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[发明专利]一种激光焊接工装及其焊接保护方法-CN202011553098.5有效
发明人：张培荣;江深;李元;徐宁;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B23K26/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光焊接工装及其焊接保护方法，包括工装基体，工装基体为环状形基体，工装基体中心设有通孔，工装基体外部设有供气流路，工装基体内部设有供气腔，供气腔与工装基体上设的供气口相连通，供气口与通孔的连接端位于基体的底部，供气流路将保护气体引导输入至供气腔，然后经供气口流入通孔中，通孔中容纳激光头进行激光焊接。在激光头移动和激光焊接的过程中，供气流路通过供气腔和供气口持续向通孔供给保护气体，维持保护气氛。不需要移动工装基体，可以保证焊接的连续操作；保护气氛的范围大，能够保证焊缝周围较高的保护气体浓度，有利于保证焊接质量，提高焊接工作效率。
一种激光焊接工装及其保护方法

[发明专利]一种具有过压保护功能的快速排气阀-CN202110804409.9有效
发明人：薛飞;俞健行;袁仕芳;何元杰;徐宁;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F16K17/04 文献下载
摘要：本发明公开一种具有过压保护功能的快速排气阀，包括阀体、阀腔和设于阀腔内的换向机构，阀体设有第一阀口、第二阀口和第三阀口；换向机构将阀腔分隔为至少两个相互隔断的第一腔室和第二腔室；第一阀口、第一腔室和第二阀口可连通形成进气通道，第二阀口、第二腔室、第三阀口可连通形成排气通道，第一阀口、第一腔室、第三阀口可连通形成过压保护通道；换向机构受供气压力可发生定向移动或形变，选择连通进气通道、排气通道或过压保护通道。本发明兼具快速排气和限压功能，可以节约气动系统内的溢流阀等限压器件，降低系统复杂度和成本。
一种具有保护功能快速气阀

[发明专利]一种波纹管泵泵壳及采用其的波纹管泵-CN202110809563.5有效
发明人：薛飞;俞健行;袁仕芳;柴锦枝;吴敏;徐宁;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： F04B43/113 文献下载
摘要：本发明公开一种波纹管泵泵壳及采用其的波纹管泵，泵壳内具有泵壳腔，泵壳腔通过第一内阀口与气室连通，还设置进气口和排气口泵壳腔内设有进排气机构，进排气机构将泵壳腔分隔为至少两个相互隔断的第一腔室和第二腔室；进气口、第一腔室和第一内阀口可连通形成进气通道，第一内阀口、第二腔室、排气口可连通形成排气通道，进气口、第一腔室和排气口可连通形成过压保护通道。本发明可减小进排气切换时间，提高进排气切换效率，减小或避免过压气体对波纹管泵所造成的损坏。
一种波纹管泵泵壳采用

[发明专利]一种浸没流场的初始建立方法及用此建立方法的光刻方法-CN202011176439.1有效
发明人：付新;徐宁;吴敏;陈文昱 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种浸没流场的初始建立方法及用此建立方法的光刻方法，关闭浸液供给系统，关闭密封抽排系统，开启主抽排系统，经主抽排口抽排气体；开启气体供给系统，经气密封口向第三间隙供给高溶解度气体；持续经主抽排口抽排气体，引导并替代末端物镜与衬底间环境气体，完全填充第三间隙位于气密封口径向内侧部分，实现完全填充第一间隙；开启浸液供给系统，抽排引导下，浸没液体逐渐替代高溶解度气体并完全填充第一间隙；开启浸液抽排系统与密封抽排口连接的流路；等待一段时间，浸没液体在第一、第二及第三间隙内达到稳定流动状态，完成浸没流场的初始建立过程。更好实现气泡消除，降低气泡消除消耗时长，提高生产效率，提高曝光质量。
一种浸没初始建立方法光刻

[发明专利]真空系统及使用该真空系统的浸没式光刻机-CN202011608108.0有效
发明人：嵇佳;李元;杜亮;张颖;徐宁;付婧媛;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空系统及使用该真空系统的浸没式光刻机。本发明包括气液分离罐，气液两相流在气液分离罐内分离为气相和液相流体，并分别沿两条流路流动；输送气体和液体的两条流路汇合连通后再由真空源统一抽排，在输送气体或者液体的流路上设置控制阀，根据气液分离罐或者附属流路内的压力进行反馈调节，保证向抽排端口输出的真空压力稳定；本发明解决了高精度真空调节器不宜接触液体的技术问题，能够使用较少的流控器件实现真空压力的高精度控制，降低了系统的复杂度和成本，尤其适用于对含液量较少的气液两相流的抽排。
真空系统使用浸没光刻

