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[发明专利]一种防喷器内腔钻具实时检测装置及方法-CN202310887293.9在审
发明人：张彦华;张向前;张少雷;李雪冬;安俊;王宏军;郭雪;王坤青;张哲;陈艳东;李长坤;杨敏;刘凯辉;刘奇峰;许宏奇;崔津生 -专利权人：河北华北石油荣盛机械制造有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： E21B47/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种防喷器内腔钻具实时检测装置及方法，装置包括无磁性金属内环，其密封安装于全封防喷器下法兰和下半封防喷器法兰之间；无磁性金属内环为外侧具有敞口的空腔；空腔内缠绕差动式涡流感应线圈；外壳密封敞口形成浇封型防爆结构；钻具检测系统包括：检测线圈、激励线圈共同组成的差动式涡流感应线圈及检测电路；差动式涡流感应线圈通过线缆与设置在外部的检测电路电性连接；钻具运动于全封防喷器法兰、下半封防喷器法兰和无磁性金属内环构成的内腔，上下运动切割涡流磁场。在钻井紧急关井过程中，实时检测钻具有无情况，为有效关闭全封防喷器进而安全关井提供数据依据，大幅提高钻井作业的安全性，保障钻井作业安全。
一种防喷器内腔钻具实时检测装置方法

[发明专利]一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置-CN202310820154.4在审
发明人：曹自立;刘洪旺;李长坤;韩春宇 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F26B11/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种马兰戈尼干燥方法和晶圆处理装置，该方法应用于晶圆处理装置，所述晶圆处理装置包括带动喷液嘴和喷气嘴摆动的摆臂，所述马兰戈尼干燥方法包括：第一阶段，喷液嘴从朝向晶圆中心的起始位置开始向晶圆表面供液以进行液膜覆盖，同时喷气嘴在保证不撕破液膜的情况下向外喷气，并且摆臂停留第一预设时间；第二阶段，喷液嘴和喷气嘴跟随摆臂的摆动而移动，同时喷液嘴保持供液，喷气嘴降低喷气流量以避免撕破液膜；第三阶段，当喷气嘴移动至其朝向晶圆中心时，喷气嘴的喷气流量增大至执行马兰戈尼干燥的相应流量，并且摆臂停留第二预设时间。
一种马兰干燥方法处理装置

[实用新型]一种晶圆后处理装置-CN202321121719.1有效
发明人：李灯;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆后处理装置，包括：箱体；夹持部，设置于所述箱体中，用于竖直限定晶圆的位置；驱动部，其与所述夹持部传动连接，以带动所述夹持部旋转；清洗部，其在晶圆一侧的竖直面内呈扇形摆动，并向晶圆表面喷射漂洗液和/或干燥气体；旋转挡圈，沿晶圆的外周设置以包围晶圆，所述旋转挡圈与晶圆同步旋转；固定挡圈，沿所述旋转挡圈的外周设置。本实用新型中，旋转挡圈与晶圆同向旋转，液滴接触到旋转挡圈内壁后，更易沿着内壁向后排走而不产生溅射；旋转挡圈外侧增加固定挡圈，可以有效阻挡旋转挡圈排液口甩出的液体，使液体沿着固定挡圈内壁流落从固定挡圈排液口排走；此结构可有效改善液滴反溅造成晶圆二次污染。
一种晶圆后处理装置

[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310787611.4在审
发明人：陈贺;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括箱体，其内部设置有溢流槽；支撑组件，其设置于所述溢流槽中，以支撑并带动晶圆旋转；喷液组件，其设置于所述溢流槽中，以朝向溢流槽底部喷射液体；所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部，所述槽主体为矩形槽体，所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方；所述整流部与收缩部之间设置有振板，其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波；所述整流部为矩形槽体，其内部宽度小于槽主体的内部宽度；经由整流部上移的流体，能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。
一种清洗装置

[发明专利]一种晶圆清洗装置和晶圆后处理装备-CN202310787613.3在审
发明人：陈贺;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置和晶圆后处理装备，所述晶圆清洗装置包括：箱体；支撑部，其设置于箱体中，以竖向支撑待清洗的晶圆；振板，其倾斜设置于箱体中，以从侧向提供高频振动；喷液部，其朝向振板围成的内槽喷射流体，以将高频振动剥离的污染物从内槽的顶部溢流排出。
一种清洗装置晶圆后处理装备

[发明专利]晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统-CN202110761694.0有效
发明人：曹自立;李灯;申兵兵;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统，晶圆竖直旋转处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；通风系统包括进气组件和排气组件，外部的气体从设于进风罩下方的进气管路引入并通过进风面板的进风口通入晶圆处理腔室，腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；进风面板上不同面积的进风口按照特定方式分布，进风口为台阶孔形状，其包括位于进气侧的第一通孔和位于出气侧的第二通孔，第一通孔的截面积不同于第二通孔的截面积从而对流经进风口的气体流量进行调节。
竖直旋转处理设备及其应用通风系统

