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[发明专利]传感器装置以及传感器装置的制造方法-CN201080054137.5无效
发明人：田中秀治;江刺正喜;室山真德;松崎荣;卷幡光俊;野野村裕;藤吉基弘;中山贵裕;山口宇唯;山田整 -专利权人：国立大学法人东北大学;丰田自动车株式会社
申请日： 2010-10-13 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：提供将具有接触感知面的传感器构造部(300)和处理该传感器构造部的传感器信号的信号处理LSI部(420)封装化的技术。传感器构造部(300)具有接触感知面和传感器电极(320、330)。在半导体基板(400)中制作有信号处理用集成电路(420)。通过粘结层(500)将传感器构造部(300)和半导体基板(400)接合，由此将传感器装置(200)单片化。传感器电极(320、330)和集成电路(420)在传感器装置(200)的内侧被封闭，并且传感器电极(320、330)和集成电路(420)的外部端子经由半导体基板(400)的侧面被引出到半导体基板(400)的背面。
传感器装置以及制造方法

[发明专利]片状触觉传感器系统-CN200980162937.6有效
发明人：室山真德;江刺正喜;田中秀治;松崎荣;卷幡光俊;野野村裕;藤吉基弘;中山贵裕;山田整;山口宇唯 -专利权人：国立大学法人东北大学;丰田自动车株式会社
申请日： 2009-10-14 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01L5/16 文献下载
摘要：片状触觉传感器系统包括片层部(200)和可检测垂直应力的多个垂直应力检测传感器单元(300)。片层部(200)具有：外部片层部(210)、内置有垂直应力检测单元(300)的力检测片层部(230)、以及被夹在外部片层部(210)与力检测片层部(230)之间的介质层(220)。外部片层部(210)与力检测片层部(230)具有彼此在相对方向上突起的多个突起部(212、232)，并且外部片层部(210)与力检测片层部(230)以使彼此的突起部(212、232)隔着介质层(220)啮合的方式被相对配置。每个垂直应力检测传感器单元(300)具有紧接在设置于力检测片部(230)上的突起部(232)的中央部的下方配置的中央部检测传感器装置(310)、以及紧接在设置于力检测片部(230)上的突起部(232)的边缘部的下方配置的至少两个边缘部检测传感器装置(321～324)。
片状触觉传感器系统

[发明专利]布线连接方法和功能器件-CN201080048508.9有效
发明人：田中秀治;江刺正喜;松崎荣;毛利护 -专利权人：国立大学法人东北大学
申请日： 2010-09-01 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： H01R43/02 文献下载
摘要：本发明提供布线连接方法和功能器件。在第一基板(10)的连接电极部(12)、第二基板(15)的连接电极部(17)中的至少一个连接电极部上预先形成金属层(14)，以第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)隔着金属层(14)相对的方式使第一基板(10)与第二基板(15)重叠之后，通过一边第一基板(10)与第二基板(15)升温至阳极接合温度并维持该温度一边对第一基板(10)与第二基板(15)之间施加直流电压，对第一基板(10)与第二基板(15)进行阳极接合，与此同时，使金属层(14)熔融而对第一基板(10)的连接电极部(12)与第二基板(15)的连接电极部(17)进行电连接。由此，能够以良好成品率对多个基板进行阳极接合的同时进行布线连接，对封装等有效。
布线连接方法功能器件

[发明专利]二轴角速度传感器-CN201110351343.9有效
发明人：吴英;罗彪;江刺正喜;刘宇;欧益宏;向毅;柏俊杰;周兆英 -专利权人：重庆科技学院
申请日： 2011-11-09 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01P9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种二轴角速度传感器，其特征在于：包括安装有永磁体的底座，该底座的上方设置有质量块，该质量块经连接机构与底座相连，该质量块上布置有感应线圈，该感应线圈的两端输出感应电动势；所述质量块的下端面固定有检测电容上电极，底座上表面固定有检测电容下电极，所述检测电容上电极与检测电容下电极平行相对，二者形成检测电容；所述底座上表面还固定有参考电容下电极，所述底座的上方还固定有参考电容上电极，所述参考电容上电极与参考电容下电极平行相对，二者形成参考电容。本发明基于电磁驱动，磁电/电容检出的技术，以达到低成本，微型化，二轴角速度检测目的。
角速度传感器

[发明专利]制造树脂的微型机器部件的方法-CN200680022865.1有效
发明人：本田那央;森哲;田中秀治;江刺正喜 -专利权人：国立大学法人东北大学;日本化药株式会社
申请日： 2006-06-15 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种制造树脂的微型机器部件的方法，该方法包括以下步骤：(a)在基片上形成一层牺牲层；(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成多层结构；(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上沉积干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行光刻，形成固化的干膜蚀刻层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙；和(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构。
制造树脂微型机器部件方法

