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[发明专利]热传导真空计组件-CN202180091633.6在审
发明人： G·M·G·劳尔德;M·G·科伊;N·D·胡顿;G·克劳福特 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01L21/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种热传导真空计组件。该组件包括限定用于接收工作气体的内部腔室的主体和布置在该腔室内的加热器元件。主体由壁限定，所述壁具有面向外的壁表面和相对的面向内的壁表面。热补偿元件封闭在壁内在面向外的壁表面和面向内的壁表面之间。本公开还涉及包括该组件的热传导真空计。
热传导真空计组件

[发明专利]具有光指示的真空压力计组装件-CN202280013297.8在审
发明人： B·扎卡里亚;Y·多尼库;D·大卫 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2022-02-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01L19/08 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空压力计组装件。该组装件包括主体、容纳在主体内的压力换能器、容纳在主体内并被配置为从压力换能器接收指示压力的信号的微控制器、以及与微控制器通信的至少一个发光器件。微控制器被配置为处理来自压力换能器的信号以确定压力，并且控制至少一个发光器件在压力处于第一压力范围内时显示第一光图案，并且在压力处于不同于第一压力范围的第二压力范围内时显示不同于第一光图案的第二光图案。第一光图案和第二光图案中的至少一个在强度方面随时间变化。本公开还提供了一种使用真空压力计组装件指示压力的方法。
有光指示真空压力计组装

[发明专利]泵和泵送气体的方法-CN202080014275.4有效
发明人： I·D·斯通斯 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2020-02-13 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F01C1/22 文献下载
摘要：公开了一种泵和一种用于泵送气体的方法。所述泵包括：泵壳体元件和另外的元件；所述泵壳体和所述另外的元件中的一个包括朝向另一个元件延伸的螺旋突起，所述另一个元件包括至少一个液体开口。所述螺旋突起、所述泵壳体和所述另外的元件形成从气体入口到气体出口的路径。所述螺旋突起具有在其附接端处比在其自由端处更宽的轴向剖面。所述泵壳体和所述另外的元件相对于彼此可旋转地安装；以及所述至少一个液体开口被构造成使得从所述至少一个液体开口输出的液体形成液体叶片，所述液体叶片能够操作以在所述元件中的一个旋转时将气体沿所述路径从所述气体入口驱动到所述气体出口。
送气方法

[发明专利]泵设备和系统-CN202280013316.7在审
发明人： B·哈斯莱特;R·柯拉尼;L·G·马里尼;A·凯瑟尔;D·莱因哈德 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2022-02-01 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F04B49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种泵设备(3)，其具有第一泵(9)和至少一个控制器(17)。至少一个控制器(17)适于产生用于控制第一泵(9)的第一控制信号(SOUT1)。至少一个控制器(17)适于产生用于控制第二泵(27)的操作的第二控制信号(SOUT2)。第二泵(27)在泵设备(3)的外部。在泵设备(3)中提供一个或多个泵连接端口(39)，用于将第二控制信号(SOUT2)输出到第二泵(27)。本公开还涉及一种真空系统(1)，其包括本文所述类型的泵设备(3)。
设备系统

[发明专利]改进的湿式洗涤器-CN202180088841.0在审
发明人： A·V·豪布鲁克;G·D·斯坦顿;M·J·艾特伍德 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于气体减排的湿式洗涤器，包括：洗涤容器，所述洗涤容器限定腔室、用于供应待洗涤气体的气体入口和用于允许洗涤后的气体流出的气体出口；入口和出口彼此流体连通；一个或多个洗涤流体供应端口；湿式洗涤器包括连接到洗涤流体供应端口的至少一个分配元件，用于在腔室内部分配洗涤流体；其中，至少一个所述分配元件是分配板，所述分配板包括空腔和布置成允许洗涤流体从空腔流出的多个孔。
改进洗涤器

[发明专利]用于涡轮分子泵的转子组件-CN202180091918.X在审
发明人： R·G·霍尔勒;A·库比斯;D·斯图登特 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于涡轮分子泵(100)的转子组件(102)。转子组件(102)包括：转子轴(116)；多个转子动叶(126)，其从转子轴(116)延伸；以及平衡构件(130)，其以过盈配合装配在转子轴(116)内。转子轴(116)沿着纵向轴线(122)延伸，转子组件(102)被构造成绕该纵向轴线旋转。过盈配合使得平衡构件(130)由转子组件(102)保持处于压缩状态。本公开还涉及一种包括转子组件(102)的涡轮分子泵(100)以及一种组装用于该涡轮分子泵的转子组件(102)的方法。
用于涡轮分子转子组件

