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- [发明专利]可视化的真空阴极磁过滤装置-CN202210184605.5有效
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曹时义;周敏;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-02-28
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2023-08-29
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C23C14/32
- 本发明一种可视化的真空阴极磁过滤装置，包括管道，所述管道上开设至少一个第一镶嵌口，所述第一镶嵌口上嵌设有透明板，所述透明板沿管道长度方向延伸，所述透明板与第一镶嵌口相对密封固定，所述透明板呈双层透明结构，所述透明板包括内层透明板和外层透明板，所述内层透明板与所述外层透明板之间的空间形成第一冷却水通道，所述外层透明玻璃板上设有进水口和出水口，所述进水口和出水口与所述第一冷却水通道连通。该设计通过在管道上设计透明板，可以更好地观察和测量实验参数对靶面弧斑运动、金属或气体离化率、等离子体密度、金属离化能量、涂层性能的定向定量分析，有利于改进和更新工艺设计。
- 可视化真空阴极过滤装置
- [发明专利]靶材预处理装置-CN202211219294.8有效
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曹时义;龚文安;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-09-30
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2023-08-29
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C23C14/32
- 本发明公开一种靶材预处理装置，包括对称设置的至少两组练靶装置，每组练靶装置均包括阳极筒、与阳极筒连通的真空腔室以及用于封闭真空腔室的门框组件；靶材位于阳极筒的内侧；阳极筒的外周布置稳弧装置和聚焦装置，聚焦装置位于稳弧装置和真空腔室之间；真空腔室为两端开口结构，真空腔室的一端与阳极筒的第二端连接，真空腔室的另一端安装有门框组件；门框组件与真空腔室可拆卸连接，门框组件上还设有均匀排布的永磁体组件，永磁体组件用于调节每组练靶装置中的磁场。本发明实材预处理装置包括至少两组练靶装置，可以同时进行至少两组靶材的洗靶，可以有效节约洗靶时间；每组练靶装置仅包括阳极筒、真空腔室以及门框组件，结构非常小巧。
- 预处理装置
- [发明专利]一种等离子体清洗系统-CN202111680984.9有效
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曹时义;周敏;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2021-12-30
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2023-04-11
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B08B7/00
- 本发明公开了一种等离子体清洗系统，用于清洗待处理产品，包括真空腔室、至少一组等离子体发生器、安装架和脉冲偏压电源，真空腔室具有进气口和出气口，等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板，第一平板设有若干第一贯穿孔，第二平板设有若干第二贯穿孔，第一平板和第二平板之间具有间隙，第一平板和第二平板位于安装架；脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极，脉冲偏压电源的负极与第一平板和第二平板电连接。本发明的等离子体清洗系统，在脉冲电压电场作用下，第一平板和第二平板之间的辉光区交叠，使的大量流动的气体被击穿电离，从而产生辉光等离子体，对待处理产品进行清洗，且清洗效果好。
- 一种等离子体清洗系统
- [发明专利]一种碳膜去除装置及方法-CN202211316342.5在审
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曹时义;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-10-25
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2023-03-07
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B08B9/027
- 本发明公开了一种碳膜去除装置及方法，该装置包括管道、磁场控制系统、点火机构、辅助阳极和第一弧电源，所述管道呈中空结构，所述磁场控制系统设置在所述管道外侧，所述点火机构被操作可于所述所述管道移动，所述点火机构包括石墨电刷，且所述石墨电刷靠近或抵接所述管道内壁，所述第一弧电源具有N1极、P1极和L1极，L1极一端电连接所述第一弧电源引弧极、L1极另一端电连接所述点火机构；P1极一端电连接所述第一弧电源正极、P1极另一端电连接所述辅助阳极；N1极一端电连接所述第一弧电源负极，N1极另一端电连接所述管道。通过该装置能高效去除管道内壁碳膜，且装置结构简单及工艺环保、便捷、成本低。
- 一种去除装置方法
- [实用新型]真空练靶装置-CN202222619129.3有效
