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[发明专利]一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺-CN202310951601.X在审
发明人：江成陈;贺贤汉;曹德坤 -专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅表面平坦化和湿式清洗工艺，本发明工艺可以更好地维持硅片表面粗糙度。另外，高温溶液以及碱性溶液对于粗糙度的影响最大，这两种溶液中OH‑的浓度非常高，而氢氧根离子会刻蚀Si表面，引起表面粗糙度的恶化。因而本发明不使用这些高温溶液，在保护硅片表面粗糙度方面具有优良的表现。在本发明中清洗工艺也会引起硅片粗糙度的变化，但是由于表面活性剂易于附着于硅表面，使得H2O2和HF对硅片表面的氧化与刻蚀速度更加均匀，因此表面粗糙度也可以很好的保持。
一种表面平坦清洗工艺

[发明专利]一种用于晶圆片背胶清洗的加工方法-CN202310792500.2在审
发明人：江成陈;曹德坤 -专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆片背胶清洗的加工方法，包含以下步骤：a、将晶圆片放入带有超声的柠檬酸溶液中浸泡，b、晶圆片放入纯水中溢流，c、利用甩干机甩干晶圆片，d、晶圆片单片预清洗，e、晶圆片单片清洗，本发明的优点在于不需要通过擦拭的方式去除背胶，避免了划痕的产生，大大的节约了因划痕导致CMP返工所产生的费用。晶片保护膜保护了晶片，避免了划痕、颗粒、有机物对表面的伤害及污染，本发明解决了撕下保护膜后留下的背胶清洗问题，有利于晶片防护的推广，有利于晶片有效使用面积的提升，有利于半导体行业的进步。
一种用于晶圆片背胶清洗加工方法

[发明专利]一种快速加工晶圆片倒角的方法及其装置-CN202310427677.2在审
发明人： 曹德坤;钟超;顾雪龙;贺贤汉 -专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速加工晶圆片倒角的方法及其装置，涉及碳化硅材料加工技术领域，包括S1:将晶圆片居中放置在真空吸附载台上并进行真空吸附定位；S2:三个盘式砂轮旋转、移动并靠近真空吸附载台上固定的所述晶圆片并同时对所述晶圆片进行倒角操作，且倒角过程中需要冷却水对打磨部进行冷却。本发明放弃了利用槽式砂轮加工倒角的方式，采用盘式砂轮，避免了槽式砂轮利用率不高，单片成本过高的状态。本发明采用了三体位同时加工的方式，摒弃了原始研磨方式（T1/R研磨模式、T2研磨模式、T3研磨模式）中的先后加工方式，极大的优化了加工工艺，提高了研磨的效率，降低了倒角崩边的概率，也有效的提高了倒角工序的产量，有利于大批量的商业生产。
一种快速加工晶圆片倒角方法及其装置

[发明专利]基于轻量神经网络的新型星图识别方法-CN202310238588.3在审
发明人：吴量;张凯旋;曹德坤;郝堋宇 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06N3/048 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于轻量神经网络的新型星图识别方法，属于星图识别技术领域。首先构建导航星表，提取导航星表内的所有导航星的伴星。针对每个导航星周围的伴星分布，都添加不同等级的噪声，并提取导航星的等频分箱径向特征，构建训练集。搭建轻量神经网络，使用训练集训练，得到特征分类模型。在实际识别一幅星图的过程中，首先从识别区域选取导航星，构建导航星的等频分箱径向特征。然后使用三角形循环匹配的方法来验证网络的分类结果，循环提取三颗星进行识别、验证，直到有三颗星的图像角距和星表角距都通过了匹配，即可认为成功识别了这幅星图。
基于神经网络新型星图识别方法

[实用新型]一种瓦斯抽放钻孔孔口防控装置-CN202221941477.6有效
发明人： 曹德坤;孙照引 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： E21B33/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及瓦斯防控技术领域，且公开了一种瓦斯抽放钻孔孔口防控装置,包括防控机构，所述防控机构右侧固定连接有气囊，所述气囊顶部固定连接有阀门，所述阀门顶部固定连接有收集机构。该瓦斯抽放钻孔孔口防控装置，通过设置的防控机构，通过瓦斯进入到筒体内部，并经过气囊和阀门进入到水箱的内部，其余的瓦斯能够通过气流通道进入到水箱内部，可以有效防止瓦斯气流的外泄，有效避免因瓦斯外泄引发的危险，通过设置的收集机构，能够实现对瓦斯的收集，通过设置的滤网，能够对瓦斯中的杂质进行清理，同时通过设置可以拆卸的滤网，能够对滤网进行及时清理，避免滤网出现堵塞的现象。
一种瓦斯钻孔孔口装置

