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[发明专利]一种重掺杂ITO粉的制备方法-CN202310681621.X在审
发明人：刘洪福;杨建新;刘志江;王浩 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明公开了一种重掺杂ITO粉的制备方法，所述重掺杂ITO粉的制备方法包括以下步骤：步骤一、按SnO2质量分数6％配制In、Sn盐溶液，共沉淀制备氢氧化铟锡，煅烧后得到完全固溶状态的ITO粉；步骤二、按SnO2质量分数4％加入第一步的ITO粉中，机械混合均匀。与现有技术相比的优点在于：本发明制备的粉体Sn元素在In2O3相固溶及颗粒间分布均匀，避免了后期烧结过程的固溶、及偏析现象的发生，可以大幅度提高ITO靶材组织成分的均匀性及电学稳定性，同时缩短了烧结过程中的化学迁移过程，降低了了烧结时间。
一种掺杂 ito 制备方法

[发明专利]大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法-CN202110345069.8有效
发明人：王玉军;杨建新;刘洪福;刘志猛 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B28B1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸、无中间缺陷的ITO平面靶素坯生产方法，具体包括以下步骤：制备ITO浆料；将制备的浆料加入到多孔树脂模具中，制备ITO平面靶坯体；在纯氧气氛中，将ITO平面靶坯体放入烧结炉中进行烧结，得到ITO平面靶素坯。本发明通过在坯体制备阶段采用多孔树脂模具以及在烧结工序中采用多层烧结进气方法，不仅可以生产出致密度高、合格率高的优质ITO平面靶，而且还大大降低了能耗，节约了生产成本，提高了生产效率，为低成本ITO平面靶的国产化提供了可行性方案。
尺寸中间缺陷 ito 平面靶素坯生产方法

[实用新型]一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置-CN202220221480.4有效
发明人：王玉军;杨建新;刘洪福;刘志江 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：一种大型ITO平面靶烧结炉进气装置，包括炉台主体，炉台主体包括上侧的刚玉承烧板、支柱架设结构和下侧的保温层，保温层底部连接设有气室，气室内部设有气室中间隔板，气室中间隔板将气室分隔为气室上层和气室下层，气室中间隔板四角处分别设有隔板气孔，气室下侧壁中部连接设有外部氧气进口，气室上侧壁均匀连接设有若干组进气套管，进气套管与气室上层相连通，进气套管另一端插接设有进气支管。本实用新型与现有技术相比优点在于：本专利提供的大型ITO平面靶烧结炉进气方法，区别于行业内通常采用的侧壁进气方式，采用了炉底气室快速预热，并分配至炉台进气支管均匀柔和进入炉膛。提高了能源利用率；减少了靶材变形开裂的风险，采用低流速整体氧气使用量节省30%。
一种大型 ito 平面烧结炉装置

[发明专利]一种提高ITO靶材坯体强度的方法-CN201910125113.7有效
发明人：王雪涛;宋蕊立;李玉新 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成固化保护膜，从而对ITO靶材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题的出现，提高了转移成品率。
一种提高 ito 靶材坯体强度方法

[实用新型]一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置-CN202120674334.2有效
发明人：王玉军;杨建新;刘洪福;刘志猛 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B66C1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超大尺寸ITO素坯吊装转移装置，包括与ITO素坯尺寸相适配的真空海绵吸盘，真空海绵吸盘面向ITO素坯的一面设置有海绵；真空海绵吸盘的四角均设置有用于实时监测反馈四个角点距托板或承烧板距离的激光测距装置；真空海绵吸盘背向ITO素坯一面的四角分别通过固定的柔性钢丝绳连接有用于吊装转移ITO素坯的起吊电机；起吊电机的受控端连接有用于保证真空海绵吸盘平行于ITO素坯和承烧台的PLC控制器，PLC控制器的输入端连接激光测距装置的输出端。本实用新型不但结构简单、使用方便、自动化程度高，可大大提高ITO素坯吊装转移的效率，而且在吊装转移的过程中可对ITO素坯形成有效的保护和避免因局部点线接触对ITO素坯造成破坏。
一种超大尺寸 ito 吊装转移装置

[实用新型]一种具有缓冲机构的液压机-CN202021468346.1有效
发明人：梁超桂 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及液压机技术领域，尤其是一种具有缓冲机构的液压机，包括液压机本体以及底座，所述减震机构包括开设在底座上端一侧的方形槽以及铰接在圆盘下端外侧的连杆，所述方形槽内滑动设置有滑块，且方形槽与滑块间隙配合，所述滑块的上端通过铰接座铰接在连杆的下端，所述方形槽的内侧中部水平固定有圆杆，所述滑块滑动设置在圆杆的外侧，所述圆杆的外侧套设有复位弹簧，所述复位弹簧位于远离连杆的一侧。本实用新型具备很好的缓冲减震的效果。
一种具有缓冲机构液压机

