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[发明专利]曝光系统的控制方法和曝光系统-CN202310159619.6在审
发明人：蔡健;张玉喆;孙召召;程建高;叶加良;戴晓霖;陈东 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光系统的控制方法和曝光系统，所述曝光系统的控制方法包括：获取所述曝光系统的工作参数和所述曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值；根据所述工作参数和所述曝光剂量输入值获得所述脉冲激光器单脉冲发射能量；获取所述运动平台的位置同步信号；根据所述位置同步信号和所述单脉冲发射能量控制所述脉冲激光器发射激光；根据所述位置同步信号控制所述空间光调制器的翻转状态。采用该方法可以通过控制脉冲激光器输出激光脉冲，从而解决了运动平台的扫描速度提升产生的横线线条过粗的问题，有效提升了曝光系统的产能，保证了曝光图形的正确性，并且由于采用脉冲激光器，提高了曝光图形的精度和激光器能量的利用率。
曝光系统控制方法

[实用新型]基于FPGA的直写光刻图形填充装置和直写光刻机-CN202221794516.4有效
发明人：周安萌;张玉喆 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于FPGA的直写光刻图形填充装置和直写光刻机，所述基于FPGA的直写光刻图形填充装置包括：FPGA控制芯片，所述FPGA控制芯片包括处理器和X个随机存取存储器；其中，所述处理器与上位机连接，用于在接收所述上位机传输的曝光图形数据后，对所述曝光图形数据进行填充，其中，所述曝光图形数据的位宽为M，M＞0；每个随机存取存储器与所述处理器依次连接，每个随机存取存储器的读写位宽为N，每个随机存取存储器用于根据所述读写位宽依次对填充后的曝光图形数据进行存储，其中，M＞N＞0，X≥M/N。采用该基于FPGA的直写光刻图形填充装置可以实现一次性完成M位宽的曝光图形数据的填充，提高对曝光图形的填充效率。
基于 fpga 光刻图形填充装置

[发明专利]处理曝光图形数据的方法、曝光控制单元和直写式曝光机-CN202010188495.0有效
发明人： 张玉喆 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出了一种处理曝光图形数据的方法、曝光控制单元和直写式曝光机，该方法包括：响应于一段数据读取完成，将读取数据的地址指针定位到下一段数据所需重复数据的地址处的重定位步骤；根据所述下一段数据所需重复数据的地址和下一段数据的地址，从所述第一存储单元中读取所需重复数据和所述下一段数据的读取步骤；重复所述重定位步骤和所述读取步骤，直至获得所述曝光图形数据的每段数据。本发明的处理曝光图形数据的方法，通过增加第一存储单元存储曝光数据，在数据处理时，从第一存储单元直接读取所需数据，无需再次发送，既节省了数据的传输带宽，也节省了传输时间，从而提高了曝光机的产能。
处理曝光图形数据方法控制单元直写式

[实用新型]一种具有防撞结构便于更换抹布的扫地机器人-CN202022693472.3有效
发明人：陈慧珍;王跃潼;张玉喆;吴楠;刘涵奇;谷会莹;郑心 -专利权人：沈阳科技学院
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： A47L11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防撞结构便于更换抹布的扫地机器人，包括扫地机器人本体和夹持件，所述扫地机器人本体的外部固定有连接柱，且连接柱的内部底端两侧均设置有减震弹簧，所述减震弹簧的另一端固定有连接杆，且连接杆的顶端固定有缓冲气囊，所述扫地机器人本体的中部设置有清扫吸入口，且扫地机器人本体的前端左右两侧均安装有滚轮。该具有防撞结构便于更换抹布的扫地机器人通过驱动轴驱动清扫毛刷，利用清扫毛刷顺时针转动，使之地面的毛发和废屑可以被清扫导入清扫吸入口内部，接着利用电磁铁吸附块将内嵌有薄铁片的圆块吸附住，使之通过夹持件固定的抹布可以完成安装，以方便对湿润的地面进行擦除。
一种具有结构便于更换抹布扫地机器人

[发明专利]控制直写式曝光机软件升级的方法、控制单元和曝光机-CN202010128774.8在审
发明人： 张玉喆 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G06F8/65 文献下载
摘要：本发明提出了一种控制直写式曝光机软件升级的方法、存储介质、核心控制单元和直写式曝光机，该方法包括：至少一个核心控制单元响应于更新启动指令，擦除升级程序存储区的数据；核心控制单元通过传输接口获取到更新程序数据，并将更新程序数据写入升级程序存储区；核心控制单元产生自启动使能信号，以重新加载升级程序存储区的程序。本发明的控制直写式曝光机软件升级的方法，通过核心控制单元的传输接口将更新程序数据传输至升级程序存储区，实现曝光机软件升级，且无需拆机，避免了人员接触核心控制单元，保证曝光机内部环境的安全，也无需使用专用烧录器，提高了曝光机软件升级维护的便利性。
控制直写式曝光软件升级方法单元

[发明专利]一种应用于直写式曝光机的拼接调试方法-CN201810060266.3在审
发明人： 张玉喆 -专利权人：合肥芯碁微电子装备有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种应用于直写式曝光机的拼接调试方法，包括：设计一种合适的曝光图形；将场间位置关系理论设计值作为初始的场间位置关系值；在曝光台面上放置一块印刷电路板；将曝光图形曝光至印刷电路板上；测量每个MARK点的坐标并记录；计算符合条件的两个相邻MARK点沿X、Y两个方向的偏移分量；判断两个方向的偏移分量是否均在预设的指标范围内，若是，则将当前的场间位置关系值作为最终的场间位置关系值，若否，则将偏移分量补偿至当前的场间位置关系值中，重复上述步骤。本发明通过设计出一种合适的曝光图形，并借助于直写式曝光机自身的高精度测量系统进行自动测量计算和补偿验证，大大节约了调试时间，有效提高了生产效率。
场间偏移分量曝光图形曝光机直写印刷电路板调试拼接高精度测量系统符合条件理论设计生产效率自动测量曝光台预设应用测量验证曝光节约重复记录