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[发明专利]一种激光直写样品的固定装置及工作方法-CN202310797264.3有效
发明人：孙秋媛;匡翠方;孙琦;马程鹏;张杨燕 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。
一种激光样品固定装置工作方法

[发明专利]盘形可调的抛光盘和抛光装置以及调控方法-CN202111313190.9有效
发明人：朱亮;李阳健;张雪纯;严浩;张杨燕 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明涉及抛光加工技术领域，特别是涉及一种盘形可调的抛光盘和抛光装置以及调控方法，该抛光盘包括：抛光模组，所述抛光模组具有一面为抛光面，所述抛光面用于抛光待抛光物；承托座，与所述抛光模组连接，并位于与所述抛光面相对的另一侧面，用于承托所述抛光模组，并驱动所述抛光模组转动；其中，所述抛光模组与所述承托座的热形变系数不同，调节所述抛光模组和所述承托座的温度，使所述抛光面内凹或凸出，以调节所述抛光面形状。本发明提供的抛光盘，在作业过程中，通过控制抛光模组以及承托座的温度，能够对抛光盘的盘形进行精确的调控，实现对待抛光物的抛光成型后的表面形状的进行调控，并且该抛光盘简单，盘形调控简便灵活。
可调抛光装置以及调控方法

[发明专利]一种基于连续谱光源的可变波长激光直写光刻系统与应用-CN202310807886.X在审
发明人：马程鹏;匡翠方;张杨燕;孙秋媛;孙琦;杨臻垚;丁晨良 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统，属于超精密光学成像与刻写技术领域，包括光源与刻写模块，其中光源为连续谱光源；光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件，以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块；光束调节组件包括滤波模块，和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比，本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路，可同时实现多通道不同波长的光束调制，多光束可互相配合，通过不同轴汇合或同轴重合方式，实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
一种基于连续谱光源可变波长激光光刻系统应用

[发明专利]一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法-CN202110647956.0有效
发明人：朱亮;沈文杰;李阳健;严浩;张杨燕 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法，包括光路结构、扫频激光器和数据采集运算装置，数据采集运算装置包括光电探测器、高频数采卡、PC、PLC和光电编码器；扫频激光器向光路结构输出光束，光路结构对光束进行分路处理生成测量干涉光MUR和测量干涉光MLR，光电探测器对探测到的测量干涉光MUR和测量干涉光MLR进行光电转换生成相应的光电信号，高频数采卡对光电信号进行数据采集并传输至PC，PC对采集到的信号处理获得晶圆厚度信息，光电编码器将晶圆加工设备的运动参数传输给PLC进行采集，进而传输至PC，PC计算处理获得晶圆面形曲线。本发明能够增强现场测量的抗干扰能力，能够更直观知道晶圆实时厚度的变化。
一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法

[实用新型]一种用于截断机取样片的环形线锯刀头-CN202020768434.7有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-05-11 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型是用于晶体线切割领域，尤其涉及一种用于截断机取样片的环形线锯刀头。包括基座，基座用于固定在机架上，两个刀头支架固定于基座前侧两端，张力导轮组件包括设于基座前侧的动力导轮，动力导轮与设于基座上的电机相连；每个刀头支架前侧底端并排设有两个切割导轮；两个刀头支架内侧的两个切割导轮为一组，外侧为一组；切割导轮为单线槽导轮，两根金刚线各自依次绕过动力导轮和各组切割导轮，在两组切割导轮底端形成一组平行的金刚线锯。本实用新型在使用多刀头切割晶棒时，常见设备往往只能单独截断，取样片时需要将将晶棒放置在另外设备上加工。本案可同时实现截断与取样片的功能，大大节省了工件的流转时间，提高产能，节省了成本。
一种用于截断样片环形刀头

