|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 88个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]MEMS器件及其制作方法-CN202310892805.0在审
-
王怀良;王红海
-
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
-
2023-07-19
-
2023-10-27
-
B81C1/00
- 本发明提供一种MEMS器件及其制作方法，所述方法包括：提供第一晶圆，在第一晶圆上形成第一对准标记；提供第二晶圆，在第二晶圆待键合面上形成深坑，在深坑内形成第二对准标记；将第一晶圆与第二晶圆进行键合，第二对准标记在第一晶圆上的投影与第一对准标记重合；从第二晶圆的背面去除部分第二晶圆，以暴露第二对准标记。本发明中第二晶圆上的第二对准标记可以代替第一晶圆上的第一对准标记，后续无需再通过盲曝后刻蚀的方法暴露出第一对准标记，避免了晶圆上有效面积的损伤，提高了晶圆实际有效管芯的数量，提高了产量，也避免了箭形印记的问题，避免了对产品外观的影响；同时由于采用第二对准标记进行对准，与现有技术对比，能够提高对准精度。
- mems器件及其制作方法
- [实用新型]一种盐酸罐区尾气吸收处理系统-CN202223060182.0有效
-
朱树泉;王红海
-
广东米高化工有限公司
-
2022-11-18
-
2023-06-13
-
B01D53/18
- 本实用新型提供了一种盐酸罐区尾气吸收处理系统，属于盐酸罐尾气处理领域，包括罐体，罐体顶部固定连接有压力管，压力管侧壁固定连接有连接管道，压力管内腔滑动连接有圆塞，圆塞与压力管内腔顶部之间固定连接有第一弹簧，连接管道底端固定连接有储藏罐，连接管道内腔固定连接有支架；该实用新型利用浓盐酸易挥发氯化氢的特点，使得罐体内腔的压强增大，从而使得罐体与连接管道相连通，然后在罐体内腔气体压强的作用下，使氯化氢气体进入连接管道，然后进入储存罐，利用氯化氢在连接管道内腔流动，使得连接管道内腔的扇叶转动，从而使水箱向储藏管内腔喷水，结合氯化氢气体，形成稀盐酸，便于后续废物利用，且装置简单，造价成本低。
- 一种盐酸尾气吸收处理系统
- [发明专利]MEMS器件及其制造方法-CN202310166709.8在审
-
任杨波;王红海
-
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
-
2023-02-13
-
2023-05-16
-
B81C1/00
- 本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法，制造方法包括：在衬底上形成介质层，在介质层上形成图案化的第一导电层；在介质层和第一导电层上形成隔离层，隔离层覆盖第一导电层；在隔离层上形成阻挡层，阻挡层覆盖隔离层；在隔离层和阻挡层内形成第一沟槽，第一沟槽露出部分第一导电层；在阻挡层和露出的第一导电层上形成牺牲层，牺牲层覆盖阻挡层且填充第一沟槽；在牺牲层内形成第二沟槽，第二沟槽露出部分第一导电层；在牺牲层和露出的第一导电层上形成第二导电层，第二导电层覆盖牺牲层且填充第二沟槽；在第二导电层内形成第三沟槽；释放牺牲层。本申请的制造方法能够提高MEMS器件的结构稳定性。
- mems器件及其制造方法
- [实用新型]一种洗涤塔用碱液循环系统-CN202223060483.3有效
-
朱树泉;王红海
-
广东米高化工有限公司
-
2022-11-18
-
2023-05-05
-
B01D36/04
- 本实用新型提供了一种洗涤塔用碱液循环系统，属于涉及碱液循环领域，该实用新型包括洗涤塔，所述洗涤塔的内侧壁安装设置有循环过滤箱，所述循环过滤箱的内侧壁连通设置有碱液输送管，所述循环过滤箱的内侧壁固定连接有静置箱，所述碱液输送管贯穿至静置箱的内部，通过静置箱的设置，可以实现在使用时，可以先对制备完成后的碱液进行静置过滤，使碱液内含有的杂质进行沉底，然后操作者可以打开循环水泵对静置箱内上层的碱液进行抽吸然后放到碱液接收盒内，随着碱液接收盒内的碱液越来越多，重力的作用会使碱液接收盒向下移动，这时位于其底部的清洁刷会对过滤网的表面进行刮擦清洁，避免其表面附着太多杂质，影响过滤循环使用。
- 一种洗涤塔用碱液循环系统
- [实用新型]一种可加料试剂的污水处理装置-CN202223084819.X有效
-
朱树泉;王红海
-
广东米高化工有限公司
-
2022-11-18
-
2023-05-05
-
C02F1/38
