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[实用新型]一种腔体和生长设备-CN202221796224.4有效
发明人：朱亮;叶钢飞;胡建荣;阮文星;彭天帅;王鹏飞 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种腔体和生长设备，属于金刚石生长相关技术领域，构成腔体的组成部分包括：反应腔；安装座，所述安装座位于所述反应腔的下方，所述安装座和所述反应腔之间设有密封圈，且所述安装座内设有一冷却通道，所述冷却通道可对所述密封圈进行降温；达到在反应过程中反应腔不易泄露的技术效果。
一种生长设备

[实用新型]一种晶棒晶向检验装置及系统-CN202221397172.3有效
发明人：曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;方昱骅;张慧阳;邱文杰 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请涉及蓝宝石领域，尤其是涉及一种晶棒晶向检验装置，用于检测线网在槽轮轴向上的偏移角度，所述线网具有切割面，所述切割面用于切割晶棒，包括：料座，所述料座具有基准面；检测组件，所述检测组件包括：检测件，所述检测件位于所述切割面的一侧，所述检测件沿第一方向滑移连接于所述料座上，使得检测件可沿第一方向移动，所述第一方向分别与所述基准面、所述切割面平行；所述检测件用于检测切割线上的第一点到第二点在槽轮轴向上的距离变化量△t。解决了晶向检验调节成本较高的技术问题，达到降低检验调节晶棒成本的技术效果。
一种晶棒晶检验装置系统

[实用新型]一种双调节块对中装置-CN202221423703.1有效
发明人：曹建伟;朱亮;傅林坚;张俊;卢嘉彬;王金荣;张慧阳;邱文杰;周锋;黄佳辉 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种双调节块对中装置，属于切片设备技术领域，所述双调节块对中装置包括：转动机构，所述转动机构包括轴体和设置在轴体上的转动座，所述转动座可相对于轴体转动；导轮机构，所述导轮机构的第一端和转动座连接，所述导轮机构的第二端设置有一导轮，且所述导轮可容置线材；以及调整机构，所述调整机构设置在转动座和/或导轮机构上；其中，所述调整机构的重心可调节，通过所述调整机构使得由调整机构、导轮机构以及转动座构成的组合体的重心位于轴体的轴线上；达到对导轮不偏磨的技术效果。
一种调节装置

[发明专利]切片机的调节方法-CN202210896875.9在审
发明人：曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;邱文杰;周锋;黄佳辉;郭钬 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种切片机的调节方法，该切片机的调节方法包括以下步骤：建立金刚线的进刀量对应升降电机的电流值或者主轴电机的电流值的第一函数关系式。调整升降电机的转速值，以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内，或者，以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。建立金刚线的进刀量对应升降电机的转速值的第二函数关系式，调节不同进刀位置时，对应升降电机的转速值大小，以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内，或者，以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。本申请提供的切片机的调节方法能够降低金刚线的形变程度，且确保切片机的切割效率。
切片机调节方法

[发明专利]一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置-CN202111394849.8有效
发明人：朱亮;叶钢飞;傅林坚;胡建荣;叶雷江;梁晋辉;曹建伟 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本申请涉及单晶炉，尤其是涉及一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置，包括：安装座；第一环形件，第一环形件的外边缘具有第一固定边，第一环形件与第一固定边之间形成第一腔；第二环形件，第二环形件连接于第一环形件，第二环形件与第一环形件之间形成第二腔；导向组件，导向组件用于引导气流的流向中。形成环扫的气流并作用于主轴的外壁上，一方面防止氧化物在主轴的外壁上附着，另一方面将附着于主轴外壁上的氧化物吹走，并带入到第一环形件的第一腔中，防止氧化物掉落而污染坩埚中的硅原料。解决了现有技术中单晶炉中形成的氧化物污染硅原料的技术问题；达到除去单晶炉中所形成的氧化物的技术效果。
一种硬轴单晶炉主轴氧化物清理装置

