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[发明专利]离子通道路径系统的校正检测方法-CN201810483319.2有效
发明人： 汪政明;张凌越;徐继六;刘勰 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G01V8/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子通道路径系统的校正检测方法，所述离子通道路径系统的校正检测方法包括：从离子通道路径系统的一端的多个设置点发射激光，在所述离子通道路径系统的另一端的多个对应点处检测所述激光，若检测到所述激光被接收，则离子通道路径系统校正成功，若检测到所述激光未被接收，则离子通道路径系统校正失败。
离子通道路径系统校正检测方法

[实用新型]一种乙二醇脱汞装置-CN201621453975.0有效
发明人：赵伟;王延椿;刘涛;张羽枫;张海涛;孟亮;汪政明;吕小明 -专利权人：克拉玛依市三达能源装备有限责任公司;中国石油新疆油田分公司采气一厂
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种乙二醇脱汞装置，包括橇座和固定于橇座上的空冷器、不凝气分液罐、不凝气吸附罐、工艺管线和控制阀门，其中，进气管线与空冷器进口连接，空冷器出口通过分液罐进口管线与不凝气分液罐的进口连接，不凝气分液罐的出口通过吸附罐进口管线与不凝气吸附罐的进口连接，不凝气吸附罐的出口与放空管线连接，放空管线与大气相通，不凝气分液罐的底部与排液管线连接；吸附罐进口管线上设有吸附罐进口阀门，放空管线上设有吸附罐出口阀门。本实用新型装置可以脱除乙二醇再生蒸汽含有的汞物质，使处理后的乙二醇达到排放标准，以确保周围环境不受到污染、人员不受到侵害、设备不受到损坏。
一种乙二醇装置

[发明专利]电源装置-CN201410080842.2在审
发明人：徐继六;汪政明;刘勰 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H02H7/04 文献下载
摘要：本发明提供一种电源装置，包括电源；油式变压器，位于半导体制造设备内部，所述油式变压器具有输入端，所述输入端与所述电源耦接；安全保护装置，串联于油式变压器输入端，用于在油式变压器输入端的电流超过安全保护装置的阈值电流时，能使油式变压器与所述电源断开。所述安全保护装置具有使油式变压器断路的功能，在油式变压器承受瞬间巨大的短路电流或故障电流时及时地切断电路，提高油式变压器的安全性。
电源装置

[发明专利]防滑片污染装置-CN200710039484.0无效
发明人：梁金秋;汪政明;刘勰;熊涛 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2007-04-13 - 公布日： 2008-10-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于工艺腔体的防滑片污染装置，其包含有一缓冲承接组件；以及数个用以将该缓冲承接组件定位于一欲装设该防滑片污染装置的机台内的定位件。其利用一种不会造成腔体污染、安装容易、便于维修、成本低的防滑片污染装置，来装设于机械手臂取芯片至工艺平台的路径上，以承接由机械手臂夹持滑落或自芯片轮流碟上滑落的芯片。
防滑污染装置

[发明专利]一种离子注入机的测漏桶-CN200710047901.6有效
发明人： 汪政明 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2007-11-07 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子注入机的测漏桶，测漏桶与外部测漏机并行使用，用于对离子各模组进行测漏。它包括测漏桶桶身，测漏桶桶身上具有与外部测漏机连接的抽气孔，测漏桶桶身还开有一敞口，测漏桶桶身的敞口处与可与其形成密封型接触的被测漏模组连接，被测漏模组置于桶身内，不同得被测漏模组还可通过不同尺寸的适配板与测漏桶桶身进行密封型连接，这样可适用于离子注入机不同模组进行漏点测试。本发明离子注入机的测漏桶，不仅结构简单，而且能够方便准确定位离子注入机的漏点，避免对离子注入机反复重组进行测试，延误离子注入机的正常使用。
一种离子注入测漏桶

[发明专利]校正辅助工具-CN200710048120.9有效
发明人： 汪政明 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2007-11-13 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于校正机械手臂相对承载台内晶圆的位置校正辅助工具。该校正辅助工具呈镂空长方体状，且其厚度大于机械手臂的厚度；校正时，该校正辅助工具套接于机械手臂上。该校正辅助工具由结构相同的两部分组成，校正时，分别安装于机械手臂的前端和后端。与现有技术相比，通过将校正辅助工具厚度设置成大于机械手臂的厚度，那么在机台正常生产时，保证了机械手臂与晶圆之间存在安全距离，提高了校正的准确性。
校正辅助工具

[实用新型]半导体热工艺的硅片承座校正工具-CN200420021540.X无效
发明人： 汪政明 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2004-04-01 - 公布日： 2005-08-10 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种校正工具，主要应用在半导体热工艺中的硅片承座的中心点定位，因目前在硅片承座的中心定位上大多以目视来检测，容易有所误差，有鉴于此，本实用新型提出一可寻找中心点的校正工具，所述工具包含两组测量直尺，利用移动设于测量直尺上的滑动条可标定出待测物体的两个最大内径，则此两个最大内径的交点即为所欲定位的中心点。
半导体工艺硅片校正工具

[发明专利]一种半导体热工艺的水冷装置-CN200310109590.3无效
发明人： 汪政明 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2003-12-18 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体热工艺的水冷装置，用两条供应输送管与两条回收输送管分别连接于两个进行半导体热工艺的反应腔室，因此每一个腔室各有一组供应与回收冷却水的管线以供腔室调节温度，并保持足够的水压与水量，避免因冷却水水压不足致使设备无法工作而影响产量，也不需再加装水泵提高水压，降低维修成本。本发明对于水冷装置管线进行改进，具有改装容易，有效降低设备维修成本的优点。
一种半导体工艺水冷装置