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[实用新型]一种静电吸附系统及其陶瓷静电吸盘-CN202320728442.2有效
发明人：廖林;奉洛阳;陈高龙 -专利权人：成都羲力科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及静电吸附领域，其具体公开一种静电吸附系统及其陶瓷静电吸盘，陶瓷静电吸盘具备电极层，其适于产生具有吸附力的静电；陶瓷介电层，其配置在所述电极层上以防护电极层；以及基体，所述陶瓷介电层和电极层均被载置在基体上。其中，所述基体上结合有加热装置，所述加热装置被配置成能够加热所述陶瓷介电层以使得陶瓷介电层保持干燥。静电吸附系统包括所述的陶瓷静电吸盘及控制装置，陶瓷静电吸盘与控制装置电连接。本实用新型能够避免静电吸盘因陶瓷吸水导致吸附力下降的问题。
一种静电吸附系统及其陶瓷吸盘

[实用新型]一种静电吸附装置及静电吸附系统-CN202320741196.4有效
发明人：丁威;奉洛阳;陈高龙 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及静电吸附领域，其具体公开一种静电吸附装置及静电吸附系统，静电吸附装置包括基板和布置在所述基板上的电极层，在所述基板上布置空间不足的区域内形成至少一对被间隔开的电极端部；所述基板上配置有：电极桥，其用于桥接一对电极端部；以及绝缘套，其包覆在所述电极桥上以使其与外界绝缘隔离；其中，所述电极桥包括横向桥体部、第一桥柱部和第二桥柱部；所述横向桥体部沿基板面方向延伸以跨越所述一对电极端部的间隔空间，所述第一桥柱部贯穿所述基板以电连接所述一对电极端部之其一，所述第二桥柱部之其一，所述第二桥柱部贯穿基板以电连接所述一对电极端部之其二。静电吸附系统包括控制装置以及上述的静电吸附装置，所述静电吸附装置电连接至所述控制装置且受控产生静电吸附力。本实用新型能够解决电极在有限的空间不能正常分布，遇到需要避让的地方不能在表面直接布电极的技术问题。
一种静电吸附装置系统

[实用新型]一种静电吸盘的电路制成装置-CN202223548246.1有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;范红强;廖林 -专利权人：深圳市骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种静电吸盘的电路制成装置，用于在静电吸盘的上制成电路，所述静电吸盘上具有用于附接电路的承载面，所述承载面为曲面；所述电路制成装置包括机架和驱动机构，所述机架上具有：柔性装置，其具有与所述承载面形状相适应的仿形曲面，所述仿形曲面设有用于盛放液态导电物质的沟槽；其中，所述驱动机构配置为，其能够驱动所述静电吸盘和柔性装置中至少其一移动至抵压状态，并能够保持该抵压状态至设定时间；在所述抵压状态，所述柔性装置产生弹性形变，且其仿形曲面抵压在所述承载面上。本申请的静电吸盘的电路制成装置，可以加工具有复杂曲面的静电吸盘。
一种静电吸盘电路制成装置

[实用新型]一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备-CN202223317434.3有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;丁威 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备，适于应用在真空环境中，包括支撑座，所述支撑座具有用于吸附异形工件的吸附界面，所述吸附界面上接合有可分离地粘接异形工件的吸附件；其中，所述支撑座上接合有分离机构，所述分离机构适于在粘接状态下施力于异形工件以使得该异形工件分离。本申请的用于吸附异形工件的曲面吸盘，可以在真空环境下方便装卸异形工件。
一种用于吸附异形工件曲面吸盘设备

[实用新型]一种凸面镜片贴膜装置-CN202223411208.1有效
发明人：李有亮;奉洛阳;丁威;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种凸面镜片贴膜装置，包括箱体，所述箱体开设有用于传送薄膜的运输通道，还包括：驱动机构，设置于所述箱体内，用于驱动凸面镜片·靠近或者远离所述运输通道运动；真空发生器，与所述箱体内腔连通，用于使所述箱体产生负压；承载装置，设于所述箱体上，用于承载薄膜；其中，在所述真空发生器对所述箱体内腔抽真空前，所述承载装置封闭所述运输通道使所述箱体内腔形成密闭空间。本申请的凸面镜片贴膜装置，可以对凸面镜片进行贴膜加工且有效避免气泡产生。
一种凸面镜片装置

[实用新型]柔性屏用贴合设备及其透光静电吸盘-CN202223397963.9有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;范红强;丁威 -专利权人：深圳市骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及柔性屏用贴合设备及其透光静电吸盘，包括静电吸附件和基座，所述静电吸附件附接在基座上；所述静电吸附件具有至少一个透光区，所述基座上具有与所述透光区相对应的透光孔；所述基座上设置用于支撑透光区的透光件，所述透光件中至少位于透光区和透光孔之间的部分适于光线穿过。本申请静电吸盘可以透光，便于定位，产品一致性好。
柔性贴合设备及其透光静电吸盘

[实用新型]一种半导体覆膜装置及贴膜设备-CN202223408092.6有效
发明人：李有亮;奉洛阳;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体覆膜装置及贴膜设备，该装置包括基座，所述基座设有膜材传输通道，还包括：控制器；远红外加热器，其朝向所述膜材传输通道以对膜材辐射加热；第一温度传感器，其朝向所述远红外加热器以感知远红外加热器的温度；以及第二温度传感器，其朝向所述膜材传输通道以感知膜材的温度；其中，所述第一温度传感器、第二温度传感器、远红外加热器均电连接至所述控制器，所述第二温度传感器和远红外加热器之间设置有用于遮挡加热光线的隔热件。本申请的半导体覆膜装置及贴膜设备，可以提高贴膜工艺中膜的加热均匀性。
一种半导体装置设备

