“潘锐华”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果24个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机-CN201910449106.2有效
发明人：李志荣;李志方;潘锐华;陈思 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。本发明能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。
一种通过平移式靶门隔离镀膜

[发明专利]一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机-CN201711039152.2有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，它以所述大型罐体作为真空镀室外壁形成临时镀室，将电弧源组件安装在竖立于镀室内的支承物上，然后以一密闭箱体作为弧靶安装座，将电弧源组件的电弧靶固定其上，并将电弧靶引线端密封在所述密封箱体内，然后再通过与该密闭箱体连通的一波纹管在真空镀室内形成一条与外界连通的非真空引线通道，将电弧源组件的水、电、气线路由该通道引出到炉外与相应部分连接。本发明镀膜机能方便的解决其真空镀室内的电弧靶的水、电、气线路引出时的连接与密封问题的。
一种大型体内镀膜真空阴极电弧

[发明专利]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统-CN201711041807.X有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统，将旋转架通过转盘密封转动安装在炉体底板上，利用炉体底板下方的外部驱动机构驱动转盘旋转，并在旋转架与转盘之间形成一非真空腔室，转动轴密封转动水平穿出非真空腔室，另一驱动机构设置在非真空腔室内，驱动转动轴旋转，并通过转动轴将动力传递到真空区，然后通过传动机构带动升降台沿旋转架作升降运动。本发明驱动系统，可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递，从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件，在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动，且旋转运动和升降运动由两套独立的驱动机构分别控制，从而实现调速方便。
大型体内镀膜真空阴极电弧机电组件驱动系统

[发明专利]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机-CN201711039191.2有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明旨在提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；底盘由机架支撑而水平设置，底盘用于与大型罐体的开口端密封对接，形成以大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，旋转架组件旋转密封地竖立在底盘中央，电弧源组件活动安装在旋转架组件上，电弧源组件的水电气线路由底盘引出炉外，驱动机构通过传动机构与旋转架组件相连，驱动旋转架组件旋转并带动其上的电弧源组件作旋转运动，另驱动机构通过传动机构驱动电弧源组件作升降运动，并在电弧源组件上升到接近大型罐体顶部时，驱使电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与大型罐体的弧形封顶盖相对。
大型体内镀膜真空阴极电弧

[发明专利]一种电弧靶升降抬头机构-CN201711039173.4有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种电弧靶升降抬头机构，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；升降架为一竖立支架，升降台可沿升降架上、下移动地安装在升降架上；电弧源组件铰接在升降台上，并保持水平；限位器安装在升降架的顶部；驱动机构通过传动机构与升降台相连；驱动机构通过传动机构，驱动升降台沿升降架上下升降运动，并在升降台上升运动靠近升降架的顶部时，限位器与弧靶支承组件的尾端接触，下压弧靶支承组件的尾端，随升降台的继续上升，限位器使弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在弧靶支承组件前端的弧靶组件抬头运动。本发明能驱动电弧靶升降运动，并适时作抬头运动。
一种电弧升降抬头机构

[实用新型]一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机-CN201920777374.2有效
发明人：李志荣;李志方;潘锐华;陈思 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。本实用新型能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。
一种通过翻转式靶门隔离镀膜

[实用新型]一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构-CN201920777295.1有效
发明人：李志荣;李志方;潘锐华;陈思 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其包括滑动套管、动密封组件、直线运动机构和连接板，滑动套管可滑动穿过镀膜机的壁板上的穿孔；靶体固定安装在滑动套管的里端；动密封组件安装在穿孔处，实现动密封；直线运动机构安装在镀膜机的壁板外侧，与滑动套管对应，直线运动方向与滑动套管的滑动方向平行；连接板连接滑动套管的外端和直线运动机构的活动端；直线运动机构通过连接板带动滑动套管作伸缩运动。本实用新型伸缩稳定、密封稳定。
一种磁控溅射镀膜中的伸缩机构

[实用新型]一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机-CN201920777312.1有效
发明人：李志荣;李志方;潘锐华;陈思 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。本实用新型能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。
一种通过平移式靶门隔离镀膜

[实用新型]一种可平移转动的大型立式磁控溅射阴极靶-CN201920214940.9有效
发明人：聂伟华;潘锐华;陈思;李志方 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可平移转动的大型立式磁控溅射阴极靶，其包括上滑轨组、下滑轨组、上移动平板、下移动平板、转轴、靶体法兰板；上滑轨组和下滑轨组上下对应设置；上移动平板和下移动平板分别转动安装有导轮组，上移动平板和下移动平板均可通过导轮组分别在上滑轨组和下滑轨组上转动实现平移，且移动方向相同；转轴的上端通过上轴承组可转动支承在上移动平板上，下端通过下轴承组可转动支承在下移动平板上；靶体法兰板的上端通过上锁紧组件与转轴的上部固定连接，下端通过下锁紧组件与转轴的下部固定连接，靶体固定安装在靶体法兰板上。本实用新型方便维护，且更安全可靠。
移动平板上移动靶体转轴上滑轨组下滑轨组法兰板本实用新型可转动支承上端导轮组下端转动磁控溅射阴极平移大型立式上下对应锁紧组件下轴承组移动方向转动安装可平移上轴承上锁维护

