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[发明专利]真空泵-CN201380057109.2有效
发明人： A.J.佩蒂;E.卢切塔;I.基奇;M.E.巴拉米;R.G.霍尔勒 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2013-10-14 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空泵（10），其包括涡轮分子泵送机构（14），其中涡轮分子泵送机构的工作特性取决于真空泵的方位，并且该泵包括用于感测方位的方位传感器（28）。
真空泵

[发明专利]具有支承轴承接触传感器的真空泵-CN201380057294.5有效
发明人： M.E.巴拉米;R.G.霍尔勒 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2013-10-14 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空泵(10)，其包括真空泵送机构(12)，该真空泵送机构(12)包括受支承来由传动轴(16)旋转的转子(14)、用于在传动轴旋转期间控制转子的移动的第一轴承组件(22)，用于限制所述移动的支承轴承组件(24)，以及用于感测所述移动何时由支承轴承组件限制的传感器(26)。
具有支承轴承接触传感器真空泵

[实用新型]密封装置-CN201721112433.1有效
发明人： G·M·G·洛德 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： F04D29/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及密封装置。提供一种用以克服关于两个复杂密封表面之间密封的困难的密封装置，其包括具有被形成成与密封面的复杂几何形状匹配的周边边缘的密封件载体，以及从所述密封件载体的周边边缘延伸的密封件。
密封件载体周边边缘密封复杂几何形状本实用新型密封件匹配延伸

[发明专利]干式真空涡旋泵-CN201680069464.5在审
发明人： M.巴拉米;A.德西隆 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2016-11-10 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： F04C18/02 文献下载
摘要：干式涡旋真空泵包括具有壳体入口(24)和壳体出口(26)的泵壳体(12)、关于泵壳体固定的定涡盘(22)、具有轴线(70)和偏心轴部分(16)的驱动轴(14)、动涡盘(20)，其连接到偏心轴部分上使得在使用期间，轴的旋转将相对于定涡盘的轨道运行运动赋予动涡盘来在包括涡盘的涡盘机构(60)的机构入口(25)与机构出口(31)之间泵送气体；在所述轨道运行运动期间将气体从泵入口传送至机构入口的泵壳体内的入口压力下的入口真空区域(30)；形成在动涡盘内来引导冷却流体(80)的流动以冷却动涡盘的冷却流动通路(74)，冷却流动通路具有位于入口真空区域中的流体入口；以及用于使流体入口从入口真空区域密封而使得冷却流体可经由密封装置传送通过入口真空区域至流体入口的密封装置(82,100)。
真空区域动涡盘流体入口冷却流动通路轨道运行机构入口冷却流体泵壳体定涡盘偏心轴干式涡盘传送涡旋真空泵机构出口壳体出口壳体入口入口压力使用期间运动期间泵入口固定的驱动轴涡旋泵泵壳泵送密封冷却体内赋予流动

[发明专利]具有纵向和环形密封构件的真空泵-CN201680058427.4在审
发明人：金在号;S.凯拉萨姆 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： F01C19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种多级真空泵，所述多级真空泵包括：第一和第二半壳式定子部件（102、104），其限定多个泵送腔室（106‑116）并用于沿着相应的纵向延伸密封面（118、120）组装在一起；第一和第二端定子部件（122、124），其用于组装在第一和第二半壳式定子部件的相应的纵向端面（126、128）处；纵向密封件（12），其用于当被组装在一起时，在第一和第二半壳式定子部件之间进行密封；以及环形密封件（146），其用于当被组装时，在第一和第二端定子部件以及第一和第二半壳式定子部件之间进行密封；环形密封构件和纵向密封构件在其之间形成平面状的密封接口。
定子部件半壳组装环形密封构件多级真空泵密封环形密封件纵向密封件泵送腔室密封接口纵向端面纵向密封密封面平面状真空泵

[发明专利]等离子体焰炬-CN201510863060.0有效
发明人： S.A.沃罗宁;C.J.P.克莱门茨;D.M.麦克格拉思;F.格雷;A.J.西利 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2012-04-12 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：为了延长直流等离子体消减装置的维修周期，一种经修改的直流等离子体矩阵具备：导电阴极和导电阳极，导电阴极和导电阳极彼此间隔开以在它们之间形成间隙；金属涡流衬套，至少部分地位于间隙内并且包括通道，通道适于在使用中允许气体通过间隙流动；以及陶瓷元件，插置于下列中的任一个或多个之间：阴极与涡流衬套；以及阳极与涡流衬套。
涡流衬套直流等离子体导电阳极导电阴极矩阵阴极等离子体焰炬阳极间隙流动气体通过陶瓷元件维修周期消减装置金属