[发明专利]轴承磨损监测-CN202180085445.2在审
发明人： J·A·海洛克;C·迈尔斯;A·J·帕蒂 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F04D29/056 文献下载
摘要：所描述的各方面和各实施例涉及一种轴承磨损监测设备，该轴承磨损监测设备被配置成监测具有包括旋转组件的电动马达的真空泵的轴承。该监测设备包括：输入接收电路，其被配置成接收指示旋转组件旋转的特性的信号；以及轴承磨损监测电路，其被配置成分析表征旋转组件旋转的信号。轴承磨损监测电路还被配置成识别指示轴承磨损的一个或多个信号特征。各方面认识到，通常泵马达被配置成保持目标旋转速度。泵马达布置中旋转部件的旋转速度将受到马达转子轴上的扭矩的影响。因此，达到目标速度将取决于轴扭矩。轴承磨损产生轴承滚动摩擦的变化，且因此是轴扭矩的变化的一个原因。各方面认识到，轴扭矩的变化可以通过适当测量或监测泵马达的运行特性而被间接监测、测量和/或确定，并且有可能将可归因于轴承磨损的轴扭矩的变化与由一个或多个其他因素引起的轴扭矩的那些变化区分开。
轴承磨损监测

[发明专利]用于具有通气导管的真空泵的供油组件-CN201980070361.4有效
发明人： P·米尔纳;N·J·格兰特;E·卢凯塔 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：公开了一种用于真空泵的供油组件。该供油组件包括：供油器，其定位成向真空泵的轴承的一侧供给油；油底壳，其位于轴承的一侧上，并且被构造成接收来自供油器的过量油；以及通气旁路导管，其与油底壳和轴承的另一侧流体联接，通气旁路导管具有位于油底壳的底板上方的升高位置处的入口，并且被构造成将气体从油底壳输送到轴承的另一侧。以这种方式，通气旁路导管提供了替代路径，该路径允许油底壳内的气体在抽真空过程中逸出。该通气旁路导管的入口的位置有助于防止油底壳内的油随着气体行进通过通气旁路导管而逸出。这有助于防止油从供油器损失，并延长轴承的寿命。
用于具有通气导管真空泵供油组件

[发明专利]通过等离子体进行气体消减-CN202180088839.3在审
发明人： S·马格尼;N·康登;E·瓦格纳尔斯 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本发明公开了用于处理来自半导体加工工具的排出物流的设备和方法。等离子体消减设备用于处理来自半导体加工工具的排出物流，等离子体消减设备包括：等离子体装置，其配置成由等离子体气体产生等离子体物流；排出物流孔口，其配置成将所述排出物流输送到所述等离子体物流中以通过所述等离子体物流处理；第一孔口，其定位成将还原反应物递送到所述等离子体物流的第一区域；以及第二孔口，其定位成将氧化反应物递送到所述等离子体物流的第二区域，其中第二区域位于等离子体物流的相比于第一区域温度较低的位置处。以这种方式，将还原试剂引入到等离子体物流的较高温度区域中，将氧化试剂引入到等离子体物流的较低温度区域中。这使得还原反应更有效，因为还原反应物存在于较高温度区域，并且在该较高温度区域中不存在氧化反应物减少了不期望的热生成的氧化物的存在。类似地，氧化反应物的引入有助于去除由还原反应产生的副产物，并且因为将氧化反应物引入到等离子体物流的较低温度区域，所以减少了不期望的热生成的氧化物的量。
通过等离子体进行气体消减

