|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 18个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种离子注入浓度调节装置-CN202223235685.7有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2022-12-02
-
2023-07-11
-
H05K3/38
- 本实用新型涉及浓度控制装置领域，尤其为一种离子注入浓度调节装置，包括底板，所述底板上端面右侧固定连接有棕化槽，所述棕化槽右端面固定连接有控制盒，所述滑槽板内侧设置有限位块，所述滑块前侧下端面固定连接有弹簧，所述弹簧下端固定连接于上活塞，通过当位于上活塞上侧的拉线断裂时，弹簧复原，滑块下降，使两个第二连杆转动并推动第二限位杆移动，并插入至滑槽板内侧，本实用新型实现了可在拉线断裂时，对上活塞起到一个制动效果，避免了上活塞的突然下落而对双控开关一撞击导致损坏的情况；便于对浮块进行更换，保证了浮块的质量；可使棕化液的铜离子控制在一定的范围，减少棕化药液的排放，减少对的环境污染。
- 一种离子注入浓度调节装置
- [实用新型]一种离子注入机的散热装置-CN202223448569.3有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2022-12-22
-
2023-05-30
-
H01J37/02
- 本实用新型公开了一种离子注入机的散热装置，包括散热器本体、冷却液进出管、散热框架和安装支架，所述散热器本体前端一侧通过安装槽转动连接有散热框架，且散热框架后端表面与散热器本体前端表面贴合，散热框架远离安装槽一侧上下两端皆开设有调节槽；通过设置的安装槽、调节槽、插杆和限位槽等，有效避免了由于散热片大多设计得较薄且排列较为细密，以最大化提高导热板与空间的接触面积，散热风扇吹出的风中裹挟的灰尘容易聚集在散热片内部，由于散热片表面与导热板贴合，导致工作人员难以对灰尘进行清理，散热片的散热效果降低，散热装置容易提前转换冷却模式，造成能源的浪费的问题，提高了装置的实用性。
- 一种离子注入散热装置
- [实用新型]一种离子注入机高导热硅片装载盘-CN202223081149.6有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2022-11-21
-
2023-04-07
-
H01J37/20
- 本实用新型公开了一种离子注入机高导热硅片装载盘，涉及硅片装载盘技术领域，其包括：装载盘本体，所述装载盘本体上设置有容纳槽，所述容纳槽的内部设置有硅片本体，所述容纳槽的前部对称设置有滑槽，所述滑槽内设置有移动通道，所述滑槽的内部滑动连接有夹持弹性块，所述夹持弹性块的下部穿过移动通道固定连接有限制片，所述限制片的下部固定连接有配合挡块，所述配合挡块上设置有连接弹性带，所述装载盘本体的下表面固定连接有安装框架。通过设置的夹持弹性块、配合挡块、夹持弹簧的相互配合，可以将硅片本体完整的夹持住，并且夹持力依靠连接弹性带的弹性力，夹持操作简单、可靠，使用方便。
- 一种离子注入导热硅片装载
- [实用新型]一种离子注入机用分离装置-CN202123335221.9有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2021-12-28
-
2022-08-30
-
H05H7/00
- 本实用新型公开了一种离子注入机用分离装置包括：安装在所述分离装置内的控制组件；电连接所述控制组件的电压采集组件；电连接所述控制组件的电压保护组件；电连接所述电压保护组件的触发组件；所述控制组件包括第一控制单元，连接所述第一控制单元的第二控制单元，连接所述第二控制单元的第三控制单元；本实用新型通过三极管Q2、三极管Q3和三极管Q4组成三路控制，当端子排J1的1号引脚有输出电压时，此时三极管Q3导通，当端子排J1的2号引脚有输出电压时，此时三极管Q4导通，依次递进的传输，再根据电阻器的阻值设定，对电极进行依次增加，使各电极为离子进行加速，在总电压的叠加下加速离子运行，进而进行分离操作。
- 一种离子注入分离装置
- [实用新型]一种离子注入机的可调节高度的硅片上料装置-CN202121077585.9有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2021-05-19
-
2022-01-18
-
H01J37/317
- 本实用新型提供一种离子注入机的可调节高度的硅片上料装置，离子注入机的可调节高度的硅片上料装置包括支架、进出料层、若干暂置层、滑动装置和若干滑动板；进出料层、若干暂置层水平设置于支架中；硅片置于滑动板上；若干滑动板置于进出料层或若干暂置层上，进出料层或若干暂置层与滑动板之间设置有滑动装置；所述支架的下方设置有底板，支架与底板之间设置有升降装置，升降装置驱动支架上升或下降。支架与底板之间设置有升降装置，升降装置驱动支架上升或下降。以使进出料层与硅片进出口高度一致，在将盛载硅片的滑动板放入硅片进出口时，操作人员仅需在水平方向上推动滑动板即可，无需上下搬动滑动板，有利于节约劳动。
- 一种离子注入调节高度硅片装置
- [实用新型]一种离子注入机用减振装置-CN202022582260.8有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-08-20
-
F16F15/067
