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- [发明专利]一种光纤端波导微环超声传感器-CN202310932120.4在审
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魏鹤鸣;孙可璇;韦妍;朱梦实;张亮;庞拂飞;王廷云
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上海大学
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2023-07-27
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2023-10-27
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G01H9/00
- 本发明公开提出了一种光纤端波导微环超声传感器,属于光学微纳传感器制备技术领域。包括波导微环、传输波导、支撑平台和单模光纤,波导微环和传输波导构成谐振微环;支撑平台固定在单模光纤的一端,用于支撑波导微环和传输波导;传输波导为分束结构,由主光路和连接主光路的一对对称布置的分光路构成,主光路的一端连接单模光纤,主光路的另一端连接两个分光路的一端,一对分光路与固定在支撑平台上的波导微环耦合。当耦合进波导微环的光满足谐振条件时发生谐振,不满足谐振条件的光则从原波导输出。谐振环中的光学回音壁模式对环的折射率或半径的变化非常敏感,该传感器件可以实现对高达兆赫兹量级的超声波进行检测。
- 一种光纤波导超声传感器
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