[发明专利]用于磁轴承的转子的永磁铁阵列和组装该阵列的方法-CN201280021991.0有效
发明人： B.D.布鲁斯特;A.韦 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： F16C32/04 文献下载
摘要：当用于涡轮分子泵中时，由磁轴承组件的旋转磁铁阵列中的永磁铁的非对称的磁化产生的杂散磁场可引起装置(如，扫描电子显微镜)的重大问题。为了最大限度地减少杂散场，首先要至少测量阵列中的各个磁铁的偶极矩和四极矩。然后，相对于彼此布置阵列中的磁铁，使得偶极矩和四极矩两者都最大限度地减少，从而使涡轮分子泵中的磁铁阵列旋转时的杂散磁场最大限度地减少。
涡轮分子泵杂散磁场磁轴承偶极矩磁铁四极扫描电子显微镜磁化永磁铁阵列转子测量阵列磁铁阵列旋转磁铁重大问题非对称永磁铁杂散场组装

[发明专利]真空泵送和减排系统-CN201480020157.9有效
发明人： G.斯坦顿 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-04-01 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及用于从加工室排空加工气体和从加工气体去除有害物质的真空泵送和减排系统。本发明也涉及净化真空泵送装置的方法。本发明旨在通过提供用于从加工室排空加工气体和从加工气体去除有害物质的真空泵送和减排系统来减少这种系统的购置和操作成本以及碳足迹，所述系统包括用于从加工室排空加工气体的真空泵送装置；用于在排空期间净化真空泵送装置的压缩空气源；以及用于从真空泵送装置接收加工气体和压缩空气并且通过在氧气中燃烧所述加工气体以从其去除有害物质的燃烧器，其中支持燃烧的氧气中的至少一些来源于压缩空气。
真空泵系统

[发明专利]辐射燃烧器-CN201480023109.5有效
发明人： A.J.思利 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： F23C99/00 文献下载
摘要：一种辐射燃烧器和方法被公开。所述辐射燃烧器是用来处理来自于制造加工工具的废气流的并且包括具有多孔套筒的燃烧室和围绕所述多孔套筒的集气室；燃烧材料穿过所述多孔套筒以紧挨着所述多孔套筒的燃烧表面燃烧；所述集气室给所述多孔套筒提供所述燃烧材料，所述集气室被配置为沿所述多孔套筒的长度以变化的化学计量提供所述燃烧材料。改变所述燃烧材料的所述化学计量比的这个方法对应地改变了沿所述多孔套筒的所述长度由这些燃烧材料所产生的热量。通过改变所述燃烧材料的所述化学计量以补偿沿所述多孔套筒的所述长度在所述燃烧室之内产生的热量的变化，更加均匀的温度可以在所述燃烧室内沿所述多孔套筒的所述长度被达到。
辐射燃烧

[发明专利]用于被污染气体的焚化的辐射式燃烧器-CN201680019973.7在审
发明人： A.J.西利;D.M.普赖斯 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： F23D14/02 文献下载
摘要：公开了一种辐射式燃烧器和方法。该辐射式燃烧器用于处理来自制造加工工具的废气流且包括多个处理室，每一个处理室具有排出流入口，以便将所述废气流的相应部分供应至该处理室以在其内处理。以这种方式，可以提供多个处理室，每一个处理室处理排出流的一部分。因此，处理室的数量能够被选定为匹配来自任意具体加工工具的废气流的流动速率。这提供一种架构，其能够可靠地缩放，以适应任意废气流流动速率的需要。
用于污染气体焚化辐射燃烧

[发明专利]头部组件-CN201480040483.6有效
发明人： A.J.思利 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-06-16 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： F23D14/20 文献下载
摘要：公开了一种用于辐射式燃烧器的头部组件(10)、入口组件及方法。头部组件用于辐射式燃烧器。头部组件包括限定延伸穿过其间的多个相同壳体孔口(40)的壳体(20)；由壳体接收且限定延伸穿过其间的对应的多个相同的互补定位的隔热体孔口的隔热体(30)；以及构造成由该相同壳体孔口(40)中的一个接收的至少一个入口组件(50)，各个入口组件(50)包括构造成由该相同壳体孔口中的一个接收的壳体部分；以及构造成填充互补定位的隔热体孔口的隔热体部分。这样，提供了头部组件，其具有多个孔口，其中任一个孔口可接收入口组件。给定各个入口组件构造成由孔口中的任一个接收，这给组件的插入和除去提供了灵活性，而不需要从辐射式燃烧器完全拆卸头部组件。另外，通过形成具有壳体部分和隔热部分的入口组件，组件可位于头部组件内，且隔热部分防止热破坏。
头部组件

