专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]支撑卡盘和衬底处理设备-CN201510395072.5在审
  • 金相午 - AP系统股份有限公司
  • 2015-07-07 - 2016-01-13 - H01L21/683
  • 本发明提供一种支撑卡盘和衬底处理设备。支撑衬底的支撑卡盘包含:主体,其具有内部空间;可扩展部件,其经配置以在主体的厚度方向上划分内部空间,可扩展部件安置在主体中使得通过注入到间隔开的分隔空间中的气体使可扩展部件在主体的厚度方向上移动;移动部件,其在主体的厚度方向上穿过主体的一个表面并且安置在柔性部件上;以及粘合部件,其安置在主体向外的移动部件的端部上。在衬底从支撑衬底的单元分离的同时,可以防止衬底发生绞拧的现象。
  • 支撑卡盘衬底处理设备
  • [发明专利]可控制激光束长度及强度的激光加工设备-CN201010196885.9无效
  • 金相午;金踵明;白圣焕;金圣进 - AP系统股份有限公司
  • 2010-06-10 - 2010-12-29 - C23C16/02
  • 本发明涉及一种激光加工设备,具备:在内部安装基板并在上方安装石英窗的反应室;安装于反应室的外部,使其位于石英窗的顶部,并将帘状激光束照射于基板的激光装置;安装于激光装置和石英窗之间,并隔离激光束的侧面,为使沿着激光束的纵向水平移动,并在激光束的两端中至少安装于一端的光束隔离手段。反馈手段的光电探测器接受由光束隔离手段反射的激光束,并测量其强度后反馈给激光装置,从而控制激光装置输出的激光束强度。根据本发明,可控制入射于基板的激光束长度,而且还能在实施过程中实时控制激光束的强度。
  • 控制激光束长度强度激光加工设备

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