专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多波段投影系统-CN202310640773.5在审
  • 戚蓉蓉;杨宇航;陶宇;吕敏 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2023-05-31 - 2023-08-25 - G02B13/00
  • 本发明公开了一种多波段投影系统,包括:光学透镜组和光阑,光学透镜组包括沿光轴由物面至像面依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第九透镜。第一透镜、第二透镜、第四透镜、第五透镜、第八透镜和第九透镜均具有正光焦度,第三透镜、第六透镜、第七透镜均具有负光焦度。其中,多波段投影系统的工作波长满足:350nm≤λ≤450nm,数值孔径满足0.09≤NA≤0.12,视场满足20mm≤Y≤30mm。根据本发明的多波段投影系统,并合理分配了各个透镜的光焦度,充分校正各类像差,使得多波段投影系统能够在波长350nm‑450nm的光源内满足消色差、畸变小、场曲小、透过率高等光学特点,且能够匹配绝大多数的感光材料的反应波长。
  • 波段投影系统
  • [发明专利]双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备-CN202110858433.0有效
  • 戚蓉蓉;杨宇航;李鹏飞 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2021-07-28 - 2023-08-22 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备,双波段照明系统包括:第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件,耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线;第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧;其中,第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样,通过设有第一光源和第二光源发出光线,并在耦合透镜上进行耦合后传递,使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整,降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度,提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔。
  • 波段照明系统具有无掩模直写光刻设备
  • [发明专利]紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机-CN202110505623.4有效
  • 李鹏飞;杨宇航;蔡潍;戚蓉蓉 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2021-05-10 - 2022-06-14 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统包括:第一镜头组件、光阑以及第二镜头组件,第一镜头组件的焦距为f1,第二镜头组件的焦距为f2,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统的焦距为f,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统满足关系式:0.05≤f1/f≤0.09,0.21≤f2/f≤0.41;第一透镜到第十二透镜沿光轴从物侧到像侧依次设置,且第一透镜到第十二透镜均为单透镜。根据本发明的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统,可采用更宽波段的光源,并以较少数量的透镜,实现了高成像质量、大焦深和高透过率设计,不采用胶合透镜,使得光学成像系统更稳定性,不仅降低了光刻成本,而且光刻设备具有更高的运行稳定性。
  • 紫外光谱无掩膜光刻成像系统以及
  • [实用新型]双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备-CN202121756743.3有效
  • 戚蓉蓉;杨宇航;李鹏飞 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2021-07-28 - 2021-12-17 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备,双波段照明系统包括第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件,耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线;第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧;其中,第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样,通过设有第一光源和第二光源发出光线,并在耦合透镜上进行耦合后传递,使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整,降低双波段照明系统所匹配成像系统的设计难度,提升双波段照明系统的市场竞争力且双波段照明系统在进行生产时的工艺覆盖面更为广阔。