[实用新型]一种用于卧式单晶硅棒开方的环型线锯运行机构-CN202020296735.4有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬脆材料的线锯领域，具体涉及一种用于卧式单晶硅棒开方的环型线锯运行机构。包括支撑架，支撑架顶端设有开口，开口两侧设有刀头进刀装置，刀头进刀装置包括直线运动机构和移动导轨；进刀固定架顶端与直线运动机构相连；环型线锯刀头有两个，呈十字交叉状态设于进刀固定架前端中部；每个环型线锯刀头均包括四个导轮盘和张紧装置，每个环型线锯刀头内的切割线，依次绕过四个导轮盘和张紧装置，形成呈环形绕线。本实用新型取消了收放线的机构，将较长的切割线换成了较短的环型切割线，简化了结构，降低了成本。使得线锯刀头具有更好的独立性。
一种用于卧式单晶硅开方环型线锯运行机构

[实用新型]一种用于金刚线张力调整的机构-CN202020425752.3有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及一种用于金刚线张力调整的机构。包括进刀龙门架，进刀龙门架包括横梁和两根侧梁；换向导轮组件有两组，并排设于横梁下方；张力调整组件有两组，分设于每根侧梁外侧中部，包括固定滑块，固定滑块固定在侧梁上，其内部有气缸；气缸输出轴通过导杆连接摇臂杆一端，摇臂杆另一端与连杆的一端连接；连杆的中间位置固定有导轮组件，连杆的另一端与固定机架连接，固定机架固定侧梁上；过渡导轮组件有两组，分设于每根侧梁内侧下部；收放线轮组件有两组，分设于进刀龙门架两侧的底架上。本实用新型由气缸的往复运动带动导轮组件摆动，可实现张力的实时调整控制，气缸采购便利，制造简单。
一种用于金刚张力调整机构

[实用新型]金刚线张力调整的机构-CN202020447250.0有效
发明人：卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域，尤其涉及金刚线张力调整的机构。包括进刀龙门架，进刀龙门架包括横梁和两根侧梁；换向导轮组件有两组，并排设于横梁下方；张力调整组件有两组，分设于每根侧梁外侧中部，张力调整组件包括固定滑块，固定滑块固设于侧梁上，固定滑块内部沿竖向设有导杆，固定滑块侧部固设有摇臂杆；导杆顶端与连杆的一端连接，导杆底端连接有重锤；连杆的另一端固定有导轮组件，连杆的中间位置与摇臂杆连接；过渡导轮组件有两组，分设于每根侧梁内侧下部；收放线轮组件有两组，分设于进刀龙门架两侧的底架上。本实用新型可分别进行张力调整，又互不干涉；不需要采用气缸、电机等零部件，成本经济；结构紧凑，使用方便。
金刚张力调整机构

[实用新型]一种改进的立式单晶硅棒开方设备-CN202020520894.8有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅技术领域，特别涉及一种改进的立式单晶硅棒开方设备。包括立式机架组件；立式机架组件内左侧沿竖向对称设有两组平行的丝杆和主副导轨，两组工作台组件分别安装在各组主副导轨上，立式机架组件内右侧设有两组平行的丝杆和主副导轨，刀头组件安装在两组导轨上。立式机架侧部设有两垂直的主副导轨和一根齿条，机械手组件安装在主副导轨上，并由设于机械手上的驱动电机通过齿轮齿条啮合，使机械手组件沿导轨移动；本实用新型可同时加工两根单晶硅棒，加工效率成倍提高。
一种改进立式单晶硅开方设备

[实用新型]一种单晶硅棒开方设备线网自动调整机构-CN202020498689.6有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;张航;高红刚;张杨燕;严浩;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶硅棒开方领域，具体涉及一种单晶硅棒开方设备线网自动调整机构。包括直线运动机构和同步传动机构；直线运动机构包括设于竖板每条侧边上的丝杠和导轨，每条侧边上的丝杠上均设有一只辅助导轮和驱动导轮；驱动导轮与第一电机相连，第一电机设于电机安装座上，电机安装座通过底部连接的丝杠螺母和滑块与丝杠导轨相连；电机安装座底部相连的丝杠螺母与螺母安装支架相连的丝杠螺母旋向相反；同步传动机构包括设于每根丝杠一侧端部的刀头支架上的第二电机，第二电机通过同步带和同步带轮与丝杠相连。本实用新型将导轮机构相对位置同步增减，进而实现线网尺寸的自动调节的功能，结构简单，实用性强。
一种单晶硅开方设备自动调整机构