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体，离子注入机主体底端两侧的中部均固定设有固定块，两个固定块的两侧分别开设有四个通口，四个通口分别与两个支撑板的外壁穿插连接，本实用新型通过设有固定块和支撑板，两个支撑块向下移动分别带动两个支撑板向下移动，两个支撑板向下移动分别对两个第一弹簧进行挤压，两个固定块向下移动带动两个第一固定杆向下移动，两个第一固定杆向下移动带动两个第二固定杆向下移动，两个第二固定杆向下移动分别对两个第二弹簧进行挤压，通过这种方式在对离子注入机主体进行搬运和移动造成离子注入机主体振动时，对其进行缓冲，防止振动对设备中电子元件造成损坏。
- 一种离子注入机用减振装置
- [实用新型]一种离子注入机用气体箱-CN202022582221.8有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/317
- 本实用新型涉及气体箱领域，且公开了一种离子注入机用气体箱，包括气体箱本体，气体箱本体的顶端固定设有排气管，气体箱本体的一侧固定设有进气管，进气管外壁的一端固定设有第一连接圆环，本实用新型通过设有捏柱，拉动两个捏柱，两个捏柱移动带动两个第一移动杆移动，两个第一移动杆移动带动两个固定块移动，两个固定块移动带动两个安装块移动，两个安装块移动带动四个连接杆转动，四个连接杆转动分别带动四个第二移动杆相向移动，四个第二移动杆相向移动带动四个连接块移动，四个连接块移动对四个弹簧进行拉伸，四个连接块移动带动四个卡杆移动，通过这种方式便于拆卸和安装连接管，无需将连接管从注入机内部进行拆卸，操作便捷，省时省力。
- 一种离子注入气体
- [实用新型]一种离子注入机用分析器-CN202022582233.0有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/317
- 本实用新型涉及分析器领域，且公开了一种离子注入机用分析器，包括分析器本体，所述分析器本体两侧的一端均开设有凹槽，两个所述凹槽的一侧均滑动设有滑杆，两个所述滑杆的外壁均穿插设有第一弹簧，两个所述滑杆的一端均固定设有缓冲板，本实用新型离子注入机用分析器,通过第一夹板和第二夹板以及中间的定位槽的固定连接固定住连接线的一端，从而使得分析器本体滑出防护框的一端进行工作或者工作产生振动均不会影响连接线的稳定连接，不仅分析器本体便于稳定工作，避免连接线的松动引起文件损失，降低工作生产成本，而且便于分析器本体通过防护框进行防护，连接线有缓冲空间，便于分析器本体的移动。
- 一种离子注入分析器
- [实用新型]一种离子注入机用抽真空装置-CN202022582245.3有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/317
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用抽真空装置，包括离子注入机本体，离子注入机本体的一侧中间与抽气杆的一侧固定连接，抽气杆的内壁与方型滑块的外壁滑动连接，方型滑块的一侧中间与第一连接杆的一侧中间位置固定连接，本实用新型通过第二连接杆的另一侧与第二转轴外壁的顶部固定连接，当第二转轴转动时，第二转轴通过第二连接杆带动第一转轴在半圆形底座的半圆形滑槽内转动，最终使第一连接杆跟随半圆形底座进行往复运动，第一连接杆往复运动的同时便在抽气杆内对离子注入机本体的加速器内进行抽取空气，解决了外接的真空装置抽取真空效果不明显的问题。
- 一种离子注入机用抽真空装置
- [实用新型]一种离子注入机用旋转装置-CN202022584860.8有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/32
- 本实用新型涉及离子注入机旋转的技术领域，且公开了一种离子注入机用旋转装置，包括防护筒外壁的底部卡合设有弧形支撑架，弧形支撑架一侧的上端开设有滑槽，滑槽的内壁滑动设有握把，握把的一端固定设有连接杆，连接杆的一端固定设有移动轴，移动轴的底部固定设有弹簧，移动轴的顶部固定设有连接轴，连接轴的一端固定设有卡紧条，本实用新型一种离子注入机用旋转装置，通过在装置上设置有由弧形支撑架、弧形盖板、卡扣、移动轴、以及卡紧条组成的装置支撑固定设备，在旋转装置高速旋转工作时，使其内部避免因为支撑不稳固而强烈晃动致使零件损坏，使装置可以长久使用，从而提高装置的使用寿命。
- 一种离子注入旋转装置
- [实用新型]一种离子注入机用检测装置-CN202022584863.1有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/317
- 本实用新型涉及检测装置领域，且公开了一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，检测端外壁的一侧固定设有定位扣，定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，本实用新型离子注入机用检测装置,通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。
- 一种离子注入检测装置
- [实用新型]一种离子注入机用冷却系统-CN202022584884.3有效
-
陈维
-
无锡凯世通科技有限公司
-
2020-11-10
-
2021-07-06
-
H01J37/317
- 本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用冷却系统，包括离子注入机本体，离子注入机本体的底端固定连接有冷却箱，冷却箱内壁的底部开设有集水槽，集水槽内壁底端的两侧均固定连接有旋转水车，本实用新型通过离子注入机本体启动后带动传动壁进行转动，传动壁固定连接的传动柱带动转轴柱进行转动，转轴柱的外壁带动穿插连接的圆盘支座进行转动，最终使圆盘支座外壁固定连接的两个方形扇叶在圆形槽内转动，两个方形扇叶转动能够使冷却箱内部的冷空气流动到离子注入机本体内，加速离子注入机本体的冷却，解决了离子注入机冷却方法一般都是自然降温，自然降温的等待时间很长的问题。
- 一种离子注入冷却系统
|