[发明专利]一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机-CN201910449108.1在审
发明人：李志荣;李志方;潘锐华;陈思 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。本发明能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。
靶体翻转靶腔伸缩机构腔口真空镀膜室启闭机构镀膜机翻转式隔离壁板方向移动水汽接触门密封腔口处靶材对靶盖合连通收缩保证

[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机-CN201721418135.5有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型旨在提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；底盘由机架支撑而水平设置，底盘用于与大型罐体的开口端密封对接，形成以大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，旋转架组件旋转密封地竖立在底盘中央，电弧源组件活动安装在旋转架组件上，电弧源组件的水电气线路由底盘引出炉外，驱动机构通过传动机构与旋转架组件相连，驱动旋转架组件旋转并带动其上的电弧源组件作旋转运动，另驱动机构通过传动机构驱动电弧源组件作升降运动，并在电弧源组件上升到接近大型罐体顶部时，驱使电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与大型罐体的弧形封顶盖相对。
电弧源旋转架组件大型罐体底盘驱动机构真空阴极电弧镀膜大型罐镀膜体内本实用新型底盘中央活动安装机架支撑密封对接驱动旋转升降运动水平设置旋转密封高低板架组件开口端水电气真空镀出炉封顶竖立室外驱动

[实用新型]一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机-CN201721418191.9有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，它以所述大型罐体作为真空镀室外壁形成临时镀室，将电弧源组件安装在竖立于镀室内的支承物上，然后以一密闭箱体作为弧靶安装座，将电弧源组件的电弧靶固定其上，并将电弧靶引线端密封在所述密封箱体内，然后再通过与该密闭箱体连通的一波纹管在真空镀室内形成一条与外界连通的非真空引线通道，将电弧源组件的水、电、气线路由该通道引出到炉外与相应部分连接。本实用新型镀膜机能方便的解决其真空镀室内的电弧靶的水、电、气线路引出时的连接与密封问题的。
电弧靶电弧源真空镀镀膜真空阴极电弧镀膜本实用新型密闭箱体大型罐室内体内大型罐体密封问题密封箱体外界连通引线通道组件安装安装座壁形成波纹管非真空引线端支承物连通密封竖立室外

[实用新型]一种电弧靶升降抬头机构-CN201721418093.5有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种电弧靶升降抬头机构，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；升降架为一竖立支架，升降台可沿升降架上、下移动地安装在升降架上；电弧源组件铰接在升降台上，并保持水平；限位器安装在升降架的顶部；驱动机构通过传动机构与升降台相连；驱动机构通过传动机构，驱动升降台沿升降架上下升降运动，并在升降台上升运动靠近升降架的顶部时，限位器与弧靶支承组件的尾端接触，下压弧靶支承组件的尾端，随升降台的继续上升，限位器使弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在弧靶支承组件前端的弧靶组件抬头运动。本实用新型能驱动电弧靶升降运动，并适时作抬头运动。
升降架升降台支承组件限位器驱动机构电弧靶升降抬头机构电弧源尾端上下升降运动本实用新型驱动抬头上升运动升降运动竖立支架靶组件高低板移动地铰接下压

[实用新型]一种升降架-CN201721418129.X有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种升降架，包括竖立支架、升降台和两套链轮传动机构；升降台可沿竖立支架上、下移动地安装在竖立支架上，链轮传动机构是由分别作为主动轮和从动轮的两个传动轮以及由传动轮带动运行的传动链构成的立式传动机构，两个传动轮分别位于升降架的上部、下部，两套链轮传动机构分别位于升降台的两侧，与升降台连接，以便带动升降台上下运动，升降台上安装有两套导向滑轮组件，每套导向滑轮组件包括两个导向滑轮，竖立支架的两侧分别具有一竖立的型钢，该型钢具有两个相互垂直的立面，每套导向滑轮组件中的两个导向滑轮，分别可滚动地抵靠在竖立支架一侧型钢的两个相互垂直立面上。本实用新型升降架依靠链轮传动机构实现平稳不摆动传动。
升降台竖立支架链轮传动机构升降架导向滑轮组件两套导向滑轮传动轮立式传动机构本实用新型摆动传动传动轮带上下运动传动链垂直的从动轮可滚动竖立的移动地动轮立面升降垂直

[实用新型]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的炉体底盘组件-CN201721420859.3有效
发明人：李志荣;冯晓庭;潘锐华;陸创程;魏艳玲 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的炉体底盘组件，包括底盘和附加法兰；所述底盘水平设置，其上同心开有不同直径的环形密封槽，所述密封槽内安装有真空密封圈；所述附加法兰底面用于与所述底盘通过所述真空密封圈密封对接，顶面也设置有真空密封圈,所述附加法兰用于补偿不同高度罐体的高度差，使不同高度罐体，在镀膜时，其顶部高度均可以位于一个特定的范围内。本实用新型炉体底盘组件可适配不同罐体内径和高度镀膜，使不同高度罐体，在镀膜时，其顶部高度均可以位于一个特定的范围内。
镀膜罐体真空密封圈炉体底盘法兰真空阴极电弧镀膜本实用新型大型罐底盘体内环形密封槽底盘水平密封对接高度差密封槽底面顶面适配同心

1
2
下一页»
尾页
共 24 条