槽闭合时侧连接热电偶温度段铰接扣锁炉管下端斜向连通穿过观察客户配合

[实用新型]一种新型立式等离子体气相沉积反应器-CN201920047362.4有效
发明人：梁秀阁;王锴宁;时昌温;连克科 -专利权人：郑州科佳电炉有限公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种新型立式等离子体气相沉积反应器，包括：反应装置，包括炉管、包裹炉管上部的射频箱体、包裹炉管下部的高温电炉、炉管顶端的投料装置、炉管底端的出料装置；右箱体，设在反应装置后端，右箱体内上端设有与气体投料口连接的汽化装置、中间设有与匹配器连接的射频电源、下端设有与抽真空装置连接的真空泵；左箱体，设在右箱体左侧，左箱体内上端设有控制装置、中间设有转接管和质量流量计控制器、下端设有射频电源控制器。本实用新型的有益效果是：通过以上技术方案，方便操作，既能化学气相沉积又能直接反应，简化操作步骤，能同时通入气体、液体、固体，可做多种试验。
炉管右箱体等离子体气相沉积本实用新型反应装置射频电源反应器控制器上端左箱体下端化学气相沉积简化操作步骤抽真空装置质量流量计出料装置方便操作高温电炉控制装置炉管顶端汽化装置投料装置直接反应匹配器投料口真空泵转接管射频试验

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