[发明专利]能动导管与能动导管系统-CN200480036971.6有效
发明人： 江刺正喜;芳贺洋一;水岛昌德;松永忠雄 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构;江刺正喜;芳贺洋一
申请日： 2004-12-10 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： A61B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能动导管及其系统，通过弯曲其前端部定向，控制弯曲度可易于插入难插入的位置，并可在用于检查和内科治疗的低温下驱动。弯曲机构(21)由沿工作管路用导管(21a)外侧缠绕SMA线圈(21e)构成。该弯曲机构插入内置多个重锤(22)的外壳用导管(25)中。前端尖部(23)设置于该弯曲机构(21)的前端侧作为能动导管(1)的前端部(2)。主导管(4)与该前端部(2)的工作管路用导管(21a)连通。配线(21g)与该SMA线圈(21e)相连。所述配线(21g)在主导管(4)的配线用管路(4B)中插入到该主导管的后端部(41)，能从外面驱动该弯曲机构(21)。
能动导管系统

[发明专利]压电材料的加工方法-CN200480013536.1无效
发明人：安部隆;李丽;江刺正喜 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构
申请日： 2004-05-20 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： C04B41/91 文献下载
摘要：在具有预定厚度分布的光致抗蚀剂掩模(14)覆盖到压电基片(11)之后，通过使用一种在压电基片(11)和掩模(14)间具有蚀刻速率差异的蚀刻气体，通过干蚀刻方法，将基片(11)加工成一种目标三维形状。厚度分布可通过掩模材料的回流或通过压印精密印花而给予掩模(14)。通过在干蚀刻过程中反应气体的组成控制，基片(11)可被加工成与掩模(14)的放大的厚度分布一致的三维形状。由于压电材料无缺陷地被精确加工成目标形状，所以能提供高质量的元件和装置。
压电材料加工方法

[发明专利]压制玻璃用模具的制造方法-CN200480013548.4无效
发明人：田中秀治;江刺正喜 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构
申请日： 2004-03-22 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： C03B11/00 文献下载
摘要：一种压制玻璃用模具的制造方法，其特征在于：将碳化硅堆积在硅模具的表面上，然后将堆积的碳化硅与碳化硅基板接合，接着通过蚀刻除去硅模具。此外，在该压制玻璃用模具的制造方法中，通过在堆积在硅模具的表面的该碳化硅与碳化硅基板之间插入金属薄膜，可以提高该碳化硅与该碳化硅基板之间的接合性。
压制玻璃模具制造方法

[发明专利]活动的细长管和制造这种管的方法-CN99126737.0有效
发明人： 江刺正喜;芳贺洋一 -专利权人： 江刺正喜;芳贺洋一
申请日： 1999-12-14 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： F16L11/14 文献下载
摘要：一种可实施为导管、导线或任何其它医用或非医用微型机械或系统或系统的活动微型部件的活动细长管，其具有简单的结构和能够具有多种功能的能力，该结构使得易于减少活动细长管的直径。细长管在其“J”形活动远端备有弯曲、扭转、伸缩和/或刚度控制机构。这些机构适合精确地弯曲、扭转、伸缩活动远端并调整活动远端的刚度。
活动细长制造这种方法

[发明专利]压力转换器及其制造方法-CN99110158.8无效
发明人：池田雅春;江刺正喜 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1999-06-30 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： H01L29/84 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将施加于隔膜的静压或动压转换成相应电信号的压力转换器及其制造方法。该转换器包括一形成在一基板上表面上的固定电极和一通过一空腔设置在固定电极上方的可动电极。在基板的底部形成有至少一个孔，借助干腐蚀法，利用该孔，可以在制造过程去除介于隔膜和基板上表面之间的牺牲层，从而形成所述空腔。
压力转换器及其制造方法

[发明专利]传感器-CN99110451.X无效
发明人：池田雅春;江刺正喜 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1999-07-14 - 公布日： 2004-03-10 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：在半导体基底的前表面上形成了一个保护电极且经过一个绝缘层在保护电极上形成了一个固定电极。借助一个隔膜在固定电极上形成了一个腔，且在这些隔膜层之间形成了一个运动电极。形成了从基底的后表面延伸并到达腔的一个基底通孔。提供了一个运算放大器，它驱动保护电极从而使保护电极的电位与固定电极的电位相等。固定电极与运动电极之间的电容的改变被转换成与隔膜的位移直接相关的电压。
传感器

[发明专利]连接构件、微开关、连接构件的制造方法及微开关的制造方法-CN02801401.4无效
发明人：宫崎胜;三瓶广和;柳永勋;江刺正喜 -专利权人：爱德万测试株式会社;江刺正喜
申请日： 2002-04-25 - 公布日： 2003-12-17 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：微开关(10)，电性连接第1端子(12)及第2端子(14)。微开关(10)，包括：第1支持构件(20)，设置有第1端子(12)；可动部(40)，设置有对向于第1端子的第2端子(14)；驱动部(50)，可通过电力的供给将可动部(40)朝第1端子(12)的方向驱动，以使第2端子(14)跟第1端子(12)接触；电极(22)，设置于第1支持构件(20)，用以供给电力于驱动部(50)；弹性端子(54)，包括有跟驱动部(50)接合的接合部(54a)，和朝即定方向具有弹性的弹性部(54b)；以及按压端子(26)，跟弹性端子(54)接触，且当在跟电极(22)接合的同时，将弹性部(54b)往即定方向按压。
连接构件开关制造方法

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