[发明专利]一种针对孔状或缝状流路的原位流量测量装置及方法-CN202310497710.9有效
发明人：曹永飞;古国徽;李长坤;杜羽 -专利权人：中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：一种针对孔状或缝状流路的原位流量测量装置及方法，属于空气动力学内外流流量测量领域。本发明包括壁板、外侧总压测量管和内侧总压测量管，壁板安装于试验件壁板上，壁板上开设有气体流路，壁板内外两侧壁上分别设置有内侧静压测点和外侧静压测点，壁板内外两侧分别安装有内侧总压测量管和外侧总压测量管。在气体流路的外侧和内侧附近区域分别测量壁板内外侧静压、总压，通过内外侧静压和气体流路流通面积计算出流量质量流量，通过总静压分别计算出外侧马赫数和内侧马赫数。通过在不同马赫数气流影响下的修正系数对理论质量流量进行修正，得到准确的流过气体流路的质量流量，实现在孔缝流路原位对流通流量的测量，以解决孔缝流路准确测量问题。
一种针对缝状流路原位流量测量装置方法

[发明专利]手性双噁唑啉-炔基膦类配体及其制备和应用-CN202010976448.2有效
发明人： 李长坤;李冰;徐文斌;孙明河 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C07F9/653 文献下载
摘要：本发明公开了一种手性双噁唑啉‑炔基膦类配体及其制备和应用。本发明从2‑噁唑啉取代的溴苯、末端炔烃和三苯氧基膦出发，实现配体的高效高产率制备。该类配体可用于但不仅限于铑和钴等金属参与的不对称反应，用于以高对映选择性地制备1，2‑二取代的烯丙基胺和手性吡啶等。
手性双噁唑啉炔基膦类配体及其制备应用

[实用新型]一种化学机械抛光系统-CN202320782852.5有效
发明人：王凯杰;李灯;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种化学机械抛光系统，其包括：前端单元、多组抛光单元和多组后处理单元；所述后处理单元与所述前端单元之间的狭缝空间内配置有行走机构和翻转机构，所述翻转机构竖直承载晶圆并携带晶圆沿所述行走机构直线移动，直至移出所述狭缝空间后将晶圆翻转至水平状态。本实用新型可以减少翻转机构在机台长度方向占用的空间，相比现有的机台模块布局方案，本实用新型合理利用了机台内部空间，留给干燥和清洗等主要功能模块的空间更大，模块的设计、配置和布局具有更高的灵活性、选择性和多样性。
一种化学机械抛光系统

[实用新型]一种滚轮组件-CN202320768166.2有效
发明人：曹自立;李长坤;宁昭旭 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滚轮组件，与实现晶圆清洗的箱体耦接，所述滚轮组件包括活动轮、旋转轴、安装座和密封组件；所述密封组件分别与安装座和箱体固定，用于密封安装座与箱体之间的缝隙；所述密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧。
一种滚轮组件

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202320829377.2有效
发明人：申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括：槽体，其内部形成有供晶圆清洗的容置腔；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷；支撑组件，其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触，用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转；其中，所述支撑组件包括主动轮和测速轮，所述测速轮配置有制动件，所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本实用新型提供的晶圆清洗装置为测速轮配置了制动件，测速轮的转动轴与制动件的转子相连，当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动，使得测速轮可以及时止停，防止刮伤晶圆。
一种清洗装置

[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310369232.3在审
发明人：曹自立;李长坤;周静;王志强 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括：箱体、晶圆支撑机构、晶圆刷洗机构和供液组件，所述晶圆支撑机构包括用于承载晶圆并带动晶圆旋转的滚轮和安装座，安装座用于将滚轮与箱体固定，安装座和箱体之间设置有密封组件，密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧。
一种清洗装置

[发明专利]一种滚轮组件-CN202310371425.2在审
发明人：曹自立;李长坤;宁昭旭 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种滚轮组件，与实现晶圆清洗的箱体耦接，所述滚轮组件包括活动轮、旋转轴、安装座和密封组件；所述密封组件分别与安装座和箱体固定，用于密封安装座与箱体之间的缝隙；所述密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧。
一种滚轮组件

[发明专利]一种晶圆后处理装置-CN202310526495.0在审
发明人：李灯;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆后处理装置，包括：箱体；夹持部，设置于所述箱体中，用于竖直限定晶圆的位置；驱动部，其与所述夹持部传动连接，以带动所述夹持部旋转；清洗部，其在晶圆一侧的竖直面内呈扇形摆动，并向晶圆表面喷射漂洗液和/或干燥气体；旋转挡圈，沿晶圆的外周设置以包围晶圆，所述旋转挡圈与晶圆同步旋转；固定挡圈，沿所述旋转挡圈的外周设置。本发明中，旋转挡圈与晶圆同向旋转，液滴接触到旋转挡圈内壁后，更易沿着内壁向后排走而不产生溅射；旋转挡圈外侧增加固定挡圈，可以有效阻挡旋转挡圈排液口甩出的液体，使液体沿着固定挡圈内壁流落从固定挡圈排液口排走；此结构可有效改善液滴反溅造成晶圆二次污染。
一种晶圆后处理装置

[发明专利]一种化学机械抛光系统-CN202310378609.1在审
发明人：王凯杰;李灯;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械抛光系统，其包括：前端单元、多组抛光单元和多组后处理单元；所述后处理单元与所述前端单元之间的狭缝空间内配置有行走机构和翻转机构，所述翻转机构竖直承载晶圆并携带晶圆沿所述行走机构直线移动，直至移出所述狭缝空间后将晶圆翻转至水平状态。本发明可以减少翻转机构在机台长度方向占用的空间，相比现有的机台模块布局方案，本发明合理利用了机台内部空间，留给干燥和清洗等主要功能模块的空间更大，模块的设计、配置和布局具有更高的灵活性、选择性和多样性。
一种化学机械抛光系统

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