[发明专利]基于声速追踪的超声波流量测量方法及用该方法的流量计-CN202211187551.4在审
发明人：赵楠楠;刘泽远;刘国辉;李书桐;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01F1/667 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于声速追踪的超声波流量测量方法及用该方法的流量计，测量超声波的顺流和逆流传播时间，计算超声波在待测流体中的声速，将其与标定介质中的声速比较，再结合超声波在管段中的顺流和逆流传播时间的和值及差值计算管段中流体的流速，进而计算流体的流量；不需要检测流体的温度即可消除温度对流量测量的影响，提高了流量计的测量精度和稳定性；只需要在一个标测温度下操作即可完成标定步骤，并且标定介质与实际待测介质的材料可以不相同。
基于声速追踪超声波流量测量方法方法流量计

[发明专利]一种运用分子模拟确定半导体零部件最佳清洗参数的方法-CN202211236213.5在审
发明人：陈加成;刘范;应卫祥;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06F30/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种运用分子模拟确定半导体零部件最佳清洗参数的方法，通过分子动力学模拟的方法模拟出在不同条件下污染物从氟塑料零部件迁移到溶液中的扩散过程，并对模拟结果进行计算分析，得到扩散系数等相关参数。运用数据所揭示的污染物的迁移扩散现象和机理，得到在不同工艺条件下的清洗浸泡效果，并根据浸泡效果确定合适的浸泡溶液及相应的清洗工艺参数，包括温度、时间等。能优化清洗、浸泡工艺，从而提高产品生产效率，降低产品制造成本。
一种运用分子模拟确定半导体零部件最佳清洗参数方法

[发明专利]一种基于分子模拟预测的半导体洁净零部件加工方法-CN202211236237.0在审
发明人：陈加成;刘范;郭建利;付婧媛 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06F30/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于分子模拟预测的半导体洁净零部件加工方法。本发明通过分子动力学模拟的方法模拟出坯料在模压环节引入的污染经烧结后，从氟塑料零部件表面或亚表面迁移到内部的扩散过程，并对模拟结果进行计算分析，得到在烧结过程中污染物扩散的深度，为模压模具设计和机加工车削提供具体的数据参考。本发明能够解决洁净零部件在模压烧结过程中产生的污染经车削后的残留问题，提高产品合格率；同时能避免原材料的浪费，提高材料利用率，最终增加企业效益。
一种基于分子模拟预测半导体洁净零部件加工方法

[发明专利]一种液位开关-CN202011553007.8有效
发明人：杜亮;李元;何元杰;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01H35/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种液位开关，包括触发开关及其信号输出端，还包括长筒状的测位管，测位管内设有浮球和实现浮球自由移动的移动腔，触发开关设于移动腔内顶端位置处，上升浮移的浮球能推动激发触发开关；测位管侧壁上开设有侧入口，外部液体能够经侧入口流入移动腔内，浮球在液体浮力的驱动作用下于移动腔内上升浮移，测位管底部设有底入口。结构紧凑，占用体积小，提高检测可靠稳定性，避免误检错检情形出现，有效避免检测环境振动工况干扰。
一种开关

[发明专利]一种双层管快速接头-CN202011561131.9有效
发明人：吴敏;彭杰峰;徐宁;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： F16L39/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种双层管快速接头。本发明接头基体包括中心通孔、外管安装孔、定位端面；内管经由中心通孔贯穿快速接头；外管安装孔由接头基体一端沿轴向向内延伸，用于容纳外管；中心通孔和外管安装孔之间具有用于限定外管插入快速接头的最远位置的定位端面；接头基体和外管之间设置外管锁定装置，用于限定外管的轴向位置；接头基体和内管之间设置内管锁定装置，用于限定内管的轴向位置；外管引流流路是连通接头基体外部空间和外管与内管之间空间的贯通流路。本发明采用免工具装拆设计，安装和拆卸管道的操作简便。外管引流流路用于双层管上游流路或下游流路的连接，安装适应性好，提高操作便利性，减少接头种类，降低使用成本。
一种双层快速接头