  • 波段照明系统具有无掩模直写光刻设备
  • [实用新型]紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机-CN202120990785.7有效
  • 李鹏飞;杨宇航;蔡潍;戚蓉蓉 - 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
  • 2021-05-10 - 2021-12-07 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了一种紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统以及光刻机,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统包括:第一镜头组件以及第二镜头组件,第一镜头组件的焦距为f1,第二镜头组件的焦距为f2,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统的焦距为f,紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统满足关系式:0.05≤f1/f≤0.09,0.21≤f2/f≤0.41;第一透镜到第十二透镜沿光轴从物侧到像侧依次设置,且第一透镜到第十二透镜均为单透镜。根据本实用新型的紫外宽光谱无掩膜光刻成像系统,以较少数量的透镜,实现了高成像质量、大焦深和高透过率设计,不采用胶合透镜,使得光学成像系统更稳定性,不仅降低了光刻成本,而且光刻设备具有更高的运行稳定性。
  • 紫外光谱无掩膜光刻成像系统以及
  • [发明专利]一种耦合透镜系统-CN201811157548.1有效
  • 张航;刘锐;陆建东;马佩服;戚蓉蓉;符建;陈利春;韩薇 - 浙江光塔节能科技有限公司
  • 2018-09-30 - 2020-12-11 - G02B6/26
  • 一种耦合透镜系统,属于照明技术领域。系统包括激光光源、耦合透镜、传输光纤;所述耦合透镜设于所述激光光源和传输光纤之间;所述耦合透镜的进光端和出光端中的至少一端具有自由曲面,所述进光端或出光端具有自由曲面时且具有至少一个自由曲面,使得激光光源发出的不同角度的光线经所述耦合透镜耦合进入传输光纤并在纤芯中心轴处汇聚成一条焦线。本发明适用于大功率激光照明,解决了LED光源发光特点造成的耦合效率低的问题;利用具有自由曲面结构的耦合透镜将光源发出的光以均匀焦线方式耦合进光纤内,避免光纤内单点能量过高而导致烧熔。另外,该系统适用于兼顾成本低廉和传输高效率的近距离,乃至远距离传输。
  • 一种耦合透镜系统
  • [发明专利]一种多模光纤耦合系统-CN201811156529.7有效
  • 张航;陆建东;刘锐;马佩服;戚蓉蓉;符建;陈利春;韩薇 - 浙江光塔节能科技有限公司
  • 2018-09-30 - 2020-10-30 - G02B6/42
  • 一种多模光纤耦合系统,属于照明技术领域。系统包括激光光源、耦合透镜、多模光纤;所述耦合透镜设于所述激光光源和多模光纤之间,所述多模光纤其与所述耦合透镜连接的一端设有光纤准直器;所述耦合透镜的进光端和出光端中的至少一端具有自由曲面,所述进光端或出光端具有自由曲面时且具有至少一个自由曲面,使得激光光源发出的不同角度的光线经所述耦合透镜耦合进入所述多模光纤的光纤准直器;进入光纤准直器的光线耦合进入多模光纤并在纤芯中心轴处汇聚成一条焦线。本发明适用于远距离传输的大功率激光照明,利用耦合透镜和多模光纤的光纤准直器,提高了光纤耦合传输的功率上限,解决了对准精度要求高、封装成本高、耦合效率低的问题。
  • 一种光纤耦合系统
  • [实用新型]一种带异常检测的单包层多芯光纤-CN201921434869.1有效
  • 张航;戚蓉蓉;胡月胶;陈嘉文;马慧玲;李勇 - 浙江工业大学
  • 2019-08-31 - 2020-03-31 - G02B6/04
  • 本实用新型公开了一种带异常检测的单包层多芯光纤,所述单包层多芯光纤包括能量传输纤芯、信号传输纤芯及光纤包层,所述能量传输纤芯一端设置第一耦合透镜,并通过第一耦合透镜外接照明激光光源,所述信号传输纤芯一端设置第二耦合透镜,并通过第二耦合透镜外接检测激光光源,所述信号传输纤芯另一端设置信号返回装置,所述信号返回装置外接光电探测器。本实用新型的有益效果是:本实用新型的光纤有多根纤芯传能量,至少一根光纤传信号,这样一来一方面减少了光纤包层的用料,降低了成本,包层里多根纤芯传能量提高了效率,还减少了光缆的截面积,另一方面该新型光纤还有传信号的纤芯,用来检测导光光纤是否有损坏,保证整个照明系统能正常运行。
  • 一种异常检测包层光纤
  • [实用新型]一种光纤纤内异常检测系统-CN201921434861.5有效
  • 张航;戚蓉蓉;胡月胶;陈嘉文;马慧玲;李勇 - 浙江工业大学
  • 2019-08-31 - 2020-03-24 - G01M11/00
  • 本实用新型公开了一种光纤纤内异常检测系统,包括光纤、耦合透镜、反向汇聚装置、荧光帽及光电探测器,所述耦合透镜设置在光纤耦合端,并通过耦合透镜连接激光光源和光纤,所述荧光帽设置在光纤照明端,荧光帽激发的白光沿光纤反向传输,所述反向汇聚装置设置在光纤耦合端,用于将反向传输信号光汇聚到光电探测器上进行检测。本实用新型的有益效果是:采用双包层光纤,纤芯用来传能量,内包层传信号,纤芯不吸收信号光,用内包层传递的信号光来检测纤芯是否发生故障,从而保障照明安全,提高光纤的利用率。
  • 一种纤纤异常检测系统

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