专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]制造半导体装置的方法-CN202211265544.1在审
  • 金注男;崔恩荣;金亨俊;李烔和;崔铜成 - 三星电子株式会社
  • 2022-10-17 - 2023-04-25 - H10B41/35
  • 提供了一种制造半导体装置的方法,所述方法包括:在下结构上形成堆叠且交替的层间绝缘层和牺牲层的模制结构;形成穿过模制结构的孔;通过从牺牲层的侧表面去除牺牲层的通过孔暴露的部分来分别在模制结构的牺牲层中形成凹陷区域;在每个凹陷区域中顺序地形成初始阻挡图案和电荷存储图案;在孔中顺序地形成隧穿层和沟道层;形成穿透模制结构的沟槽,使得沟槽以线形状延伸;去除由沟槽暴露的牺牲层,使得初始阻挡图案被暴露;以及在去除牺牲层之后氧化初始阻挡图案,从而形成阻挡图案。
  • 制造半导体装置方法
  • [发明专利]可变电阻存储装置-CN202110400679.3在审
  • 郑载琥;朴洸珉;金钟旭;崔铜成 - 三星电子株式会社
  • 2021-04-14 - 2022-01-11 - H01L45/00
  • 一种可变电阻存储装置包括:第一导电线,所述第一导电线在第一方向上延伸;第二导电线,所述第二导电线在第二方向上延伸并且在所述可变电阻存储装置的俯视图中与所述第一导电线交叉;以及单元结构,所述单元结构在所述俯视图中分别设置在所述第一导电线与所述第二导电线的交叉点处。每个所述单元结构包括开关图案、可变电阻图案以及设置在所述开关图案和所述第一导电线之间的第一电极,所述第一电极包含碳。每条所述第一导电线包括位于其上部的上图案,所述上图案包含金属氮化物。所述上图案与所述第一电极的底表面接触。
  • 可变电阻存储装置
  • [发明专利]制造交叉点型半导体存储器件的方法-CN202010284475.3在审
  • 郑载琥;高永珉;金钟旭;朴洸珉;崔铜成 - 三星电子株式会社
  • 2020-04-13 - 2021-02-23 - H01L45/00
  • 本公开提供了制造交叉点型半导体存储器件的方法。一种制造交叉点型半导体存储器件的方法包括:形成字线和单元堆叠,间隙在单元堆叠之间;在该间隙中形成下间隙填充绝缘体;在下间隙填充绝缘体上形成上间隙填充绝缘体;固化下间隙填充绝缘体和上间隙填充绝缘体以形成间隙填充绝缘体;以及在单元堆叠和间隙填充绝缘体上形成位线。下间隙填充工艺可以使用包括第一前驱体和第二前驱体的第一源气体执行,上间隙填充工艺可以使用包括第一前驱体和第二前驱体的第二源气体执行,在第一源气体中第一前驱体与第二前驱体的体积比可以大于15:1,在第二源气体中第一前驱体与第二前驱体的体积比可以小于15:1。
  • 制造交叉点半导体存储器件方法
  • [发明专利]用于制造包括低k介电材料层的半导体器件的方法-CN202010805333.7在审
  • 高永珉;金钟旭;郑载琥;崔铜成 - 三星电子株式会社
  • 2020-08-12 - 2021-02-23 - H01L21/762
  • 提供用于制造包括低k介电材料层的半导体器件的方法,其包括在包括半导体衬底的下部结构上形成具有第一开口的第一图案结构。第一图案结构包括堆叠图案和覆盖堆叠图案的至少一个侧表面的第一间隔体层。包括SiOCH材料的第一能流动材料层形成在第一间隔体层上以填充第一开口并覆盖第一图案结构的上部部分。对第一能流动材料层进行包括将气态氨催化剂供应到第一能流动材料层中的第一固化工艺以形成包括水的第一固化材料层。对第一固化材料层进行第二固化工艺以形成第一低k介电材料层。将第一低k介电材料层平坦化以形成平坦化的第一低k介电材料层。
  • 用于制造包括材料半导体器件方法

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