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[实用新型]一种靶材生产用吊装装置-CN202220721468.X有效
发明人： 张凤戈;李航;岳万祥;孙建朋;姚伟 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B66C5/02 文献下载
摘要：本申请涉及靶材生产的领域，尤其是涉及一种靶材生产用吊装装置，其包括架体、设置在架体下方的行走机构以及用于连接保护板的吊装组件，所述吊装组件和架体之间设置有用于控制吊装组件升降的升降组件；所述升降组件包括转动安装在架体上的收卷盘以及绕设在收卷盘上的吊绳，所述吊绳远离收卷盘的一端与吊装组件连接。本申请通过吊装组件将保护板吊起，然后通过行走机构对保护板进行移动，从而完成将保护板由存放台移动至用于拼接靶材片的工作台处的过程，操作较为方便，同时保护板受损坏的可能性较低。
一种生产吊装装置

[实用新型]一种一模多槽热压烧结模具工装-CN202220899510.7有效
发明人： 张凤戈;张学华;魏铁峰;李建奎 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种一模多槽热压烧结模具工装，其包括冲压板和成型座，所述冲压板的底部连接有若干成型柱，所述成型座上开有若干成型孔，所述成型孔与所述成型柱一一对应。本实用新型具有提高靶材圆片加工效率的效果。
一种一模多槽热压烧结模具工装

[实用新型]一种冲压头-CN202220909040.8有效
发明人： 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;张雷 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B21D39/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种冲压头，包括冲压柱、连接台和冲压块，所述冲压柱的一端连接有延伸端，所述延伸端与冲压机连接，所述冲压柱远离所述延伸端的一端与所述连接台的一端相连接，所述连接台另一端与所述冲压块的一端与相连接，所述冲压块远离所述连接台的一端连接有弧形凸起。本申请具有改善铝靶材的镶嵌效果的作用。
一种压头

[实用新型]一种热等静压靶材装粉工装-CN202220841408.1有效
发明人： 张凤戈;魏铁峰;岳万祥;史建有 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B65B1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种热等静压靶材装粉工装，其包括漏斗，漏斗的出料端设有进料块，进料块的一端开设有与漏斗连通的第一通孔，第一通孔连接有进料筒，进料筒的底面开设有第二通孔，第二通孔的内侧壁上可拆卸连接有送粉管，送粉管插入包套管内并延伸至包套管的底部。本申请能够缓解漏斗对包套管进行装粉时，粉体在下落过程中与空气接触容易产生扬尘的问题。
一种静压靶材装粉工装

[实用新型]可调镀膜夹具-CN202220842953.2有效
发明人： 张凤戈;孟晓亭;魏铁峰;姚伟 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调镀膜夹具，包括安装板、第一直角件、第二直角件和调节第一直角件位置的可调组件，所述第二直角件连接在所述安装板上，所述可调组件连接在所述安装板上，所述第一直角件连接在可调组件上。本申请改善了更换不同尺寸的样片时需要重新制作镀膜夹具，给使用者带来不便的问题。
可调镀膜夹具

[发明专利]一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法-CN202210090033.4在审
发明人： 张凤戈;张学华;魏铁峰;岳万祥;张欠男;王建峰 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制备方法，合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30‑60％，铝10‑40％、镍10‑40％、钒10‑40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；制备方法包括金属粉末的制备、预压处理和热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材；其中，金属粉末的制备中，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；采用镁锌合金代替常规镁源和锌源，确保生产安全。本发明制备得到的镁锌铝镍钒高熵合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相，具有致密度高、合金化程度适当，无气孔和偏析，无裂纹，加工性能良好，组织均匀等优点，相对密度超过99％。
一种镁锌铝镍钒合金及其制造方法

[发明专利]一种铝基粉末合金靶材的制备方法-CN202111667846.7在审
发明人： 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;张欠男;张学华;姚伟 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种铝基粉末合金靶材的制备方法。其中，铝基粉末包括铝粉，铝基粉末合金靶材的制备方法包括下述步骤：(1)混粉：将所述铝基粉末混合均匀；(2)冷压成型：将经步骤(1)处理得到的铝基粉末装入冷压模具，在压力下压制，得到生坯；(3)脱气：将生坯装入热等静压模具进行脱气处理；(4)热等静压：对经步骤(3)处理得到的料坯进行热等静压处理，即得铝基粉末合金靶材。本发明的方法制备得到的合金靶材在满足其组织、性能等材料技术要求的前提下，可以提高热等静压中装粉的相对密度，增加热等静压装炉重量，还可显著提升材料利用率，提升靶材生产效率，降低靶材成本。
一种粉末合金制备方法

[发明专利]一种CrSi基合金靶材及其制备方法-CN202111671890.5在审
发明人： 张凤戈;魏铁峰;张学华;岳万祥;张欠男;李建奎 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法，所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成：Si 1‑30％；Me 0‑10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉，或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材；制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高，晶粒尺寸均匀，且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大，易开裂、难加工的问题。
一种 crsi 合金及其制备方法