[实用新型]一种用于真空磁控溅射镀膜靶材的邦定装置-CN202021118615.1有效
发明人：丁永灼 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2020-06-16 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空磁控溅射镀膜靶材的邦定装置，包括基座，所述基座上设有工作孔，所述基座的上端面上设有四个呈中心对称设置的第一滑动槽，四个所述第一滑动槽内均滑动连接有第一滑动块，四个所述第一滑动块远离第一滑动槽的一端均设有升降槽，四个所述升降槽内均滑动连接有磁柱，四个所述磁柱远离基座的一端均固定连接有固定板，四个所述磁柱远离固定板的一侧壁上均固定连接有弹簧，四个所述弹簧远离磁柱的一端分别固定连接在四个升降槽的内壁上设置。本实用新型可以方便的完成不同大小靶材的固定工作，极大的方便了用户进行溅射镀膜工作。
一种用于真空磁控溅射镀膜装置

[发明专利]一种ITO旋转靶的注浆成型装置及方法-CN201911005063.5在审
发明人：王玉军;王雪涛;杨建新;刘洪福;冯捆柱;宋蕊立 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B28B1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种ITO旋转靶的注浆成型装置及方法，所述ITO旋转靶的注浆成型装置，包括水平连接设置在旋转机构上且内部设置柱状型腔的外模，外模的左端为与柱状型腔相连通的开口端，外模的左端设置有密封端盖以及设置在密封端盖上的浆料输送管道；所述外模的柱状型腔内部设置有上部分布有排水毛细孔的内模以及部分设置在柱状型腔内部且部分活动穿过外模的推料机构；所述内模的内壁与密封端盖及推料机构形成成型模腔。本发明装置投资小，占地空间小，采用离心力及模具化学毛细作用，没有大的压力梯度，素坯均匀性、一致性好，内应力小，不易开裂，保证素坯成型的均匀性，利于脱模，提高了产品的质量。
外模柱状型腔密封端盖注浆成型装置内部设置推料机构均匀性旋转靶内模左端浆料输送管道成型模腔活动穿过毛细作用水平连接素坯成型旋转机构压力梯度一致性好占地空间开口端毛细孔内壁素坯脱模模具排水保证投资

[实用新型]应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置-CN201920221602.8有效
发明人：王雪涛;李玉新;刘洪福 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： F27B14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于烧结炉的高温炉气内循环引流装置，所述烧结炉包括内设炉膛的炉体和设置在炉体外的护罩，护罩与炉体之间填充有保温层，所述烧结炉的中下部设置有进气管路；所述引流装置包括横向设置在烧结炉中下部保温层内的负压抽吸装置和竖向设置在保温层内负压引流管，负压引流管的底端与负压抽吸装置的喉部连通，负压引流管的顶端与烧结炉炉膛的顶部连通；所述负压抽吸装置的收缩段入口与进气管路连通，位于炉膛内的负压抽吸装置扩散段末端为高温氧气出气口。本实用新型不仅可对新通入的冷态氧气进行预热，降低能源消耗，还能够明显改善炉膛内气体流动状态，均匀氧气流场，加强传质传热，大大提高了ITO靶材坯体的烧结合格率。
烧结炉炉膛负压抽吸装置负压引流管保温层炉体连通本实用新型进气管路引流装置护罩气体流动状态烧结合格率传质传热高温炉气高温氧气横向设置能源消耗竖向设置氧气流场出气口扩散段内循环收缩段预热底端喉部冷态坯体填充氧气应用

[实用新型]应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置-CN201920231117.9有效
发明人：王雪涛;李玉新;宋蕊立 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，包括水平设置在烧结窑内支架上的支撑座，所述支撑座的上端面倾斜设置，倾斜设置的支撑座上端面上放置有用于承载ITO靶材坯体的承烧板，承烧板的上端面上匀布有若干条贯穿承烧板前后、用于流过氧气气流的沟槽；位于较低端的支撑座倾斜上端面端部设置有承托承烧板和ITO靶材坯体的挡块。本实用新型可使氧气通过水平设置的沟槽与靶材坯体接触，提高了透氧率；同时倾斜设置承烧板可将靶材坯体的重力在水平方向上实现分解，降低了坯体与承烧板之间的摩擦力，有利于靶材坯体的收缩，减少了烧结时间，提高了靶材坯体的烧结成品率以及烧结密度。
坯体承烧板支撑座靶材倾斜设置烧结窑本实用新型架设装置水平设置烧结上端面上端烧结成品率氧气气流氧气通过内支架透氧率承托挡块匀布收缩应用承载分解贯穿

