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[发明专利]一种滑块冲击过载响应原位观测装置及观测方法-CN202310396336.3在审
发明人： 戴旭涵;武强;王怀治;高宇帆;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01M7/08 文献下载
摘要：本发明提供一种滑块冲击过载响应原位观测装置及观测方法，该装置包括：落锤试验台，包括载物台；观测夹具，固定于载物台上，包括底座、侧盖板和上盖板，底座侧面切边后形成的平面上设有凹槽，侧盖板盖合于凹槽，其上开设第一观察孔，上盖板盖合于底座和侧盖板上方；定制样品，竖直位于侧盖板和凹槽与载物台围成的空间内；定制样品包括底板、滑块层和观测盖板，滑块层包括沿定制样品的长度方向运动的滑块，观测盖板上开设第二观察孔；加速度传感器，用于实时获取冲击过程中对定制样品施加的冲击载荷；高速图像获取装置，用于通过第一观察孔和第二观察孔获取滑块的实时运动图像。本发明可以直接观察器件在冲击过程中的响应情况，降低测试成本。
一种冲击过载响应原位观测装置方法

[发明专利]一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器-CN202010067919.8有效
发明人： 戴旭涵;王凯;王广元;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H02N2/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种集成制造的非线性级联多自由度振动能量采集器，其中，内圈永磁体质量块设置于内圈可动平台处，内圈可动平台通过内圈非线性弹簧固定在外圈振子内缘；外圈质量块设置于外圈可动平台处，外圈可动平台通过外圈非线性弹簧固定在支撑块内缘。支撑块上开有贯通的通孔。平面线圈设置于支撑块下表面。内圈永磁体质量块上下运动，改变通过平面线圈的磁通大小，从而实现振动能量到电能的转换。本发明通过独立改变内圈振子与外圈振子参数，可以实现两个非线性模态之间间距与单个非线性模态带宽特性的调整，可以显著增加振动能量采集器工作带宽，且器件易于集成化制造。
一种集成制造非线性级联自由度振动能量采集

[发明专利]一种集成制造的磁性反转双稳态振动能量采集器-CN201910555283.9有效
发明人： 戴旭涵;王凯;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： H02K35/02 文献下载
摘要：本发明公开一种集成制造的磁性反转双稳态振动能量采集器，包括平面线圈、振动磁极、平板、上磁轭、下磁轭，所述平板上分别开设有贯通的通孔和磁轭过孔，所述振动磁极设置在所述通孔处，所述平面线圈固定在所述磁轭过孔处，所述上磁轭固定在所述平板的上表面，所述下磁轭固定在所述平板的下表面；所述振动磁极可上下方向运动；通过所述振动磁极上下运动实现所述平面线圈的磁通大小变化、磁通方向翻转，从而增大磁通变化率，同时实现在所述上磁轭和所述下磁轭的磁力作用下的双稳态切换，从而易于将极性反转和双稳态切换效用叠加，在增加工作带宽的同时，显著提高输出功率密度，且器件易于集成制造。
一种集成制造磁性反转双稳态振动能量采集

[发明专利]一种基于光刻和电镀实现超精细封装引线的方法-CN201711270635.3有效
发明人： 戴旭涵;李冬洋;丁桂甫;姜太圭 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： H01L23/49 文献下载
摘要：本发明公开一种基于光刻和电镀实现超精细封装引线的方法，具体为：在固定有芯片和金属焊盘的衬底表面涂覆一层干膜光刻胶；进行光刻、显影，在芯片和金属焊盘上的干膜中分别显出过孔；在所形成的表面制备一层种子层；在种子层表面再涂覆一层干膜光刻胶；再进行光刻、显影，使得金属焊盘上方过孔以及过孔之间引线下方的种子层暴露出来；然后在暴露的种子层表面电镀一层铜，形成金属焊盘之间的引线；最后，移除作为牺牲层的干膜光刻胶和种子层，最终形成悬空的引线互连结构。本发明用光刻和电镀工艺代替引线键合，实现芯片与衬底焊盘之间的连接，引线的尺寸不受传统引线键合工艺的制约，使引线的特征尺寸可以进一步缩小到光刻的精度。
光刻金属焊盘干膜光刻胶电镀种子层种子层表面封装引线芯片超精细涂覆显影表面制备衬底表面衬底焊盘传统引线电镀工艺互连结构键合工艺引线键合牺牲层暴露干膜移除悬空制约