[发明专利]流体系统元器件力学性能检测装置、检测系统及检测方法-CN202011387495.X有效
发明人：符文静;王帅;胡归;熊永乐;徐文苹;徐宁;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01M10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种流体系统元器件力学性能检测装置、检测系统及检测方法，包括检测台机架,检测台机架顶部设有上行扰动检测机构，上行扰动检测机构下方设有浸没单元主体机构和下行扰动检测机构，检测台机架底部安装有用于强化支撑和减少外界扰动上述机构的支撑座机构，通过建立流体系统的有效模拟场景，并同时对多个流体系统关联的元器件进行扰动力或者振动的力学性能检测，在相关传感器和流路的布局设计上，既保留了流体系统元器件于流体系统中的固有方位和受力特性，也避免了复杂结构下扰动信号因传递路径或结构而过多损失有效信号，实现了传感器对于扰动的快速与高精度的准确测量。
流体系统元器件力学性能检测装置方法

[发明专利]一种利于散热的封闭机柜及其散热方法-CN202010913373.3有效
发明人：谭张贤;徐宁;李元;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种利于散热的封闭机柜及其散热方法，在箱体机柜内部的左右两侧分别设有与箱体机柜的顶部柜壁和底部柜壁相连接的第一和第二内侧立板，相互配合在箱体机柜内形成散热工作腔，发热元器件设于散热工作腔内，第一内侧立板左侧面与箱体机柜左侧壁之间空间形成进风通道，进风通道通过进风口与箱体机柜外界冷气流相连通，第一内侧立板上竖向设有多个连通进风通道和散热工作腔的注气口；各注气口分别不同发热强度的发热元器件；第二内侧立板与箱体机柜间形成出风通道；第二内侧立板上竖向设多个散热出气口。对元器件散热处理更加及时有效，不易形成局部积热现象，更大程度上的适应对更多更全面的元器件进行及时有效散热处理。
一种利于散热封闭机柜及其方法

[发明专利]热缓冲罐、采用此罐的液体供给装置及热缓冲方法-CN202011270962.0有效
发明人：赵艺文;池优阳;陈文昱;付新 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F28C3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种热缓冲罐、采用此罐的液体供给装置及热缓冲方法，包括罐体及其罐内腔体，罐体顶部设有若干个用于引导液体流入罐内腔体空腔内的进液端口，且不同位置处的进液端口的引入液流流路延长线相互间形成倾斜的倾斜夹角分布结构；罐体顶部设有用于引导浸没液体流出罐内腔体的出液端口，出液端口下方连接设置出液导管，出液导管另一端延伸至罐内腔体的底部容积空间区域，并与罐内腔体的底部内壁具有高度间隔距离。液体经进液端口引导在热缓冲罐体内形成冲击紊流，向下混合流动再从出液导管向上流出，延长液体流在罐内的流动路程和时间，实现了对液体流的温度和流量双重缓冲，增强了对液体流的热缓冲效果。
缓冲采用液体供给装置方法

[发明专利]一种浸液供给系统及其浸没流场撤除方法-CN202011507502.5有效
发明人：付新;赵艺文;吴敏;徐宁;陈文昱 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种浸液供给系统及其浸没流场撤除方法，包括浸液供给源、供液阀和浸没液体吸引组件，供液阀通过末端供液流路连接至浸液供给装置的主注液口，浸没液体吸引组件与末端供液流路形成流体连接；在关闭供液阀后，浸液吸引组件对末端供液流路中的残留浸没液体施加吸引作用，使残留浸没液体在大气压的作用下保持在末端供液流路中，或者使残留液体从末端供液流路中排出；从而避免残留浸没液体由主注液口泄漏至光刻机部件上造成污染和侵蚀，或者进一步地避免残留浸没液体对末端供液流路和浸液供给回收装置造成污染和侵蚀。有效减少撤除浸没流场后积蓄在末端供液流路中的浸没液体，减轻浸没液体对光刻机部件的污染和侵蚀。
一种浸液供给系统及其浸没撤除方法

[发明专利]一种柔性联动往复泵-CN202010059362.3有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 浙江启尔机电技术有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： F04B43/113 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性联动往复泵，在泵轴与波纹管的连接器件中设置柔性伸缩组件，使泵轴运动与波纹管运动存在柔性关联；控制波纹管的压缩和拉伸运动时序，保持至少一个波纹管处于持续压缩过程中，消除输出流量零点，从而降低输出流量的脉动。两端的柔性联动部件通过串联的方式进行联结，降低了两端柔性联动部件的对称度要求，从而降低了其加工难度。
一种柔性联动往复泵