[发明专利]用于真空泵的密封件-CN201980089175.5有效
发明人： I·S·格雷厄姆 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16J15/10 文献下载
摘要：一种用于真空泵的密封件，包括定位在内密封件承座和外密封件承座（2、3）之间的密封元件（1），内密封件承座和外密封件承座位于密封元件（1）的内表面和外表面处。密封元件和承座中的每一者在形状上是基本环形的。外承座（3）包括将密封元件（1）保持在适当位置的保持装置（4）。内承座（2）包括位于与密封元件（1）相邻的表面中的至少一个凹部（10），并且密封元件（1）包括在内表面上的至少一个突起（9），该突起延伸到内承座（2）的至少一个凹部（10）中。一种密封系统包括所描述的密封件以及第一和第二凸缘（5、6），所述第一和第二凸缘均形成由密封系统桥接的两个部件（13、14）的部分。还提供了用于增强用于真空泵的密封系统的耐化学性的方法，以及使用该密封件或密封系统来连接管道系统。
用于真空泵密封件

[发明专利]热传导真空量规组件-CN202180085412.8在审
发明人： G·克罗夫特;N·D·胡顿;G·M·G·劳尔德;M·G·科伊 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01L19/04 文献下载
摘要：本公开内容涉及一种热传导真空量规组件。所述组件包括：本体，所述本体限定用于接收工作气体的内部室；以及设置在所述室内的加热器元件。所述本体由具有面向外的壁表面和相对的面向内的壁表面的壁限定。热补偿元件和热均衡元件与所述本体热连通。所述本体由具有第一热导率的材料制成，并且所述热均衡元件由具有第二热导率的材料制成，所述第二热导率高于所述第一热导率。本公开内容还涉及一种包括所述组件的热传导真空量规。
热传导真空量规组件

[发明专利]用于停止真空泵的方法-CN202180084847.0在审
发明人： R·G·霍尔勒;P·斯梅雷克;I·基奇;S·J·缇科特;R·L·哈尔金 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F04C28/06 文献下载
摘要：本发明提供一种停止真空泵的转子的旋转的方法。该方法包括以下步骤：使转子以中间RPM旋转足以使真空泵处于或低于阈值温度的停留时间，在该中间RPM下基本上没有转子与定子碰撞的可能性；并且随后使转子的旋转进行惰转降速直到停止旋转。
用于停止真空泵方法

[实用新型]用于冷却多级真空泵中的被抽吸流体的真空泵冷却器-CN202221644835.7有效
发明人： M·E·汤姆金斯;A·J·亨特 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：一种用于冷却多级真空泵(100)中的被抽吸流体的真空泵冷却器(112、114)，所述真空泵冷却器(112、114)包括：板(300、320)，所述板包括：第一表面(302、322)；与第一表面(302、322)相对的第二表面(304、324)；以及通道(308、328)，冷却流体可以流动通过所述通道；以及从所述板(300、320)的第二表面(304、324)延伸的一个或多个翅片(306、326)。
用于冷却多级真空泵中的抽吸流体冷却器

[发明专利]用于泵的轴承组件和包括该轴承组件的泵-CN202180084845.1在审
发明人： L·克罗梅克;R·G·霍尔勒;E·卢凯塔 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F16C35/077 文献下载
摘要：公开了一种用于安装泵的可旋转轴的轴承组件和该泵。轴承组件包括：轴承，其包括外圈和内圈；轴承座，其构造为支撑轴承的外圈，轴承座围绕外圈的外表面的至少一部分，延伸跨过外圈的一个端面的至少一部分；以及从轴承座向内圈延伸的护罩，从而遮蔽内圈和外圈之间的环形间隙的至少一部分。
用于轴承组件包括

[发明专利]输送用于等离子体消减的等离子体流的喷嘴及相关方法-CN201880064937.1有效
发明人： S.马尼;崔奫修;高灿奎 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2018-10-01 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：公开了一种用于输送等离子体流的喷嘴和方法。该喷嘴用于将等离子体流从等离子体发生器输送到反应腔室，该喷嘴包括：导管，该导管在入口与出口之间延伸，入口被布置成接收等离子体流，出口被布置成与反应腔室流体联接，该等离子体流由导管在入口与出口之间沿轴向方向输送，其中该喷嘴是导热的并且布置成接收水以由该喷嘴加热，该喷嘴中具有至少一个孔，该孔被布置成沿轴向方向递送加热的水以与等离子体流混合。以这种方式，水被引入喷嘴内的等离子体流中，这产生了氢和氧自由基，氢和氧自由基有助于提高消减装置的破坏率效率。这提供了一种特别安全和方便的方法来提高破坏率效率，因为不需要向喷嘴提供可燃材料来产生那些自由基。
输送用于等离子体消减喷嘴相关方法

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