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曹时义;龚文安;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-09-30
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2023-02-17
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C23C14/32
- 本实用新型公开了一种真空练靶装置，包括阳极筒、与阳极筒连接的真空腔室以及用于封闭真空腔室的门框组件；阳极筒具有密封的第一端以及敞口的第二端，阳极筒的第一端上安装有靶材座，靶材座上安装有靶材，靶材位于阳极筒的内侧；真空腔室为两端开口结构，真空腔室的一端与阳极筒的第二端连接，真空腔室的另一端安装有门框组件；门框组件与真空腔室可拆卸连接，门框组件上还设有透明视窗，透明视窗用于观察真空练靶装置的内侧的靶材烧蚀的状态。本发明真空练靶装置仅包括阳极筒、真空腔室以及门框组件，结构非常小巧；在可视化条件下，可实时观测靶材烧蚀的状态，可让靶材尽快达到生产要求状态，在装入弧源使用时，可立马投入生产，稳定烧蚀。
- 真空装置
- [实用新型]靶材移动机构-CN202221795291.4有效
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曹时义;王俊锋;许伟
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-07-12
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2023-01-10
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C23C14/35
- 本实用新型公开一种靶材移动机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端穿设所述基座并延伸进阳极筒的内侧，所述阴极杆的一端还安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述基座上还设有真空密封装置，所述阴极杆穿设于真空密封装置以实现阴极杆与基座之间滑动密封连接。本实用新型通过在基座上设置真空密封装置，使得靶材可以沿着阴极杆的轴向运动或旋转运动，以调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定；另外，通过灵活调节阴极靶材位置，避免弧斑出现异常烧蚀、阴极异常放电，元器件烧损，从而提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障。
- 移动机构
- [发明专利]等离子体传输装置-CN202210194844.9在审
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曹时义;王俊锋
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2022-02-28
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2022-06-03
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C23C14/22
- 本发明公开了一种等离子体传输装置，包括传输管道和偏压供电装置，等离子体从传输管道的入口端进入传输管道并从传输管道的出口端输出，传输管道包括至少两个沿其周向间隔分布的电极板；偏压供电装置用于对各电极板进行偏压供电并切换各电极板的供电状态以使传输管道的等离子体在向外运动和向内运动之间来回改变，从而防止传输管道的等离子体中的负电粒子始终向外运动撞击挂壁使管壁呈负电而破坏管壁的导电性，进而提高传输管道的传输性能的稳定性。由于传输管道的等离子体在轴壁间来回运动使等离子体之间相互碰撞，提高等离子体的离化效率。此外，通过偏压供电装置对各电极板供电，结构简单，能够有效降低等离子体传输装置的成本。
- 等离子体传输装置
- [发明专利]一种真空镀膜系统及镀膜方法-CN202111659155.2在审
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曹时义;王俊锋;周敏
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广东鼎泰高科技术股份有限公司
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2021-12-30
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2022-04-29
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C23C14/32
- 本发明公开一种等离子体真空镀膜系统和镀膜方法，包括涂层机及阴极装置，涂层机提供阳极，阴极装置包括靶台、靶材、空腔辅助阳极、第一脉冲电源、直流弧电源、第二脉冲电源和双极脉冲等离子体震荡器，靶材外侧设有通道，第一脉冲电源的正极与空腔辅助阳极电连接，第一脉冲电源的负极与靶材电连接，直流弧电源的正极电连接阳极，直流弧电源的负极与靶材电连接，第二脉冲电源的正极电连接阳极，第二脉冲电源的负极与工件电连接形成阴极，双极脉冲等离子体震荡器可横向产生振荡型等离子体。本发明能够实现弧光等离子体的横向和纵向的立体轰击，提高离化效率，避免产生液滴，沉积为无液滴的高硬、高致密涂层。
- 一种真空镀膜系统镀膜方法
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