|
钻瓜专利网为您找到相关结果 127个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种XY方向均为锥形的光波导制备方法-CN202310395834.6在审
-
王廷云;邓传鲁;王梦博;黄怿;张小贝
-
上海大学
-
2023-04-13
-
2023-08-18
-
G02B6/136
- 本发明公开了一种XY方向均为锥形的光波导制备方法,包括:在样本基底,清洗好的基片上旋涂包层胶,制备下包层;在所述下包层上旋涂芯层胶,制备芯层;采用掩膜版,对所述芯层进行紫外曝光,显影后获得边缘矩形波导;在芯层上再次旋涂芯层胶;采用带有锥形线条设计的掩膜版,对二次旋涂的芯层进行紫外曝光;对紫外曝光后的样品进行显影,获得XY方向宽度和厚度均匀变化的沙漏形芯层;在样品上旋涂包层胶,制备上包层;对样品进行切割,获得X方向宽度和Y方向厚度皆均匀变化的锥形光波导;本发明无需其余特殊仪器设备,制备工艺流程简便,操作难度不大,加工精度高,制备成本低。适合大批量光背板工业生产的要求,推进了光背板互连技术的应用。
- 一种xy方向锥形波导制备方法
|