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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]热处理设备和热处理方法-CN201710615057.6有效
发明人：沈亨基;金泰俊;崔东奎;张民奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理设备以及热处理方法，热处理设备用于通过用光照射衬底来热处理衬底。热处理设备包含：台，衬底安放于台上；以及气体喷射模块，其被安置为面对台，且具备经配置以在台安置的方向上导引光的气室以及安置于气室的一个侧面中以将气体供应到气室的第一气体供应源。第一气体供应源包含通路部件，通路部件安装于气体移动到气室所沿着的路径上且经配置以过滤和扩散气体以将气体供应到气室。制程期间由于惰性气体在通过通路部件的同时被过滤，因此朝向衬底喷射不具有不纯粒子的惰性气体，且因此可以防止衬底或薄膜由于惰性气体而带来的污染。
热处理设备方法

[发明专利]激光剥离工序间对象物反转检测方法-CN201710081073.1有效
发明人：沈亨基;金钟明;崔东奎;高珍衡 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及激光剥离工序间对象物反转检测方法，本发明提供激光剥离工序间对象物反转检测方法，用于检测由基板和形成于基板上侧的材料层构成的激光剥离对象物的反转，其特征在于，包括：在工作台上装载激光剥离对象物的步骤；使位移传感器位于上述激光剥离对象物的非活性区域的步骤；通过上述位移传感器测定上述基板与材料层之间的高度差的步骤；以及根据所测定的上述高度差，检测上述激光剥离对象物是否发生反转的步骤。
激光剥离工序对象反转检测方法

[发明专利]衬底处理设备-CN202210363678.0在审
发明人： 崔东奎;金大裕;林旻俊;李贤珍;严泰骏 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：腔室，被配置成在所述腔室中容置衬底；光源，被配置成向衬底照射光；截止器，设置在所照射的光的路径中，以阻挡所照射的光的至少一部分；捕集器，被配置成使从衬底反射的光或从截止器反射的光进入捕集器中且消除所反射的光；以及镜阻挡件，设置在所照射的光的路径与捕集器之间，以使从衬底及截止器中的至少一者反射的光进入捕集器中。
衬底处理设备

[发明专利]准分子激光退火工序用激光束调节模块-CN201710080493.8有效
发明人： 崔东奎;白种化;朴宰显;金炳秀 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明为准分子激光退火工序用激光束调节模块，上述准分子激光退火工序用激光束调节模块用于调节向基板照射的激光束的长度，上述准分子激光退火工序用激光束调节模块包括：激光束切割机，与上述激光束的移动方向垂直地配置，在内部设有包括制冷剂的冷却单元；制冷剂供给部，形成于上述激光束切割机的一侧，用于向上述冷却单元的内部循环供给上述制冷剂；检测部，用于检测上述冷却单元的温度；以及控制部，用于控制上述制冷剂的温度及流量。
准分子激光退火工序激光束调节模块

[发明专利]热处理设备-CN201410564435.9有效
发明人：严泰骏;车恩熙;崔东奎;朴宰显 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种热处理设备，其包含：工艺腔室，其中具有衬底处理空间；平台，其安置在工艺腔室中以允许将衬底放置在其上，平台在工艺进行方向上水平地转移；光源，其安置在工艺腔室外部以输出光，光源经配置以将光照射到装载到工艺腔室中的衬底上；以及气体注射模块，其安置在工艺腔室内的平台上方，气体注射模块具有内部空间，从光源发出的光和惰性气体穿过内部空间并且被引导到衬底上。气体注射模块包括从气体注射模块的下部的两个端部中的一个端部向内延伸的第一导管，第一导管安置在平台的转移方向上，第一导管的一个端部安置在第一导管的另一端部的外部，并且将第一导管的一个端部连接到另一端部的延伸线路的内径小于第一导管的一个端部的内径。
热处理设备

[发明专利]激光剥离装置-CN201710080793.6在审
发明人： 崔东奎;白种化;朴宰显;金炳秀 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明涉及可去除在激光剥离工序中所产生的灰尘的激光剥离装置，上述激光剥离装置包括工作台，提供用于装载上述基板的场所，以能够对上述基板执行激光剥离；激光照射器，位于上述工作台的上侧，用于向装载于上述工作台的上述基板的一部分照射激光；以及吸入器，隔开规定间隔地位于上述工作台的上侧，用于去除通过从上述激光照射器向上述基板侧照射上述激光来在上述基板的一部分所产生的灰尘。
激光剥离装置

[发明专利]激光处理装置-CN201210557358.5有效
发明人：沈亨基;李基雄;罗玉钧;崔东奎 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本文提供一种激光处理装置，其能够仅对衬底的待进行激光处理的部分选择性地进行激光处理。该激光处理装置包括:激光发生单元，其照射激光束;反应室，其中容纳衬底；光学单元，其将从激光发生单元发射的激光束传递到反应室中；以及阻挡单元，其阻挡从激光发生单元发射的激光束。
激光处理装置

[发明专利]激光处理装置及其控制方法-CN201210559128.2有效
发明人：朴宪旭;林基锡;金圣进;崔东奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本文提供一种激光处理装置及其控制方法，其能够仅对衬底的待进行激光处理的部分选择性地进行激光处理，并且能够防止气体存留在衬底与平台之间直到衬底放置在平台上。该激光处理装置包括：平台，其被放置在反应室内且在该平台上放置衬底；真空单元，被提供给平台以将氧气从位于衬底与平台之间的空间排放到反应室的外部；以及控制器，当衬底放置在平台上时，其将操作信号发送到真空单元，使得从平台的中心部向其外围依序执行氧气排放操作。
激光处理装置及其控制方法

[发明专利]激光退火装置-CN201210546553.8有效
发明人：梁相熙;李基雄;崔东奎;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：本公开提供一种激光退火装置。所述激光退火装置包括：底板单元，所述底板单元具有激光束透过的入射口；顶板单元，所述顶板单元放置在所述底板单元上且具有用于覆盖所述入射口的透明窗；第一切割器单元，所述第一切割器单元安装在所述顶板单元上且部分阻挡激光束；以及第二切割器单元，所述第二切割器单元安装在所述底板单元上且部分阻挡已经透过所述入射口的激光束。所述激光退火装置双重阻挡激光束以抑制激光束的衍射，从而允许激光束精确地扫描基板。
激光退火装置

[发明专利]减震激光诱致热成像装置-CN201110176832.5无效
发明人：金相午;金焕;尹小辉;崔东奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种减震激光诱致热成像装置，该装置包括：下机壳；上机壳，置于该下机壳上形成真空腔；及减震单元，位于该上机壳和该下机壳的接触部分，并且利用气动压减轻震动。所述减震单元有气动压供应，以减轻在支撑所述上机壳时由于与所述下机壳的接触而引起的震动。
减震激光诱致成像装置

[发明专利]激光诱致热成像用膜的去除装置-CN201110176825.5有效
发明人：金相午;黄成在;尹小辉;崔东奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2011-06-28 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括基板台，所述基板台上设置有基板；辊单元，用于压制设置于所述基板台的供体薄膜；以及吸气单元，设置于所述基板台并将所述供体薄膜与所述基板之间逸出的空气去除，从而防止了所述薄膜因为空气泄漏而受损。
激光诱致成像去除装置

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