[实用新型]一种切割机床用环切机构和环切装置-CN202220853123.X有效
发明人：卢嘉彬;钟杨波;叶阿康;张航;王凯;邱文杰;周锋;朱亮 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请涉及晶体加工领域，尤其是涉及一种切割机床用环切机构和环切装置，包括：座体；载体，所述载体用于连接晶体，所述载体转动连接于所述座体上，使得所述载体具有绕轴自转的转动自由度；以及第一驱动组件，所述第一驱动组件连接于所述座体上，并作用于所述载体上，通过所述第一驱动组件使得所述载体旋转，从而带动晶体发生旋转，切割线，所述切割线位于所述环切机构的一侧，所述切割线与所述载体本体的连接面具有夹角，所述切割线用于与位于所述载体上的晶体接触从而切割晶体。解决了现有技术中碳化硅晶体环切效率低的技术问题；达到提高碳化硅晶体环切效率的技术效果。
一种切割机床用环切机构装置

[实用新型]一种截断机的底架结构-CN202220974779.7有效
发明人：卢嘉彬;钟杨波;叶阿康;张航;王凯;邱文杰;周锋;朱亮 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本申请涉及截断机领域，尤其是涉及一种截断机的底架结构，包括：底架主体，所述底架主体包括：底板；侧板，所述侧板具有多个，所述侧板连接于所述底板上，在多个所述侧板与所述底板之间共同形成一个容置空间，所述容置空间用于容置液体，其中一侧板的底部上开设有排水口；其中，所述底板上具有导流面，所述导流面由远离所述排水口的一侧到靠近所述排水口的一侧向下倾斜布置。解决了截断机底架上液体堆积的技术问题；达到避免在截断机底架上液体堆积的技术效果。
一种截断底架结构

[发明专利]一种可在线测厚的抛光载体-CN202110964212.1有效
发明人：朱亮;沈文杰;潘兴兴;黄金涛;谢龙辉;郑猛;陈莹 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司;晶盛机电日本株式会社
申请日： 2021-08-21 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种可在线测厚的抛光载体，包括：载体本体，所述载体本体用于承载抛片；测厚组件，所述测厚组件包括：检测通道，所述检测通道开设于所述载体本体内，所述检测通道贯通至所述载体本体粘接有抛片的一端；检测器，所述检测器固定连接在所述载体本体上，用于通过所述检测通道向抛片发出检测信号以检测抛片厚度并输出。本申请具有的效果：解决了现有技术中无法实时反馈系统抛片目前的抛光去除量和抛片厚度的技术问题；达到能够实时反馈抛片厚度的技术效果。
一种在线抛光载体

[实用新型]外延生长装置的加热体-CN202221321170.6有效
发明人：沈文杰;朱亮;周建灿;程佳峰;张秋成;傅林坚;曹建伟;杨奎 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本申请提供一种外延生长装置的加热体，加热体包括承托座、托盘；承托座沿着外延生长装置的轴向延伸；托盘安装于承托座上，用以承载衬底，其中承载座能够通过与感应线圈的电磁感应产生热量，进而加热托盘，托盘传热至衬底上对衬底进行加热；承托座上开设有调温通道，具体的，调温通道位于所述托盘边缘；且沿着垂直于承托座的方向，调温通道的部分投影位于托盘上。通过设置调温通道，能够调节均衡衬底中心和衬底边缘的温度，从而使得衬底上生成的外延层边缘和中部的厚度和生成物质掺杂分布均匀，提高产品质量。并且能够调节多个承托座之间的相对温度，以降低多个托盘间的温差，以确保多个衬底的温度分布均匀且一致，降低同批次产品的差异。
外延生长装置加热

[实用新型]进刀装置及切片机-CN202221362800.4有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;朱继锭;邱文杰;许建青;周锋;冯长春;王金荣 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种进刀装置及切片机，进刀装置包括移动切割单元、固定单元、滑轨部和滑块部。滑轨部和滑块部中的一者连接移动切割单元，另一者连接固定单元，滑轨部和滑块部滑动配合，以使移动切割单元能够相对于固定单元沿着预设方向移动。移动切割单元和固定单元中的一者设有沿着预设方向延伸的轴向定位面，滑轨部的一侧端面部分或者全部紧密贴设于轴向定位面。轴向定位面垂直于硅棒的轴线a。本申请提供的进刀装置及切片机，解决了现有的进刀装置沿着硅棒轴线方向的移动直线度较低进而导致硅片的翘曲度较大的问题。
进刀装置切片机

