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[发明专利]轨道减振效果监测方法及系统-CN202310060190.5在审
发明人：卢伟健;任杨波;王博;李绍辉;汤剑志 -专利权人：浙江天铁实业股份有限公司;广东顺德西安交通大学研究院
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种轨道减振效果监测方法及系统，通过轨道中钢轨下的载荷检测垫板装置检测得到列车驶过时轨道钢轨下的载荷得到相应的力信号，同时通过安装在轨道道床板下相同的载荷检测垫板装置检测得到列车驶过时轨道道床板下的力响应信号，基于采集得到的力信号和力响应信号计算得到相应的导纳谱，基于导纳谱和预设的参考导纳谱的比对结果判断轨道的减振效果。由于通过集成在轨道下方的载荷检测垫板装置直接检测列车实际运行时的载荷，因此本发明的方法能够有效检测实际轨道的减振效果，并且由于载荷检测垫板装置集成在轨道下方，不影响列车通行，因此本发明的方法可用于长期监测轨道的减振效果，而无需停线检测。
轨道效果监测方法系统

[发明专利]一种缝纫机的外接数据采集设备及方法-CN202310360612.0在审
发明人：周宇;任杨波;姜清波;杨铧;金灵超;杨晶晶 -专利权人：杰克科技股份有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： D05B19/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种缝纫机的外接数据采集设备，包含盒体和连接线，还包括：开关量采集模块：用于采集缝针、缝线与油量数据；数字量采集模块：用于采集上位针数据，与编码器模块相连；模拟量采集模块：用于采集脚踏板数据，与ADC模块连接；主控模块：连接所述开关量采集模块、编码器模块、ADC模块并存储接收的数据。本发明还涉及缝纫机的外接数据设备的采集方法，缝纫机数据通过采集模块进行数据处理，然后传输到主控模块存储并通讯，最后上传至云平台，实现数据的可视化。采集设备通过连接线可直接外接在缝纫机上，无需破坏缝纫机的原有结构，操作简单。
一种缝纫机外接数据采集设备方法

[发明专利]MEMS器件及其制造方法-CN202310166709.8在审
发明人： 任杨波;王红海 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法，制造方法包括：在衬底上形成介质层，在介质层上形成图案化的第一导电层；在介质层和第一导电层上形成隔离层，隔离层覆盖第一导电层；在隔离层上形成阻挡层，阻挡层覆盖隔离层；在隔离层和阻挡层内形成第一沟槽，第一沟槽露出部分第一导电层；在阻挡层和露出的第一导电层上形成牺牲层，牺牲层覆盖阻挡层且填充第一沟槽；在牺牲层内形成第二沟槽，第二沟槽露出部分第一导电层；在牺牲层和露出的第一导电层上形成第二导电层，第二导电层覆盖牺牲层且填充第二沟槽；在第二导电层内形成第三沟槽；释放牺牲层。本申请的制造方法能够提高MEMS器件的结构稳定性。
mems 器件及其制造方法

[发明专利]轨道载荷监测垫板装置、系统及其校准方法-CN202310039848.4在审
发明人：李绍辉;任杨波;王博;杨正茂;厉敏辉;王佳炜 -专利权人：浙江天铁实业股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明提供一种轨道载荷监测垫板装置、系统及其校准方法，轨道载荷监测垫板装置安装在无砟轨道的道床板下，包含有若干个压电传感器，能通过直接集成在轨道结构中的压电传感器来监测轨道的载荷。压电传感器具有灵敏度高、信噪比高、工作可靠、结构简单等多种优点，可测得高质量的信号。进一步，由于传感器固定板安装在上盖板和底座板之间，压电传感器及载荷传递柱安装在传感器固定板的传感器安装槽内，通过这样的方式对压电传感器进行固定限位，能够避免列车运行时因轨道振动而造成压电传感器位移、脱落等情况，从而保证列车运行过程中的监测效果。通过本发明的校准方法，使压电传感器在目标载荷范围内能检测得到质量更好、精度更高的信号。
轨道载荷监测垫板装置系统及其校准方法

[发明专利]MEMS电容式加速度计芯片的性能自动测试方法-CN202110073505.0在审
发明人：沈烽;徐好;任杨波 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2021-01-16 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)；测试夹具用来固定传感器晶圆也可以用来固定成品传感器，可以实现自主检测，判断夹具探针是否磨损，判断接触是否合格；一套可编程集成控制系统，包括了ARM控制板，和Labview上位机控制程序；电机系统用于控制装置的偏转角度，配合自动PID技术，可以实现千分之一度角度的偏转；高精度LCR测试仪可以检测传感器的静态动态参数，结合上位机程序实现自动化检测。
mems 电容加速度计芯片性能自动测试方法

[发明专利]一种高灵敏度微型皮拉尼计-CN202010570563.X在审
发明人：韩建强;任杨波;徐好 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于正、负电阻温度系数的高灵敏度微型皮拉尼计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于微型皮拉尼计采用两个正电阻温度系数加热器(1)作为惠斯通全桥电路一对对边，两个负电阻温度系数加热器(2)作为另一对对边。微型皮拉尼计工作时，在惠斯通电桥的一对对边加载恒定直流电压，正电阻温度系数加热器(1)和负电阻温度系数加热器(2)温度升高，阻值分别增加和下降。腔体内真空度不同，阻值变化量不同，从惠斯通电桥另一对角输出的电压也相应发生改变，通过测量惠斯通电桥的输出电压可反映出封装腔体内的真空度。本发明所涉及的微型皮拉尼计有以下优点：测量灵敏度高，可检测的最小压力和漏率低。
一种灵敏度微型皮拉尼计

[发明专利]基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计-CN201911351973.9在审
发明人：韩建强;赵正前;任杨波 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于非共面H型谐振器和蟹腿型支撑梁的双轴体微机械谐振式加速度计。加速度计由质量块(1)、蟹腿型支撑梁(2)、激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)、引线梁(6)、框架(7)组成。质量块(1)的重心位于4根蟹腿型支撑梁(2)组成的平面内。由激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)组成的4个H型谐振器位于加速度计芯片上表面。激振梁(3)和拾振梁(4)分别采用电磁激励和电磁检测模式，面内弹性刚度低，质量块(1)在面内加速度作用下翻转角度小，交叉轴耦合干扰小，并具有较高的面内检测灵敏度。正面腐蚀工艺释放激振梁(3)、拾振梁(4)、传动梁(5)和引线梁(6)简化了工艺流程，缩短了芯片腐蚀时间。
基于非共面谐振器蟹腿型支撑双轴体微机谐振加速度计

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