[发明专利]一种结构刚度可定制的微作动器-CN201910088243.8有效
发明人： 戴旭涵;向小健;王凯;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明提出一种结构刚度可定制的微作动器，包括外框、第三锚点、第四锚点、第一顶杆、第二顶杆，其中，第一顶杆和第二顶杆对称设置于动极板的两侧，第一顶杆、第二顶杆的长度方向与动极板运动方向平行；外框的一侧连接动极板，外框的上、下两端分别对称设置第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓，第一预定制曲线轮廓和第二预定制曲线轮廓的曲面分别对应第一顶杆和第二顶杆的自由端，当动极板在静电力作用在水平方向运动时，使第一顶杆的自由端和第二顶杆的自由端分别沿外框上的第一预定制曲线轮廓、第二预定制曲线轮廓滑动，产生水平方向的作用力。本发明可以针对不同驱动方式的工况特点，满足微作动器件对特定刚度‑位移特性的灵活需求。
顶杆曲线轮廓动极板外框自由端对称设置可定制作动器锚点水平方向运动静电力作用驱动方式滑动平行灵活

[发明专利]一种用于曲面图形化的柔性掩膜板制备方法-CN201510729248.6有效
发明人：吴凯峰;戴旭涵;汪红;王慧颖;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明公开一种用于曲面图形化的柔性掩膜板的制备方法，步骤：将基片表面预处理；在基片表面贴上干膜；在干膜上溅射一层Cr/Cu种子层；电镀Ni金属膜于基片种子层上；NaOH溶液中浸泡，超声处理释放Ni金属膜；Ni金属掩膜固定于玻璃上，贴一层干膜；对干膜进行曝光显影处理；进行刻蚀或激光切割使Ni金属膜图形化；再把Ni金属膜贴在基片上，溅射所需金属图案；取下Ni膜，得到所需金属的图形结构。本发明使用了柔性金属掩膜代替了传统的硬掩膜，能在曲面表面制造出精细的图形结构。本发明可实现曲面的图形化，柔性Ni膜可重复使用，成本低，操作灵活方便。
一种用于曲面图形柔性掩膜板制备方法

[发明专利]一种大可控行程微作动器-CN201710998575.0有效
发明人： 戴旭涵;向小健;孙诗;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H01H50/00 文献下载
摘要：本发明提供一种大可控行程微作动器，包括：动极板、极板底座、嵌入式镍极板弹簧和定极板，其中：所述嵌入式镍极板弹簧呈“一”字形，伸入所述动极板中央，沿所述动极板中轴线对称布置在所述动极板中央的两侧，所述嵌入式镍极板弹簧一端固定在所述极板底座长度方向的中点上，另一端固定在所述动极板中央，所述嵌入式镍极板弹簧在所述动极板运动过程中产生的弹性回复力与弹簧变形量为非线性关系。本发明明显提高了微机械作动器的可控行程、降低了驱动电压，同时减少了对响应速度的不利影响。
一种可控行程微作动器

[发明专利]利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法-CN201510051991.0有效
发明人：段力;高均超;丁桂甫;汪红;邵靖;刘宜胜;李洪美;王凤森;张永强;杨卓青;赵小林;程萍;张丛春;王艳;戴旭涵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。
刻蚀弹性模光刻薄膜图形微制造软质薄膜应用微加工技术薄膜表面腐蚀溶剂改变材料光刻技术软质弹性三维结构凸出图形图案结构图形表面传统的软光刻附着硬模去除灵活制造

[发明专利]一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置-CN201510968273.X有效
发明人： 戴旭涵;孙诗;赵小林;向小健;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H02K35/02 文献下载
摘要：本发明公开一种利用磁通转向提高发电效率的微型振动能量采集装置，包括：基底、绝缘层、感应线圈绕组、永磁体、软磁铁芯、两侧软磁、软磁摆臂和软磁振子，永磁体布置在基底下，线圈绕组下，感应线圈固定在绝缘衬底中，绕组两侧的软磁铁芯与永磁N、S极分别相连，绕组中央铁芯位于永磁体中央，软磁摆臂与中央铁芯相连，软磁振子位于软磁摆臂末端。软磁振子发生双稳态振动，线圈中磁通发生反转，磁通更加集中，机‑电能量转换效率高、工作带宽大、易于集成制造。
一种利用转向提高发电效率微型振动能量采集装置

[实用新型]一种电磁驱动双稳态光开关-CN201820658025.4有效
发明人：丁桂甫;戴旭涵;杨卓青;张丛春;王艳;姚锦元 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H03K17/94 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电磁驱动双稳态光开关，包括：光开关边框；设置于所述光开关边框内部镂空区域的可动中央平台；可扭转的连接所述可动中央平台和所述光开关边框的一对扭梁，所述一对扭梁沿所述可动中央平台的中心线对称分布；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一驱动线圈和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二驱动线圈；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一组软磁条和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二组软磁条；设置在所述一对扭梁上的一对引线，所述一对引线的第一引线电连接第一驱动线圈至第一外部电极，所述一对引线的第二引线电连接第二驱动线圈至第二外部电极；以及第一限位结构和第二限位结构。
中央平台可动驱动线圈边框光开关扭梁双稳态光开关电磁驱动外部电极限位结构电连接软磁条本实用新型中心线对称内部镂空可扭转