[发明专利]生产气体减少的装置和方法-CN201480033061.6有效
发明人： A·J·西利 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： F23G7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产气体减少装置和方法。该生产气体减少装置包括燃烧器，该燃烧器包括可操作用于可接收来自生产工艺工具的排出气体流的燃烧室，并在燃烧室内处于亚大气压的条件下对排出气体流进行处理，所述燃烧室进一步可操作用于接收燃料、氧化剂和稀释剂，所述燃料、氧化剂和稀释剂在所述燃烧室内可控燃烧来处理所述排出气体流以生成处理后的排出气流，所述稀释剂在所述处理后的排出气流中可压缩。通过以惰性可压缩气体的形式提供稀释剂，燃烧室内的体积增量减小，这减少了排出气流的体积并减少了二次泵的体积负载。所述体积增量的减少是由于在排出气流中的稀释剂变相导致的，这样可以从排出气流中有效地移除稀释剂组分。这导致了可观的能源节约，由于从燃烧室内产生的气体体积变得更小，而这些气体需要通过二次泵的方式被压缩到第二压力，例如大气压。
生产气体减少

[发明专利]气体处理设备-CN201480060701.2有效
发明人： A.J.思利;A.M.波佩;T.F.科恩 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： B01D53/14 文献下载
摘要：公开了一种气体处理设备。气体处理设备包含可操作来接收源自制造过程工具的流出气流，以使流出气流在其内被洗涤从而提供洗涤后气流的气体洗涤腔室；和可操作来接收洗涤后气流以使洗涤后气流在其内被处理从而提供处理后气流的静电沉降腔室，气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的一个限定第一腔室，气体洗涤腔室和静电沉降腔室中的另一个限定第二腔室，第一腔室被构造成围绕第二腔室。这样，第一腔室和第二腔室能享有同样的体积，这使更加紧凑很多的设备能够被提供，与常规设备相比，对于任何给定流速或效率需求减小了设备的尺寸。而且，通过用第一腔室围绕第二腔室，所需组装不那么复杂，这使用到的零件能够更少。
气体处理设备

[其他]真空系统管耦接装置和真空系统-CN201490001270.8有效
发明人： A.J.思利 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-10-10 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： F16J15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空系统管耦接装置和真空系统。一种真空系统管耦接装置（20）包括第一耦接构件（24）和第二耦接构件（28）。所述真空系统管耦接装置具有密封系统（32），其待定位成在所述第一耦接构件和所述第二耦接构件之间进行密封；以及固定系统，其将所述第一耦接构件可释放地固定至所述第二耦接构件。所述密封系统（32）具有内密封元件（36）和与所述内密封元件隔开的外密封元件（38）。所述第一耦接构件设有流道（40），其配置成将加压气体引导至处于所述内密封元件和所述外密封元件之间的空间（42），以在所述内密封元件失效的情况下，为所述外密封元件屏蔽流过所述管耦接装置的流体。
真空系统管耦接装置

[发明专利]真空泵-CN201480022752.6有效
发明人： A.韦;E.卢切塔 -专利权人： 爱德华兹有限公司
申请日： 2014-04-22 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括轴承(26)和用于润滑轴承的润滑剂供应系统(60)的真空泵(10)。润滑剂供应系统包括包括用于接收润滑剂的储存器矩阵(62)的润滑剂储存器；用于与储存器矩阵接触来将润滑剂从储存器矩阵转移至轴承的润滑剂转移装置(48)，储存器包括用于使储存器矩阵相对润滑剂转移装置定位在适当位置的储存器罩壳(30)；其中储存器包括多个接触区域(64)，在该处储存器矩阵与储存器罩壳接触来使储存器矩阵相对润滑剂转移装置定位在适当位置，以及各个接触区域之间的多个间隔区域(66)，储存器矩阵在该处与储存器罩壳间隔开以用于接收由储存器矩阵中的润滑剂中的脱气引起的气体和润滑剂泡沫。
真空泵