[发明专利]一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法-CN202111671898.1在审
发明人： 张凤戈;张欠男;魏铁峰;岳万祥;张学华;缪磊 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种铬铝硼合金复合靶材及其制备方法，该复合靶材具有双层结构，上层以铬铝硼合金靶材为基体，底层是铜背板，上层结合于底层上；铬铝硼合金靶材按原子百分比由以下成分组成：Cr：19‑70％，Al：20‑80％，B：0‑30％且B不为0；该制备方法采用CrB2合金粉为原料，包括以下步骤：CrB2合金粉的制备、CrAlB合金粉的制备、CrAlB锭坯的制备、预处理和CrAlB‑Cu复合靶材的制备。本发明制备的CrAlB合金靶材纯度高，致密度高，组织均匀无偏析，导热性能和塑性都有改善；复合靶材在高的溅射功率或功率密度下使用时，靶材装夹部位能承受机械应力和热应力作用，既不脆性断裂也不受力弯曲翘曲。
一种铬铝硼合金复合及其制备方法

[发明专利]一种钛硅合金靶材及其制造方法-CN202010154164.5有效
发明人： 张凤戈;李建奎;魏铁峰;张欠男;缪磊;张学华;岳万祥 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-03-07 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛硅合金靶材及制造方法，属于合金靶材制备领域。该方法包括：合金粉末制备步骤，将钛源和硅源混料制成合金粉末；冷等静压步骤，对所述合金粉末进行冷等静压处理，得到压坯；脱气步骤，对所述压坯进行脱气处理；热等静压步骤，对所述脱气处理后的压坯进行热等静压处理，得到钛硅合金靶材。钛硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，相对密度超过99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。
一种合金及其制造方法

[发明专利]一种MoS2-CN201711070966.2有效
发明人： 张凤戈;张欠男;梁俊才;魏铁峰;李建奎 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;安泰科技股份有限公司
申请日： 2017-11-03 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C04B35/547 文献下载
摘要：本发明涉及一种MoS2陶瓷靶材的制备方法，该制备方法包括以下步骤：首先，将MoS2原料粉烘干过筛，得到粒度分布均匀、无结块的MoS2粉末；然后，将MoS2粉末均匀地填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结，然后冷却、脱模，得到烧结坯；最后，将烧结坯进行机加工，得到符合尺寸和表面质量要求的靶材。本发明提供的制备方法，工艺过程简单，成形效果较好，更具成本效益，利于工业化大规模生产，具有广阔的应用前景；制备的靶材纯度高，≥99.5％，晶粒细小均匀，平均晶粒尺寸≤5μm，致密度≥95％，且靶材为单一的MoS2相结构；靶材性能稳定，溅射效果更优，作为制备固体润滑涂层的源材料，提高了涂层的摩擦学性能。
一种 mos base sub

[实用新型]一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机-CN202020238511.8有效
发明人： 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;缪磊;高众;姚伟 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机，所述组合式PVD镀膜靶材包括材质不同的靶材本体和底座，所述靶材本体与所述底座分体设置，所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接，将所述底座与所述靶材本体组合为一体。本实用新型的组合式PVD镀膜靶材可以解决现有技术的脆性靶材与镀膜机安装配合时存在容易断裂的问题，有助于改善成膜质量，提高生产效率并降低成本。
一种组合式 pvd 镀膜

[实用新型]一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置-CN202021085352.9有效
发明人： 张凤戈;魏铁峰;岳万祥;张欠男 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置，所述装粉装置包括：包套主体、包套上盖和包套下盖；所述包套上盖盖设在所述包套主体上端，所述包套下盖设置在所述包套主体底端，所述包套主体、所述包套上盖和所述包套下盖合围成一个腔体，所述包套主体的内侧面、所述包套上盖的底部端面和所述包套下盖的上表面上均设置有耐高温涂层；涂层材料可选用Al2O3、TiO2、ZrO2等氧化物。本装置通过在包套主体、包套上盖和包套下盖的内表面增加一层耐高温涂层，阻止HIP过程中包套中Fe和Cr之间的合金化，有效抑制皮下裂纹的产生，从而可以减小包套的设计尺寸，提升材料利用率，降低靶材成本。
一种用于静压 cr 基靶材锭坯装置

[实用新型]一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置-CN202020971840.3有效
发明人： 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;史建有 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： B22F3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通一装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度，本实用新型既能显著提升装粉作业效率又可以提升产品质量。
一种用于生产 pvd 用靶材锭坯装置

[发明专利]一种碳化钛靶材及其制备方法-CN201711188416.0有效
发明人： 张凤戈;梁俊才;李建奎;张欠男;魏铁峰 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;安泰科技股份有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化钛靶材及其制备方法，该方法为：首先将纯碳化钛原料粉进行筛分处理，得到粒度均匀的粉末，之后进行配碳处理，得到成分合适的混合原料；然后均匀填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却后，脱模得到烧结坯；最后将烧结坯进行机加工得到符合尺寸和表面质量要求的所述碳化钛靶材。该方法工艺简单、成形效果较好，利于工业化大规模生产；靶材无任何粘结相成分，晶粒均匀细小，致密度可达到99％以上，纯度在99.9％以上；该靶材改善了溅射过程中的打弧放电现象，制备的膜层表面缺陷较少，涂层更为致密，可作为制备碳化钛涂层，提高涂层力学性能以及摩擦学性能，特别适用于加工铝及铝合金等软性金属材料。
靶材碳化钛制备烧结坯致密表面质量要求软性金属材料涂层力学性能摩擦学性能碳化钛涂层晶粒成形效果放电现象混合原料均匀填充粒度均匀膜层表面热压烧结筛分处理真空条件机加工原料粉粘结相铝合金打弧溅射配碳脱模模具冷却加工