专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构-CN202123005394.4有效
  • 陈成;杨旭可 - 深圳市尊绅投资有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-04-29 - B65G47/22
  • 本实用新型涉及导向结构技术领域,具体为一种用于面板和半导体行业湿设备的新型导向结构,包括用于传送面板的传送平台,以及设置在所述传送平台两侧的导向结构,所述导向结构包括:导向轮、激光发射器和激光接收器;所述导向轮设置有多组,沿所述传送平台的侧边线性排列;所述导向轮的顶面设置有凹槽,所述凹槽的内壁对称设置有两组定位孔;所述激光发射器和激光接收器分别位于所述传送平台的两端,且所述激光发射器的激光发射口、激光接收器的激光接收口和定位孔的圆心位于同一水平线。该新型导向结构,通过激光发射器发射激光对导向轮的位置进行校准,校准精度更高,方便后期的设备维护,节省人力。
  • 一种用于面板半导体行业设备新型导向结构
  • [实用新型]一种用于将镀膜靶材与腔体基座进行固定的绝缘垫块-CN202123006383.8有效
  • 陈成;陈成波;吴昭宽;杨旭可 - 深圳市尊绅投资有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-04-12 - C23C14/56
  • 本实用新型涉及镀膜设备技术领域,具体为一种用于将镀膜靶材与腔体基座进行固定的绝缘垫块,包括垫块本体,所述垫块本体包括座体、台阶和侧翼,其中,所述座体上设置有螺纹槽,所述螺纹槽上旋接有用于连接镀膜靶材的自攻螺套,所述座体位于所述螺纹槽的两侧还设置有安装孔,且所述安装孔上旋接有用于连接腔体基座的螺栓,所述座体上还设置有环形切槽和侧切槽;所述台阶位于所述座体的底面,且所述台阶上设置有封孔,所述封孔与所述螺纹槽连通;所述侧翼设置在所述座体一侧,用于将所述垫块本体扣押腔体基座的边部。该绝缘垫块改善自攻螺套凸出的问题,避免镀膜靶材与腔体基座间出现短路异常,提高机台稼动率、产能和产品良率。
  • 一种用于镀膜基座进行固定绝缘垫块
  • [实用新型]一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴-CN202123006395.0有效
  • 陈成;洪振天;陈可波;杨旭可;吴昭宽 - 深圳市尊绅投资有限公司
  • 2021-12-02 - 2022-04-12 - C23C14/35
  • 本实用新型涉及CDU主轴技术领域,具体为一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴,包括主轴本体和碳刷,所述主轴本体与所述碳刷间设置有防护件,所述防护件包括:左电极导电板、右电极导电板和连接件,且所述左电极导电板和右电极导电板通过连接件连接固定后套接在所述主轴本体的外表面,且所述碳刷通过所述左电极导电板和右电极导电板为所述主轴本体供电。该应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴,通过设置在主轴本体上的防护件可以起到防护作用,使碳刷与主轴本体间的摩擦损耗转化为碳刷与左电极导电板和右电极导电板间的摩擦损耗,可以在其出现损耗后进行拆换,操作简便,解决碳刷与主轴本体间易发生摩擦损耗的问题。
  • 一种应用于金属溅射镀膜新型cdu主轴
  • [实用新型]一种应用于金属溅镀机的新型圆柱靶材外箱-CN202122901108.6有效
  • 陈成;杨心迪;杨旭可;吴昭宽 - 浙江泰嘉光电科技有限公司
  • 2021-11-24 - 2022-04-05 - C23C14/34
  • 本实用新型涉及靶材外箱技术领域,具体为一种应用于金属溅镀机的新型圆柱靶材外箱,包括箱体、箱盖和防撞棉,且所述防撞棉放置在所述箱体和箱盖之间,所述防撞棉上设置有多个用于放置靶材的凹槽,且所述凹槽的两端贯穿所述防撞棉的侧壁;所述防撞棉的两侧还设置有用于遮挡所述凹槽两端开口的门板,且所述门板可拆卸的连接在所述箱体和箱盖之间。该应用于金属溅镀机的新型圆柱靶材外箱,通过拆卸门板的方式将防撞棉上的凹槽两端开口露出,无需再用天车将靶材的一端吊起一定角度后再安装磁石,且无需再利用推车进行平移,节省了安装磁石过程中的吊装作业,以及安装完磁石后的推车作业,节省人力物力,便于使用。
  • 一种应用于金属溅镀机新型圆柱靶材外箱

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