[发明专利]导轮纠偏结构及方法-CN202210878812.0在审
发明人：曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;邱文杰;周锋;黄佳辉;郭钬 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种导轮纠偏结构及方法，导轮纠偏结构包括导轮、位置感应器和纠偏电机，位置感应器沿着导轮的轴向设于导轮的一侧，以用于检测导轮沿着轴向的偏转位置及偏转幅度，纠偏电机输出轴所在的直线与导轮中心面重合，且纠偏电机输出轴所在的直线穿过导轮中心面的中心点，纠偏电机能够驱动导轮围绕纠偏电机输出轴所在的直线偏转预设角度。本申请提供的导轮纠偏结构及方法，解决了导轮的一侧槽口容易发生偏磨的问题。
导轮纠偏结构方法

[实用新型]一种P型硅衬底的背接触式双面电池-CN202220268505.6有效
发明人：曹建伟 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L31/068 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种P型硅衬底的背接触式双面电池，属于硅片电池技术领域，所述双面电池包括：掺杂层，所述掺杂层包括：第一掺杂区，所述第一掺杂区具有一个第一宽度dn；第二掺杂区，所述第二掺杂区设置在第一掺杂区的一侧；所述第二掺杂区具有一个第二宽度dp，且dp＜dn，dp+dn＜1mm；其中，所述掺杂层的背面电性连接设置有两组电极，两组电极间隔设置，且两组电极分别连接第一掺杂区和第二掺杂区；达到提高背接触式双面电池的转换效率的技术效果。
一种衬底接触双面电池

[实用新型]一种多功能车-CN202221529283.5有效
发明人：曹建伟;张俊;朱亮;王巍;罗叶枫;沈兴潮;寿培均;丁月;孙明杰;卢健雄 -专利权人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本申请涉及装载工具领域，尤其是涉及一种多功能车，包括：底座，所述底座包括：第一座；第二座，所述第二座位于所述第一座的一侧，所述第二座与所述第一座位于同一水平高度；第三座，所述第三座位于所述第一座和所述第二座之间，且所述第三座的水平高度低于所述第一座和所述第二座，使得所述第三座与所述第一座、第二座之间形成容置空间；第四座，所述第四座夹设于所述第一座和所述第二座之间，所述第四座竖直滑移连接于所述第一座和所述第二座上。解决了收放线组件安装不便的技术问题，达到便于安装收放线组件的技术效果。
一种多功能

[发明专利]精度补偿方法及切片机-CN202210605333.1在审
发明人：朱亮;卢嘉彬;朱继锭;邱文杰;许建青;周锋;冯长春;王金荣 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种精度补偿方法及切片机，精度补偿方法包括以下步骤：获取硅片表面在硅棒轴线a所在方向的第一波动曲线；或者，获取移动切割单元沿着预设方向运动的过程中在硅棒的轴线a所在方向上的第二波动曲线；基于第一波动曲线或者第二波动曲线，获取第三波动曲线，其中，第三波动曲线在硅棒轴线a所在方向的波动变化与第一波动曲线和第二波动曲线在硅棒轴线a所在方向的波动变化大小相等且方向相反；调整滑轨部沿着硅棒轴线a所在方向的弯曲程度，使得滑轨部在硅棒轴线a所在方向的波动曲线与第三波动曲线相同。本申请提供的精度补偿方法及切片机，解决了现有的进刀装置沿着硅棒轴线方向的移动直线度较低进而导致硅片的翘曲度较大的问题。
精度补偿方法切片机

[发明专利]外延生长装置-CN202110873786.8有效
发明人：汪延成;程佳峰;沈文杰;梅德庆;郑丽霞;周建灿;张秋成 -专利权人： 浙江晶盛机电股份有限公司;浙江求是半导体设备有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：本发明涉及半导体外延生长技术领域，特别是涉及一种外延生长装置，该外延生长装置包括至少一个托盘、加热体和至少一组线圈组件；加热体内具有工作空间，托盘位于工作空间内，线圈组件沿加热体周向围设在加热体外；每组线圈组件具有一基点，每组线圈组件包括多个独立的子线圈，多个子线圈以基点为中心由内向外扩散排布；且两两相邻的两个子线圈中，其中一个子线圈包裹另外一个子线圈。本申请中每个独立的子线圈将托盘上的区域划分为多个独立加热的子区域，每个独立的子线圈对托盘上对应的子区域进行单独加热，从而实现托盘表面温度分区可控；即可调整托盘上对应的子区域的温度，降低各个子区域之间的温度差值，以提高托盘上生长的外延层的质量。
外延生长装置