专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果10个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]制造半导体装置的方法-CN202211265544.1在审
  • 金注男;崔恩荣;金亨俊;李烔和;崔铜成 - 三星电子株式会社
  • 2022-10-17 - 2023-04-25 - H10B41/35
  • 提供了一种制造半导体装置的方法,所述方法包括:在下结构上形成堆叠且交替的层间绝缘层和牺牲层的模制结构;形成穿过模制结构的孔;通过从牺牲层的侧表面去除牺牲层的通过孔暴露的部分来分别在模制结构的牺牲层中形成凹陷区域;在每个凹陷区域中顺序地形成初始阻挡图案和电荷存储图案;在孔中顺序地形成隧穿层和沟道层;形成穿透模制结构的沟槽,使得沟槽以线形状延伸;去除由沟槽暴露的牺牲层,使得初始阻挡图案被暴露;以及在去除牺牲层之后氧化初始阻挡图案,从而形成阻挡图案。
  • 制造半导体装置方法
  • [发明专利]集成电路器件和制造其的方法-CN202010869840.7在审
  • 崔恩荣;李洙衡;李要韩;赵容锡 - 三星电子株式会社
  • 2020-08-26 - 2021-03-05 - H01L27/1157
  • 本发明涉及一种集成电路器件和制造其的方法。该集成电路器件包括:沟道层,在穿透导电层和绝缘层的沟道孔中;电荷捕获图案,在导电层与沟道层之间在沟道孔内部;以及虚设电荷捕获图案,在绝缘层与沟道层之间在沟道孔内部。为了制造该集成电路器件,形成穿透绝缘层和模制层的沟道孔。形成连接到沟道孔的模制凹口。在模制凹口中形成初始电介质图案。氧化初始电介质图案以形成第一阻挡电介质图案。在沟道孔中形成电荷捕获层。去除模制层以形成导电空间。去除电荷捕获层的一部分以形成电荷捕获图案和虚设电荷捕获图案。
  • 集成电路器件制造方法
  • [发明专利]垂直型存储器件-CN201910851403.X在审
  • 崔恩荣;金亨俊;李洙衡;池正根 - 三星电子株式会社
  • 2019-09-10 - 2020-05-15 - H01L27/11556
  • 一种垂直型存储器件包括:多个栅电极,堆叠在衬底上;和垂直沟道结构,沿垂直于衬底的上表面的第一方向穿透所述多个栅电极。垂直沟道结构包括:沿第一方向延伸的沟道;第一填充膜,部分地填充沟道的内部空间;第一衬层,在第一填充膜的上表面的至少一部分上并且在沟道的远离衬底延伸超过第一填充膜的上部内侧壁。第一衬层包括n型杂质。垂直沟道结构包括在第一衬层的至少一部分上的第二填充膜和在第二填充膜上并与第一衬层接触的焊盘。
  • 垂直存储器件
  • [发明专利]制造半导体器件的方法-CN201910909872.2在审
  • 崔恩荣;金亨俊;池正根 - 三星电子株式会社
  • 2019-09-25 - 2020-05-05 - H01L27/11517
  • 本发明提供一种制造半导体器件的方法,该方法被如下提供。形成孔以穿过初始第一模层和初始第二模层以分别形成在垂直于下部结构的垂直方向上交替地堆叠在下部结构上的第一模层和第二模层。沿着孔的侧表面部分地蚀刻第一模层,以形成凹陷区域和凹陷的第一模层。在凹陷区域中形成第三模层以形成层间绝缘层,使得每个层间绝缘层包括在垂直方向上位于相同水平的对应的第三模层和对应的凹陷的第一模层。在孔中形成第一电介质层以覆盖彼此堆叠的第三模层和第二模层。在第一电介质层上形成信息存储图案。
  • 制造半导体器件方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top