[发明专利]一种电磁驱动双稳态光开关-CN201810419817.0在审
发明人：丁桂甫;戴旭涵;杨卓青;张丛春;王艳;姚锦元 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-05-04 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： H03K17/94 文献下载
摘要：本发明公开了一种电磁驱动双稳态光开关，包括：光开关边框；设置于所述光开关边框内部镂空区域的可动中央平台；可扭转的连接所述可动中央平台和所述光开关边框的一对扭梁，所述一对扭梁沿所述可动中央平台的中心线对称分布；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一驱动线圈和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二驱动线圈；设置在所述可动中央平台正面第一侧的第一组软磁条和设置在所述可动中央平台正面与所述第一侧相对的第二侧的第二组软磁条；设置在所述一对扭梁上的一对引线，所述一对引线的第一引线电连接第一驱动线圈至第一外部电极，所述一对引线的第二引线电连接第二驱动线圈至第二外部电极；以及第一限位结构和第二限位结构。
中央平台可动驱动线圈边框光开关扭梁双稳态光开关电磁驱动外部电极限位结构电连接软磁条中心线对称内部镂空可扭转

[发明专利]一种3D-TSV原位拉伸试样及其制备方法-CN201410437861.6有效
发明人：丁桂甫;黄刚;王慧颖;程萍;汪红;戴旭涵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2014-08-29 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种3D‑TSV原位拉伸试样及其制备方法，所述试样包括试样柱部分、固定部分和夹持部分，其中：试样柱采用干膜代替正胶制备，以便于金属柱的生长；固定部分与试样柱部分一同电镀完成，并作为试样柱部分与外界连接的端口，以解决试样柱小难以操作的难题；为方便测试仪器的夹持，本发明运用电镀、粘结或焊接方法制备夹持部分，电镀方法是直接在固定端再次图形化一层条状金属，金属两端带圆环，弯折后圆环对齐作为夹持部分；粘结与焊接方法是将以制备好的夹持部分用粘结或焊接直接同固定端连接。本发明设计总体便于操作，步骤简单，在保证准确性的基础上优化了工艺。
一种 tsv 原位拉伸试样及其制备方法

[发明专利]一种MEMS开关仿真分析方法-CN201310675674.7在审
发明人：苗晓丹;戴旭涵;黄奕 -专利权人：上海工程技术大学
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS开关仿真分析方法，其包括如下步骤：a)建立MEMS开关的有限元模型；b)分析MEMS开关在通电情况下的输出性能及内部磁场强度分布情况；c)根据分析结果，对MEMS开关的结构进行优化。本发明首次提供了一种MEMS开关仿真分析方法，通过本发明方法建立MEMS开关的有限元模型，从而可掌握通入电压以及结构设计对MEMS开关输出性能的影响，进而为MEMS开关结构优化与设计提供依据。本发明应用性强，可用于MEMS开关双稳态工作机理的研究中，对MEMS开关的性能监测具有重要价值。
一种 mems 开关仿真分析方法

[发明专利]用于3D-TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸试样-CN201310471647.8有效
发明人：丁桂甫;王慧颖;程萍;汪红;戴旭涵;顾挺 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2013-10-10 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于3D-TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸试样，所述试样包括试样部分，固定部分和用于夹持试样的夹持部分，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定部分为有固定槽的电镀金属；所述的夹持部分为带有定位孔和带网状支撑结构的金属框架。试样与实际生产中TSV-Cu互连材料主体尺寸基本相同，与实际应用中TSV-Cu互连材料的成型工艺与结构相同，试样受力方向与铜柱的生长方向一致。能与TSV-Cu材料在实际中的受力情况很好的匹配。
用于 tsv 互连材料力学性能测试原位拉伸试样

[实用新型]一种连续精确调整微型零件位置的装置-CN201220347180.7有效
发明人： 戴旭涵;黄奕;汪红;丁桂甫;赵小林;吴静;何明轩 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： G01N1/36 文献下载
摘要：本实用新型公开一种连续精确调整微型零件位置的装置，包括微调架、位于所述微调架上方的进给底座、位于所述进给底座上的进给支架、位于所述进给支架前端的进给夹具以及位于所述进给夹具试样台上的挡板。其中：所述微调架可以在微米量级下调整试样上下前后左右的位移，其底部和顶部设有定位孔，底部定位孔便于将整个装置固定在实验平台上，顶部定位孔可以将所述进给底座固定在微调架上；所述进给底座包含导轨和限位装置。本实用新型结构简单，操作方便，定位准确并有效保护了试样的完整和安全，提高了实验效率。
一种连续精确调整微型零件位置装置

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