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[发明专利]一种投影物镜柔性机构调平装置-CN201110236543.X有效
发明人：邢薇;胡松;王肇志;杨勇 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-08-17 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明是一种投影物镜柔性机构调平装置，所述装置由物镜托架板和相互独立、结构相同的三组柔性铰链结构组成；物镜托架板为台阶结构，台阶结构上具有台阶面，三组柔性铰链结构分别以等间距分布在物镜托架板的上表面上，并通过固定螺钉分别将每个柔性铰链结构固定在物镜托架板上，物镜安放在物镜托架板的台阶面上，载片台位于物镜的正下方，硅片放在载片台上，分别通过三个柔性铰链结构对物镜托架板的微动调平调整，实现对物镜的三点调平，以保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片的上表面重合。本发明用于光刻机中，调整后物镜具有良好的刚性和热稳定性，以保证像质和焦面稳定，提高成像质量。
一种投影物镜柔性机构平装

[发明专利]一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置-CN201110236547.8无效
发明人：邢薇;胡松;王肇志 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-08-17 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔；底座的两侧中间设有转轴，转轴的上部套设有转盘；转盘上水平向地设有叉杆，通过铰链与转盘连接，两个叉杆的另一端之间安装有一拉簧；第一连杆和第二连杆的一端通过铰链与转盘连接，另一端安装有压紧块，压紧块的端部各设有顶柱；上支板设置于压紧块上方；片夹置于上支板的上方，顶柱穿过上支板进入片夹的定位孔内；导锥在两个叉杆之间平行移动使两个叉杆张开或闭合，两个叉杆带动转盘做正或反转动，转盘带动第一连杆和第二连杆对压紧块拉或推；压紧块压在各自对应的压簧上，实现顶柱对片夹在轴向上的定位锁紧与放开。
一种光刻中的上片自动轴向定位装置

[发明专利]一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置-CN201110236926.7无效
发明人：邢薇;王肇志;胡松 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-08-17 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机中的输片双稳态水平锁紧装置：一基板，上面平行地固定有两个滚轮支架，每个滚轮支架上各安装有一转销，并每个转销上装有一呈凹槽的轮架，且所述轮架凹槽的两端朝向上方；滚轮支架上固定有一左挡销和一右挡销，所述左挡销和右挡销分别位于转销的左、右两则；轮架上固定有上挂销，基板上固定有下挂销，上挂销和下挂销之间连接一拉簧，该上挂销和下挂销的位置须满足拉簧的中心平衡点；一档板，固定在滚轮支架的上方一侧；一片夹，其一端平行且对称地开设有两穿透孔，轮架的滚轮分别可嵌入这两个穿透孔中。本发明保证了片夹在承片台上的水平方向上的准确定位及锁紧，使片夹在曝光过程中不会因震动引起水平方向上的偏移和摆动。
一种光刻中的双稳态水平装置

[发明专利]一种自动机械手送取片装置-CN201010613760.1无效
发明人：邢薇;王肇志 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2010-12-30 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： B25J9/08 文献下载
摘要：本发明是一种自动机械手送取片装置包括两个抓钩、六个铰链、两个连杆、两个抓手、定位轴、光电开关、主轴、轴套、片夹、片夹脚、挡片和计算机，两个抓手通过第五铰链和第六铰链与轴套相连；两个连杆的一端分别通过第三铰链和第四铰链与主轴相连；两个抓钩的端面与片夹脚的端面相连，两个连杆的另一端分别又通过第一铰链和第二铰链与两个抓钩的中部相连；定位轴安装在轴套上并一起运行；光电开关固定在轴套上；由光电开关通过定位轴上的定位挡片对轴套的送、取片位置定位，计算机通过光电开关的反馈信号探测轴套所处的位置，并根据轴套所处的位置状态对主轴的运动进行控制，使两个抓钩在规定的位置打开和闭合，为曝光工作提供送片和取片。
一种自动机械手送取片装置

[发明专利]一种曝光机片库定位自动识别装置-CN201110082664.3无效
发明人：张正荣;邢薇;王肇志;王淑蓉 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-04-02 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： G06K7/10 文献下载
摘要：本发明是一种电子束曝光机片库定位自动识别装置，其编码定位标尺通过上、下连接片固定在片库的侧面；编码光电开关和定位光电开关安装在U型板上，螺钉将U型板固定在片库箱体内部的后壁上；编码定位标尺安置在编码光电开关和定位光电开关之间，编码定位标尺的两侧边分别设有透光的定位狭缝和编码狭缝，编码定位标尺的两侧部位于编码光电开关和定位光电开关的凹槽中，编码定位标尺随片库在片库箱体内部上、下移动；定位光电开关用于判断上、下移动编码定位标尺时定位狭缝移动到片库的第N层的位置，编码光电开关检测出编码定位标尺位于片库中第N层位置的二进制编码数据，计算机识别二进制编码数据信息定位控制并命令机械手进行送取片动作。
一种曝光机片库定位自动识别装置

[发明专利]一种电子束曝光机片夹库系统-CN200810102775.4无效
发明人：王淑蓉;王肇志;张正荣;邢薇;赵立新;胡松;唐小萍 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2008-03-26 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种具有编码识别的电子束曝光机片夹库系统，由Z向运动台、用于放置片夹的片架、齿轮箱、升降台、计算机控制系统组成，在计算机控制系统的控制下，通过驱动电机带动齿轮箱内齿轮旋转，带动Z向运动台作Z向运动，使片架作Z向运动，带动片架上的片夹向上或向下运动到阀口接片处，根据需要有选择地送片夹到承片台上进行曝光，这时阀口和片夹库门同时关闭，在完成一片片夹曝光后，阀口打开，取回片夹至片夹库内保存，曝光阀口立即关闭；计算机控制系统再次控制Z向运动台向上或向下运动到下一片夹需要曝光的位置，此时阀口再次打开，进行下一片片夹曝光，如此循环下去，直至片夹全部曝光完为止。本发明缩短了送取片的时间，提高了送取片的定位精度，保证了片夹的曝光质量。
一种电子束曝光机片夹库系统