[发明专利]一种煤矿井下工作面数字化透明地质技术方法-CN202210575403.3在审
发明人： 曹德坤;孙照引 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种煤矿井下工作面数字化透明地质技术方法，包括以下步骤：工作面利用钻探、物探等地质技术手段查清工作面地质及水文地质情况；通过收集研究地面物探、钻探地质资料；研究井下掘进剖面图地质资料；探究设计工作面综合物探成果；针对性布设工作面“对穿孔”；建立工作面“数字化模型”架构；对隐伏致灾构造预治理；对工作面角砾岩分布范围，分布情况，煤层厚度，煤层稳定性，煤层倾角，工作面内断层、褶曲等地质参数进行数字化地质架构，在巷道揭露的断层及角砾岩综合影响区通过钻探结果分析，通过数字技术手段处理后成果能很好的指导工作面在合适的位置进行回采，通过数字化地质技术预判断层。该项煤矿工作面数字化透明地质技术体系，将工作面地质情况分区段数字化，构建出工作面数字化模型，使工作面煤层顶底板、煤层内地质参数及构造情况更加直观、清楚，直接指导工作面的安全高效回采。
一种煤矿井下工作面数字化透明地质技术方法

[发明专利]一种综合探查针对性注浆工艺-CN202110169733.8在审
发明人：孙照引;曹德坤;张铁民;王育芳;王峰;赵飞;韩效海;王超勇 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： E21D11/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种综合探查针对性注浆工艺，属于煤矿隐蔽水害治理注浆技术领域，本发明的综合探查针对性注浆工艺，主要包括：注浆前期的物探“找准”目标→定向钻进针对性探查→确定注浆钻孔技术参数，让注浆钻孔“对准”出水位置→选定注浆工艺→探查与注浆动态结合→注浆后的物探来“核准”注浆效果，整个注浆过程是持续的“动态”思维过程，即：在注浆前、注浆中和注浆后都是“边探查、边设计、边修改、边完善”的“动态注浆设计”中，使用这种动态的“综合探查针对性注浆技术”，可以使注浆更有针对性、更高效，可以大大节约注浆材料、缩短工期，达到预期的注浆治理效果。
一种综合探查针对性工艺

[发明专利]一种松软与坍塌突出煤层反循环钻进设备及钻进工艺-CN202011005735.5在审
发明人： 曹德坤;胡宝山;周长凯;周永赞 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： E21F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种松软与坍塌突出煤层反循环钻进设备及钻进工艺，其技术方案是：包括箱体，所述箱体内部设有钻进机构，所述钻进机构延伸出箱体外部；所述钻进机构包括固定箱，所述固定箱固定设于箱体外部，所述箱体一侧设有电机，所述电机通过输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆设于箱体一侧并延伸入箱体内部，所述转动杆一侧固定设有第一螺旋杆，本发明的有益效果是：通过钻进机构的设计，便于将煤层中的瓦斯释放出，同时通过多个扇叶的设计，可将煤层中的瓦斯吸入到连接筒内部，并且通过排气管将煤层中的瓦斯排出，避免了煤层中的瓦斯大量的聚集而导致喷孔的现象，保证了操作者的安全，便于使用者的使用。
一种松软坍塌突出煤层循环钻进设备工艺

[发明专利]一种基于多元触觉反馈方式的盲文触觉再现装置和方法-CN201810978284.X有效
发明人：孙晓颖;王晓翠;刘国红;曹德坤;张晨;宋瑞 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于多元触觉反馈方式的盲文触觉再现装置和方法，属于人机交互领域。触觉反馈方式包括振动、静电力和空气压膜效应触觉反馈，可单向改变法向力、双向改变切向力。装置包括定位单元、处理单元、信号加载装置和交互单元。定位单元，用于获取手指位置信息并发送给处理单元；处理单元根据接收到的位置信息得到驱动触觉反馈信号的参数，并发送给信号加载装置；信号加载装置产生对应的驱动信号，同时驱动交互单元；交互单元可以改变手指受到的切向力和法向力，使手指感知多元触觉力作用。本发明采用多元触觉反馈方式，通过改变手指受到的不同触觉力再现特定六点制盲文，可有效地提高盲人阅读的效率和准确性。
一种基于多元触觉反馈方式盲文再现装置方法

[实用新型]一种松软与坍塌突出煤层反循环钻进设备-CN202022093136.5有效
发明人： 曹德坤;胡宝山;周长凯;周永赞 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： E21F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种松软与坍塌突出煤层反循环钻进设备，其技术方案是：包括箱体，所述箱体内部设有钻进机构，所述钻进机构延伸出箱体外部；所述钻进机构包括固定箱，所述固定箱固定设于箱体外部，所述箱体一侧设有电机，所述电机通过输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆设于箱体一侧并延伸入箱体内部，所述转动杆一侧固定设有第一螺旋杆，本发明的有益效果是：通过钻进机构的设计，便于将煤层中的瓦斯释放出，同时通过多个扇叶的设计，可将煤层中的瓦斯吸入到连接筒内部，并且通过排气管将煤层中的瓦斯排出，避免了煤层中的瓦斯大量的聚集而导致喷孔的现象，保证了操作者的安全，便于使用者的使用。
一种松软坍塌突出煤层循环钻进设备