- 本实用新型提供了一种可加料试剂的污水处理装置，属于污水处理领域，包括箱体，箱体顶部固定连接有进水口，箱体顶部固定连接有伺服电机，伺服电机底部固定连接有传动轴；该实用新型利用伺服电机带动转动轴转动，使得收集箱转动，再利用收集箱转动时产生的离心力，让第一弹簧和折叠门收缩，收集箱开口处于箱体相通，杂物被收集集中在收集箱内腔，同时转动轴带动转动柱转动，使转动柱与滑柱不断发生碰撞，水箱内腔的石蕊试剂一直向箱体内部混合液滴落，待溶液变为紫色时，此时溶液为中性，完成中和反应，再停止伺服电机，在第一弹簧和折叠门的反弹力下，折叠门将收集箱开口处覆盖，直接完成杂物的分离与中和，节省时间，提高工作效率。
- 一种加料试剂污水处理装置
- [发明专利]MEMS器件的制备方法及MEMS晶圆-CN202211739967.2在审
-
王红海
-
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
-
2022-12-30
-
2023-05-02
-
B81C3/00
- 本申请实施例涉及一种MEMS器件的制备方法及MEMS晶圆，其中，该方法包括：提供第一晶圆，其待键合面上形成有第一对准标记和第一键合标记；提供第二晶圆；在第二晶圆的待键合面上形成第二对准标记和第二键合标记；第二对准标记从第二晶圆的待键合面延伸至第二晶圆的内部，第二对准标记具有位于第二晶圆的待键合面上的第一端和位于第二晶圆内部的第二端；以第一晶圆的待键合面朝向第二晶圆的待键合面且第一键合标记和第二键合标记彼此对准的方式，将第二晶圆键合在第一晶圆上；去除部分第二晶圆，以使第二对准标记的第二端暴露；如此，避免了晶圆上有效面积损失，也避免了箭影问题，提高了晶圆上实际有效管芯的数量。
- mems器件制备方法晶圆
- [实用新型]一种氯化氢尾气处理用环保系统-CN202221589043.4有效
-
朱树泉;王红海
-
广东米高化工有限公司
-
2022-06-23
-
2023-04-25
-
B01D53/78
- 本实用新型公开了一种氯化氢尾气处理用环保系统，该系统结构紧凑，可节省生产空间，其技术方案：包括依次连接的气液分离器、风机、第一洗涤塔、第二洗涤塔，还包括一安装架，所述安装架包括从下而上依次布置的地面支撑层、第一支撑层以及第二支撑层，所述第一洗涤塔、第二洗涤塔设置在地面支撑层上且向上延伸贯穿第一支撑层、第二支撑层；所述气液分离器设置在第二支撑层上，所述风机设置在第一支撑层上且位于气液分离器的下方；所述风机的输入端通过一输入管道与所述气液分离器的输出端连接，所述风机的输出端通过一输出管道与所述第一洗涤塔的下部连接，属于环保设备领域。
- 一种氯化氢尾气处理环保系统
- [发明专利]MEMS传感器及其形成方法-CN202010266612.0有效
-
王红海
-
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
-
2020-04-07
-
2023-04-07
-
B81C1/00
- 本发明涉及一种MEMS传感器及其形成方法。所述形成方法中，在金属键合之前，在第一晶圆上形成了图案化的牺牲材料层以及连续覆盖在牺牲材料层和第一晶圆表面的功能层，此外还在功能层上表面的第一键合区域形成了挡墙主体部分，并在形成第一键合金属的过程中，在挡墙主体部分表面形成了金属层，可以在去除牺牲材料层的工艺中保护挡墙主体部分避免被腐蚀，从而在金属键合时没有产生明显的形貌变化，可以起到阻挡熔融流体流到中间区域的作用，还可以用来控制键合反应程度，有利于提高键合良率。所述MEMS传感器可以采用上述方法形成，所述挡墙在金属层的保护下键合之前不容易被损伤，有助于提升键合结构的质量以及传感器的性能。
- mems传感器及其形成方法
- [实用新型]一种模具生产用喷砂打磨组件-CN202222065655.X有效
-
王红海;龙琪
-
西安大川精密模具有限公司
-
2022-08-05
-
2023-02-21
-
B24C3/18
- 本实用新型涉及喷砂打磨装置领域，具体公开了一种模具生产用喷砂打磨组件，包括喷砂台，喷砂台上安装有支撑架，支撑架的端部安装有喷砂枪，喷砂台上安装支撑座，支撑座上插接式安装有圆柱杆，圆柱杆的端部安装有夹持架；有益效果为：本实用新型，在喷砂台上转动安装了圆柱杆，在圆柱杆的端部安装了夹持架，使得在模具工具进行喷砂打磨处理的时候，就可以将模具工件固定在夹持架内，然后通过喷砂枪对模具工件进行喷砂处理，在喷砂打磨处理的过程中，可以通过圆柱杆带动夹持架和模具工件转动，以便实现工件的不同侧壁的喷砂打磨处理，避免或者减少重新拆卸固定磨具工件的次数，增加喷砂打磨效率。
- 一种模具生产喷砂打磨组件
|