[发明专利]一种二维扫描精密激光曝光系统-CN200610012094.X无效
发明人：赵立新;王肇志;胡松;唐小萍;严伟;邢薇 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2006-06-02 - 公布日： 2006-10-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种二维扫描精密激光曝光系统，由圆刻机工作台、被刻码盘、激光器、掩模、摆动扫描系统、精密激光步进台、掩模抬起机构及计算机控制系统组成，激光器作为光源，光束整形后投射到摆动扫描系统上，计算机控制系统经过控制摆动扫描系统和精密激光步进台的运动完成二维扫描照明掩模，将掩模上的图形复制被刻码盘上完成一个区域的光刻，圆刻机工作台带动码盘旋转选择被光刻的区域，掩模抬起机构在码盘旋转时将掩模抬起，曝光时落下。本发明具有定位准确、操作简便、安装调整方便等优点，大大提高了码盘刻制精度，保证了码盘刻制质量，提高了生产效率。
一种二维扫描精密激光曝光系统

[发明专利]飞机发电机加载系统-CN03123576.X无效
发明人：唐小萍;王肇志;罗正全;刘业异;田宏;余国彬;赵立新 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2003-05-29 - 公布日： 2004-12-08 - 主分类号： H02P9/00 文献下载
摘要：飞机发电机加载系统为飞机发电机检测提供一种模拟负载，在对飞机恒速传动装置、集成驱动发电机及发电机的测试过程中，大多数测试项目均是在发电机加上负载的情况下完成测试工作的。本发明是由控制器、功率分档继电器、电加热器负载、面板控制及显示、温度检测与报警、冷却水箱及除水垢器、发电机、上位控制机组成。本发明与一般的大功率模拟加载系统不同，它具有自动加载和手动加载功能，负载功率分辨率为1kW，阻性负载功率从1～150kW连续可调，还具有90kW(功率因数0.75)和150kW(功率因数0.6)的感性负载，同时具有体积小，噪声低，使用寿命长，可靠性高的优点。
飞机发电机加载系统

[发明专利]飞机恒速传动装置、集成驱动发电机检测系统-CN03123575.1无效
发明人：唐小萍;王肇志;罗正全;刘业异;田宏 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2003-05-29 - 公布日： 2004-12-08 - 主分类号： G01R31/34 文献下载
摘要：飞机恒速传动装置、集成驱动发电机检测系统，由原动机、检测扭矩和原动机转速的扭矩转速传感器、高速齿轮箱、连接到高速齿轮箱并为其提供润滑冷却的油站、飞机恒速传动装置IDG及集成驱动发电机CSD或发电机、向CSD或IDG油箱注油的滑油系统、控制和调节发电机输出电压的励磁控制系统、加载系统及参数自动检测系统组成，本发明可以模拟各类飞机不同飞行状态下的发电机的工作状态，由此检测不同飞机的各类发电机的性能指标。
飞机传动装置集成驱动发电机检测系统

[发明专利]恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置-CN02153269.9无效
发明人：赵立新;胡松;王肇志;陈兴俊 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2002-11-26 - 公布日： 2004-06-09 - 主分类号： G03F7/22 文献下载
摘要：恒定光源步进扫描实现大面积光刻的方法，利用光源步进扫描，扫描单元为高均匀度、恒功率小光源，沿X方向扫描，沿Y方向步进拼接来实现，扫描单元的形状为一对锐角小于60度的平行四边形。恒定光源步进扫描实现大面积光刻的装置由电机、传动机构、扫描头、导轨、机架构成，电机轴与传动机构中的光杆连接，扫描头架在导轨上，扫描头采用闭环开关电源控制光源，整个装置固定在机架上。采用光源步进扫描，扫描的过程中不会对掩模和样片的相对位置产生影响；扫描装置采用闭环开关电源控制光源，保证功率恒定。本发明的优点在于：所得到的大面积光刻具有高的均匀度和分辨力，从而克服大面积光源的不足，且装置结构简单、造价低。
恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其装置

[实用新型]高质量光学积分器件-CN00244379.1无效
发明人：赵立新;林大键;胡松;王肇志 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2000-09-06 - 公布日： 2001-11-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：高质量光学积分器件,属于对其结构的改进。其特征是每个积分元件的两端面均为凸透镜,中间介质为长方体结构。每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框内,且任意相邻元件的中心距相等。该产品对光源进入系统的光进行微分、积分,在系统的出射面得到高均匀性的光能分布,对衍射效应有很好的平滑作用,大大提高光刻分辨力,提高了线条质量,其工艺简单,加工容易,成本低。
质量光学积分器件

[实用新型]光刻机环形光栅离轴照明光学系统-CN98229440.9无效
发明人：罗先刚;姚汉民;陈旭南;王肇志 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 1998-09-03 - 公布日： 1999-12-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型是光刻机环形光栅离轴照明光学系统,属于半微米至深亚微米光刻机离轴照明光学系统技术领域。其特征是在聚光镜与掩模板之间有一个与掩模面平行的环形光栅板,它是由在石英基片上刻有间隔不同、深度相同的同心圆环构成。环形光栅板结构简单,制作方便,只需一次放置,能量利用率高,均匀性好,对不同特征线宽的各种掩模图形光刻分辨力和焦深均提高25%以上,实用范围宽,适合大规模生产。
光刻环形光栅照明光学系统

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