[发明专利]一种基于负理想解贴近距离的压力机上横梁稳健优化设计方法-CN201910195091.1有效
发明人：程锦;陆威;张杨燕;刘振宇;谭建荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2019-03-14 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于负理想解贴近距离的压力机上横梁稳健优化设计方法。包括以下步骤：考虑压力机上横梁所受载荷的随机性与其材料属性的区间不确定性，基于6σ稳健性设计原则建立包含随机‑区间混合不确定性变量的上横梁稳健优化设计模型；基于双层嵌套遗传算法对该优化模型进行直接求解；内层对每一设计向量利用Kriging预测模型进行区间稳健性分析，采用蒙特卡洛方法计算目标函数和各约束性能函数的均值和标准差；外层利用内层计算结果，基于约束性能函数总可行稳健性系数和负理想解贴近距离对所有设计向量进行分类、排序与寻优。本发明符合工程实际，且避免了主观干扰，具有很好的工程实用性。
一种基于理想贴近距离压力机横梁稳健优化设计方法

[发明专利]一种高速压力机结构方案综合评价方法-CN201710397857.5有效
发明人：程锦;张杨燕;冯毅雄;刘振宇;谭建荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G06F17/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速压力机结构方案综合评价方法，首先确立高速压力机结构方案的综合评价指标体系，给定各项评价指标所需接近或避开的目标值以及其权重，将各候选方案的评价指标值表示为实数、区间数或三角模糊数，然后将各候选方案中的偏离型和固定型评价指标进行等效变换后加权规范化，将效益和成本型评价指标直接进行加权规范化，根据各评价指标的类型来确定正负理想解，计算各方案分别到正负理想解的距离，根据各方案到正负理想解的距离求得相对贴近度，相对贴近度最大的候选方案即为最佳方案。本发明基于TOPSIS法，结合区间可能度和相对偏好关系对高速压力机结构方案进行综合评价，可有效地获得综合性能优且结构工艺性好的最佳方案。
一种高速压力机结构方案综合评价方法

[发明专利]一种考虑多类型不确定性的高速压力机施力部件可靠性设计方法-CN201810623163.3有效
发明人：程锦;张杨燕;刘振宇;谭建荣 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种考虑多类型不确定性的高速压力机施力部件可靠性设计方法。包括以下步骤：考虑高速压力机施力部件的随机、区间与模糊不确定性，选择三种不确定性影响下可靠度最小值作为可靠性指标，建立随机‑区间‑模糊混合可靠性设计模型；根据熵守恒原则和“3σ准则”，获得简化的随机‑区间可靠性设计模型；采用拉丁超立方采样和协同仿真技术构建功能函数和目标函数的Kriging模型；将简化的可靠性设计模型的优化求解与可靠性分析解耦，形成双环路优化求解；内环利用自适应步长迭代法进行可靠性分析，获得可靠性指标最小值；外环利用遗传算法进行设计向量寻优，并根据可靠性分析结果判断设计向量可行性，当达到最大进化代数或收敛阈值时，输出最优解。
一种考虑类型不确定性高速压力机施力部件可靠性设计方法

[实用新型]多功能斜面减速带-CN201520440867.9有效
发明人：吕红伟;钱婧婧;宿爱静;张昉;赵坤坤;杨忠;张杨燕 -专利权人：南京农业大学
申请日： 2015-06-25 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： E01F9/047 文献下载
摘要：一种多功能斜面减速带，它包括减速带、设置在减速带下方的复位结构、液压缸以及设置在减速带一侧的液压发电装置，所述的减速带设置为斜面形状；液压发电装置包括发电机和液压马达，所述的液压缸通过回油管路和出油管路与液压马达相连，该液压马达与发电机相连，液压缸的回油管路和出油管路上分别设有回油单向阀和出油单向阀，所述的减速带受压后，经出油管路上的出油单向阀将油液压力传输至液压马达，驱动液压马达，带动发电机发电，液压油再通过回油管路上的回油单向阀回流至液压缸。本实用新型的新型斜面减速带减少了噪声，使汽车能平稳的通过减速带，同时，减少汽车的振动在一定程度上可以减少汽车悬架的损耗，且减少油耗。
多功能斜面减速

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