|
钻瓜专利网为您找到相关结果 16个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种晶圆湿法刻蚀装置-CN202123238926.9有效
-
牛立久;张雪奎;刘增增;周一雷;徐金鑫
-
山东华楷微电子装备有限公司
-
2021-12-22
-
2022-05-13
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆湿法刻蚀装置,包括机架,机架上安装有一对输送辊组,一对输送辊组之间安装有若干条间隔的输送带,机架上位于输送带的上游端安装有导向装置,输送带的下方竖直升降安装有升降座,升降座上绕竖直中心线转动安装有旋转座,旋转座由安装于升降座上的旋转电机驱动,旋转座上安装有方便从输送带之间的空隙区域露出的托盘,托盘上设置有若干个支撑柱,若干个支撑柱之间形成了方便晶圆放置的放置区域,机架上位于输送带的上方设置有喷淋刻蚀液的喷淋装置,该装置能够有效改善晶圆破碎,方便定位,夹持牢固,避免晶圆破碎导致刻蚀液进入其他部分,提高生产安全,提升生产质量。
- 一种湿法刻蚀装置
- [发明专利]一种晶圆湿法刻蚀装置-CN202111577981.2在审
-
牛立久;张雪奎;刘增增;周一雷;徐金鑫
-
山东华楷微电子装备有限公司
-
2021-12-22
-
2022-03-01
-
H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆湿法刻蚀装置,包括机架,机架上安装有一对输送辊组,一对输送辊组之间安装有若干条间隔的输送带,机架上位于输送带的上游端安装有导向装置,输送带的下方竖直升降安装有升降座,升降座上绕竖直中心线转动安装有旋转座,旋转座由安装于升降座上的旋转电机驱动,旋转座上安装有方便从输送带之间的空隙区域露出的托盘,托盘上设置有若干个支撑柱,若干个支撑柱之间形成了方便晶圆放置的放置区域,机架上位于输送带的上方设置有喷淋刻蚀液的喷淋装置,该装置能够有效改善晶圆破碎,方便定位,夹持牢固,避免晶圆破碎导致刻蚀液进入其他部分,提高生产安全,提升生产质量。
- 一种湿法刻蚀装置
|