[发明专利]一种带有氧气循环使用系统的ITO靶材烧结炉-CN201810377628.1在审
发明人：王雪涛;王新会;马春元;宋蕊立 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： F27D7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有氧气循环使用系统的ITO靶材烧结炉，所述氧气循环使用系统包括通过主管道首尾依次连通的用于对烧结炉排出的气体进行分析的气体分析单元、用于对排气进行压缩缓冲的加压单元、净化排气的净化单元以及向烧结炉内输送氧气的充气单元，所述气体分析单元的进气口与ITO靶材烧结炉排气口连通，充气单元的出气口与烧结炉进气口连通；所述氧气循环使用系统还包括分别与气体分析单元、加压单元、净化单元以及充气单元连接的控制器。能够将炉体内排出的氧气经过处理后重新输入炉体内部进行循环利用，氧气回收使用率为90%以上，降低了生产成本，消除了由于氧气排放而引发的安全隐患。
使用系统氧气循环烧结炉气体分析单元充气单元进气口氧气加压单元净化单元烧结炉排连通安全隐患净化排气炉体内部循环利用氧气回收依次连通控制器出气口主管道使用率缓冲排出气口排气首尾生产成本体内压缩排放分析

[发明专利]一种纳米氧化铟及其制备方法-CN201710032304.X有效
发明人：王玉军;王景绰;张帆;王雪涛 -专利权人：清华大学;河北惟新科技有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： C01G15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纳米氧化铟及其制备方法，包括以下步骤：将水溶性铟盐、乙酸钠和水混合，得到混合溶液；将所述混合溶液的pH值调节至3.7～8，水热反应得到纳米氧化铟前驱体；再经焙烧，得到纳米氧化铟。本发明以水溶性铟盐为铟源，以乙酸钠为沉淀剂，在较大的pH值范围内水热反应，制备得到立方相氢氧化铟，再经焙烧得到大粒径、高结晶度的立方相纳米氧化铟，制备过程简单，容易操作，过程可控。实验结果表明，本发明提供的制备方法制备的纳米氧化为结晶度高的立方相，粒径为76～124nm。
一种纳米氧化及其制备方法

[实用新型]一种新材料表面质量检测装置-CN201721616119.7有效
发明人：王雪涛;马春元;王新会;刘浩 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新材料表面质量检测装置包括主体框架，主体框架的顶端设置有两条水平放置的框顶滑轨，框顶滑轨的最左端的上表面处设置有气动缸，气动缸的右端连接有纵向夹板，纵向夹板的上端固定连接有垂直于纵向夹板的横向夹板，纵向夹板与横向夹板之间共同固定连接有水平滑动块，水平滑动块的底端连接有水平方向的底边滑杆，水平滑动块的右端面上连接有两根互相平行的横向连接杆，两个横向连接杆的最右端连接有超声波发出头，超声波发出头之间设置有圆台状的测试台，测试台内设置有一竖直放置的伺服电机，解决了新材料质量检测的超声波设备检测范围较小，仅限于局部检测，而且检测灵活性低，无法实现自动化检测以及全面检测的目的的问题。
纵向夹板水平滑动块表面质量检测装置检测横向连接杆横向夹板主体框架超声波测试台气动缸滑轨框顶本实用新型超声波设备顶端设置互相平行全面检测上端固定竖直放置伺服电机质量检测上表面圆台状底端滑杆自动化垂直

[实用新型]ITO靶材烧结炉-CN201721401273.2有效
发明人：王雪涛;马春元;王新会;刘浩 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： F27B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种ITO靶材烧结炉，包括炉架，炉架的上支架上架设有炉体，炉体内设置有保温层；炉架的下支架上设置有定位导轨，定位导轨之间的炉架内设置有用于放置待烧结ITO靶材坯体的升降架；所述炉体上还设置有气氛控制系统、加热控制系统以及主控制器；所述炉体和保温层之间还设置有水冷夹套，炉体上设置有控制水冷夹套进行冷却作业的水冷控制系统，所述水冷控制系统的受控端连接主控制器的输出端。本实用新型能够使炉膛内的温度快速地上升或下降，进而实现快速并精确地调节升降温速率的目的，使ITO靶材在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态，大大提高了ITO靶材的烧结质量。
ito 烧结炉

[发明专利]高强度ITO靶材坯体的制备方法-CN201711053479.5在审
发明人：王雪涛;杨建新;田萌;王新会;冯孔柱;宋蕊立;刘志猛 -专利权人： 河北惟新科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种高强度ITO靶材坯体的制备方法，包括制备预混液、制备浆料、注浆成型以及坯体脱模干燥的步骤，所述浆料中含有以下重量份数的组分纯度为99.99%以上、比表面积为1~10m2/g的ITO粉1000份，水150~250份，分散剂5~20份，粘接剂0.5~3份，消泡剂1~10份，塑化剂1~20份；所述浆料制备的过程中采用球磨和砂磨结合的方式进行研磨。采用本发明制备的靶材坯体具有密度高、坯体内粒度小而均匀、无气泡、无开裂、无分层的优点，大大提高了靶材坯体的成品率。
强度 ito 靶材坯体制备方法

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