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- [实用新型]双层陶瓷坩埚-CN201320003058.2有效
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郭宽新;邢国强
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奥特斯维能源(太仓)有限公司
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2013-01-06
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2013-07-17
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C30B28/06
- 本实用新型公开了一种双层陶瓷坩埚,所述的双层陶瓷坩埚为内外双层结构,外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构,内层为氮化硅材料的陶瓷结构,所述的双层陶瓷坩埚由底面与侧边构成。本实用新型所述的坩埚通过外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构可以实现高的机械强度并且降低成本,内层采用氮化硅粉为原料附着在多孔碳化硅表面,形成陶瓷结构,保证坩埚内的硅料不被污染以及实现硅锭不与硅料,硅锭粘连,实现坩埚可以重复使用,有效的降低由于坩埚一次性消耗造成才成本,提高经济效益,适于工业化生产。
- 双层陶瓷坩埚
- [发明专利]双层陶瓷坩埚-CN201310002053.2无效
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郭宽新;邢国强
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奥特斯维能源(太仓)有限公司
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2013-01-06
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2013-04-24
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C30B28/06
- 本发明公开了一种双层陶瓷坩埚,所述的双层陶瓷坩埚为内外双层结构,外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构,内层为氮化硅材料的陶瓷结构,所述的双层陶瓷坩埚由底面与侧边构成。本发明所述的坩埚通过外层为碳化硅材料的多孔陶瓷结构可以实现高的机械强度并且降低成本,内层采用氮化硅粉为原料附着在多孔碳化硅表面,形成陶瓷结构,保证坩埚内的硅料不被污染以及实现硅锭不与硅料,硅锭粘连,实现坩埚可以重复使用,有效的降低由于坩埚一次性消耗造成才成本,提高经济效益,适于工业化生产。
- 双层陶瓷坩埚
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