[发明专利]一种基于平面交互的三维触觉再现装置与方法-CN201810978285.4有效
发明人：孙晓颖;宋瑞;刘国红;曹德坤;张晨 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于平面交互的三维触觉再现装置与方法，属于人机交互领域。包括：定位单元、处理单元、信号发生器、交互单元，能够实时的根据图像上手指的位置信息，获取灰度值并计算相应灰度值变化率，进而用振动提供切向力，用静电力或空气压膜提供法向力，通过这种基于平面交互的三维触觉再现方法对轮廓信息进行呈现。优点在于：装置的可移植性好，能够实现同时对手指施加切向力和法向力，将反馈力从一个维度扩展到两个维度，突破了静电力只在运动过程中有反馈作用的限制，实现了切向力既可以增大又可以减小的双向宽幅调节，有更加真实的三维触觉再现效果，可以广泛应用于人机交互领域。
一种基于平面交互三维触觉再现装置方法

[发明专利]一种应用指垫的静电力和振动融合触觉再现装置及方法-CN201810093553.4有效
发明人：孙晓颖;张晨;刘国红;曹德坤;王晓翠;宋瑞 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用指垫的静电力和振动融合触觉再现装置及方法，属于人机交互领域。包括：定位单元、触觉处理单元和指垫单元，触觉再现方法是定位单元实时获取指垫在多媒体终端屏的位置信息，触觉处理单元对指垫的位置信息进行处理并产生静电力驱动信号幅度参数和振动驱动信号幅度参数，通过无线方式传输到指垫单元上，指垫单元将生成静电力驱动信号和振动驱动信号输入到静电屏和振动源中，分别产生静电力和振动，使手指皮肤发生变形，从而使用户手指感受到触觉反馈。本发明优点是：在平面交互的过程中，可同时改变手指受到的切向反馈力和法向反馈力，从而呈现更真实的触觉感受，可移植性好，可实现多点触觉反馈。
一种应用静电力振动融合触觉再现装置方法

[发明专利]融合静电力与振动的触觉再现方法与装置-CN201711152967.1有效
发明人：孙晓颖;曹德坤;刘国红;陈建;宋瑞 -专利权人：吉林大学
申请日： 2017-11-18 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种融合静电力与振动的触觉再现方法与装置，属于人机交互领域。包括：手指定位单元、触觉处理单元、触觉驱动单元和触觉呈现单元；手指定位单元获取手指的坐标信息，触觉处理单元提取视觉对象的视觉信息并进行渲染然后得到相应的触觉驱动信号参数，触觉驱动单元根据驱动信号参数产生相应的驱动信号，触觉呈现单元改变手指受到的切向力以及法向力，从而实现三维的触觉再现效果。其优点在于：在平面交互的过程中同时改变手指受到的切向力以及法向力，从而呈现更真实的三维触觉感受，并且装置的结构简单、容易实现、移植性好，可集成在各种多媒体终端上。
融合静电力振动触觉再现方法装置

[实用新型]一种出水仰角钻孔注浆止水装置-CN201920778484.0有效
发明人：王明亮;曹德坤;张铁民;王峰;孙照引;赵飞;徐正忠 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： E21B33/13 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种出水仰角钻孔注浆止水装置，包括孔体，孔体的其中一端设置异径孔体，异径孔体的直径小于孔体的直径，孔体内设置有套管一，套管一位于孔体内的一端与异径孔体抵接，套管一位于孔体外部的一端设置有法兰一，套管一内设置有套管二，套管二的直径小于异径孔体的直径，套管二的末端延伸至异径孔体内部，套管二位于套管一外部的一端设置有法兰二，法兰二上连接有阀门三；套管一设置有法兰一的一端管体底部设置有注浆管一，在法兰一与法兰二之间的套管二顶部、底部对应设置有压力表、注浆管二，在注浆管一、注浆管二上对应设置有阀门一、阀门二。通过双层套管对仰角孔体孔壁处进行封闭止水，提高了止水质量且极大的提高了施工效率。
一种出水仰角钻孔止水装置

[实用新型]一种具有自降尘系统的钻井装置-CN201920781600.4有效
发明人：王明亮;曹德坤;张铁民;王峰;孙照引;赵飞;徐正忠 -专利权人：徐州大屯工程咨询有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： E21B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有自降尘系统的钻井装置，包括吊架以及通过钢丝绳连接的钻头，所述钢丝绳上活动设有自降尘组件，所述自降尘组件包括密封盛放筒，所述密封盛放筒内盛放有沉降液，所述密封盛放筒底面上设有排放口，所述排放口下方设有用于雾化所述沉降液的弹性振动环环，所述弹性振动环通过吊杆固定安装在所述盛放筒底面上，所述弹性振动环中心位置滑动接触有若干用于带动所述弹性振动环振动的振动球体，所述振动球体均匀分布在所述钢丝绳上，本实用新型结构设计合理，能够有效地进行钻井过程中灰尘的沉降，具有良好的自降尘效果。
一种具有降尘系统钻井装置

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