专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种蒸镀控制方法及蒸镀控制系统-CN201811261805.6有效
  • 刘全宝;李承皇;李浩永;曹景博 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2018-10-26 - 2021-11-16 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种蒸镀控制方法及蒸镀控制系统,涉及显示技术领域。在本发明实施例中,通过在蒸镀控制系统中增加补偿器,可以在确定当前处于更换晶振片的时段时,补偿器对微天平发送的检测信号进行补偿,以使蒸镀控制器可以根据补偿后的检测信号,控制蒸发部件中待蒸镀材料当前的实际蒸发速率,与更换晶振片之前待蒸镀材料的实际蒸发速率相同,避免了因晶振片的更换而引起实际蒸发速率的波动,提高了在晶振片的更换过程中待蒸镀材料的实际蒸发速率的稳定性,从而提高蒸镀工艺的生产效率。
  • 一种控制方法控制系统
  • [实用新型]托盘机构及蒸镀设备-CN202021383566.4有效
  • 李浩永;曹景博;蔡瑞芝;李灿;吴相;韩冰融 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2020-07-14 - 2021-04-16 - C23C14/24
  • 本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种托盘机构及蒸镀设备,该托盘机构包括托盘本体;滚轮,滚轮用于带动托盘沿第一方向移动;收集装置,收集装置与托盘本体连接,收集装置包括第一收集部,第一收集部在支撑面所在平面的正投影完全覆盖滚轮在支撑面所在平面的正投影。当利用In line方式进行蒸镀时,颗粒物在自身重力的作用下会向位于滚轮下方的第一收集部移动,最终落在第一收集部上,大大减少了颗粒物附着至玻璃基板表面的现象,有效减少了OLED面板出现暗点的情况。另外,由于收集装置与托盘本体连接,则当托盘本体移动时,收集装置也会随之移动,能够做到对颗粒物的实时收集,进一步保障颗粒物收集的效率。
  • 托盘机构设备
  • [发明专利]一种蒸发源及卷对卷蒸镀装置-CN201910545010.6在审
  • 李浩永;蔡瑞芝;曹景博;鲁俊瑞;郑基泽 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2019-06-21 - 2020-12-22 - C23C14/24
  • 本发明涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸发源及卷对卷蒸镀装置。其中,蒸发源,包括本体、喷嘴块以及连接于所述本体和所述喷嘴块之间的管道,所述管道可弯曲变形、以改变所述喷嘴块的喷射方向。上述蒸发源,在本体和喷嘴块之间设置有可弯曲变形的管道,在本体固定的情况下,通过弯折管道,可以实现对喷嘴块角度的自由控制,进而有利于满足蒸镀系统的更多需求,改善蒸镀方式和蒸镀装置。卷对卷蒸镀装置包括上述蒸发源。上述卷对卷蒸镀装置,一方面可以大大地减少卷对卷蒸镀装置的占地面积,另一方面可以保证蒸镀的均匀性以及长时间蒸镀的稳定性。
  • 一种蒸发卷蒸镀装置
  • [发明专利]一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法-CN201811548810.5在审
  • 刘全宝;李浩永;郑基泽;鲁俊瑞;曹景博;金薰 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2018-12-18 - 2020-06-26 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种可监测速率的蒸镀装置及速率监测方法,该装置包括:蒸发源模块用于加热待蒸镀材料至蒸镀状态;蒸发源遮挡板模块,所述遮挡板一端带传输通道a,用于在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时,与所述蒸发源模块连通,在需要利用蒸镀材料进行蒸镀时,与所述蒸发源模块错开;测速模块包括测速子模块及与测速子模块连接的传输通道b,在不需要利用蒸镀材料进行蒸镀时,所述传输通道b与所述传输通道a相对形成用于将蒸镀材料传输至所述测速子模块的通道,测速子模块用于蒸镀速率测速。本发明无论蒸镀材料是否需要蒸镀到基板上,都可使蒸镀速率保持恒定,提高了器件基板蒸镀效率。
  • 一种监测速率装置方法

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