[实用新型]一种异形曲面静电吸盘-CN202223391687.5有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;李有亮 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种异形曲面静电吸盘，一种异形曲面静电吸盘，包括支撑座、静电吸附件和粘接层，所述静电吸附件通过粘接层接合在支撑座上；所述支撑座具有用于接合静电吸附层的贴合界面，所述贴合界面配置为弧形曲面；所述静电吸附件具有至少两个拼接单元，所述至少两个拼接单元之间形成有拼接开口，以使得所述静电吸附件伏贴在所述界面上。本申请的异形曲面静电吸盘，可以实现异形曲面产品的静电吸附。
一种异形曲面静电吸盘

[实用新型]一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘-CN202223439407.3有效
发明人：陈高龙;奉洛阳;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，包括基座，设有容纳槽和贴合面；静电吸附件,可移动设于容纳槽内用于对面板进行静电吸附；驱动机构，设置于基座上且与静电吸附件连接用于驱动静电吸附件在容纳槽内移动；控制器，与驱动机构和静电吸附件分别电连接，用于控制驱动机构运动及使静电吸附件产生静电吸附力；其中，静电吸附件至少设有两个,驱动机构数量与静电吸附件相同且与静电吸附件一一对应，静电吸附件设有吸附面，在驱动机构驱动下，吸附面具有凸出贴合面的第一状态和与贴合面平顺形成完整曲面的第二状态。本申请的应用于大尺寸面板吸附的静电吸盘，以在真空环境下实现大尺寸面板的平整吸附。
一种应用于尺寸面板吸附静电吸盘

[实用新型]一种高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备-CN202223471261.0有效
发明人：李有亮;奉洛阳;丁威 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备，包括：玻璃基板支撑架，其支撑玻璃基板的边缘部，以在所述玻璃基板的中部形成上蒸镀区；以及掩膜板支撑架，其支撑金属掩膜板的边缘部，以在所述金属掩膜板的中部形成下蒸镀区；所述玻璃基板支撑架的上方配置有：静电吸附装置，其用于吸附所述玻璃基板以使所述上蒸镀区平整；以及磁性吸附装置，所述用于吸附所述金属掩膜板以使所述下蒸镀区平整；其中，所述静电吸附装置和磁性吸附装置被配置为，其共同地使得所述玻璃基板和金属掩膜板在蒸镀过程中保持平整地贴合。本申请的高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备，可以提高蒸镀工艺中的对位的精度。
一种高精度对位系统设备

[发明专利]一种蒸发源-CN201810988636.X有效
发明人：刘金彪;奉洛阳;李有亮;徐天宇;谭瑞;卫勇勇;刘祥;陈立;文凯;蒋勤文;孙尚书;刘鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸发源，涉及蒸镀技术领域，用于改善现有技术中因蒸发源漏出的热量过高，导致掩膜板受热变形的问题。蒸发源，包括坩埚和用于产生热辐射的加热器，所述坩埚包括坩埚本体和设置在所述坩埚本体顶面的喷嘴，除所述坩埚本体的顶面侧外，所述坩埚本体的其余侧中的至少一侧设置有调热组件；所述调热组件用于使所述调热组件与所述坩埚本体之间的热辐射对流；其中，所述调热组件与所述坩埚本体之间具有间隙。
一种蒸发

[实用新型]一种安全型静电吸附系统-CN201921352308.7有效
发明人：丁威;奉洛阳;陈高龙;杨杰;廖林 -专利权人：成都骏创科技有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01R29/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种安全型静电吸附系统，包括静电发生器和静电吸附组件，该静电吸附组件包括至少一组正极片和负极片；所述正极片和负极片均与静电发生器电连接，所述正极片和负极片之间连接有用于检测静电场的静电检测装置，该静电检测装置包括基座和受静电场作用时可在基座内转动的指针。本实用新型通过将静电检测装置与静电吸附组件电连接，即在静电检测装置上通过指针在场强指示区内的转动情况远程监控静电吸附组件中是否具有足够大的吸附力，以避免静电吸附系统的静电吸附力突然变小时操作者依然使用该静电吸附组件，造成人员伤亡，企业损失。
一种安全静电吸附系统

[实用新型]一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备-CN201721390837.7有效
发明人：刘金彪;奉洛阳;范聪;朱伍权;易平安;徐豹;李有亮;张相波;刘鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备，涉及OLED制备技术领域，为解决现有蒸镀用角度限制机构在生产过程中若需要变更角度则必须停机更换限制件而导致生产效率降低的问题。该蒸镀用角度限制机构，包括两个限制件，两个所述限制件包括互相靠近的限制端，两个所述限制端用于共同限定蒸镀源喷出的材料能够通过二者之间的角度范围，至少一个所述限制件连接有驱动件，所述驱动件用于驱动相应的所述限制件运动，随着所述限制件的运动，两个所述限制端共同限定出的所述角度范围可改变。本实用新型用于限制蒸镀源喷出的材料沉积在基板上的范围。
一种蒸镀用角度限制机构设备

[实用新型]一种基板承载架和高温烘烤设备-CN201720404531.6有效
发明人：蒲杰;奉洛阳;韩大伟;蒋国 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示器技术领域，公开了一种基板承载架和高温烘烤设备，用以提高基板承载架的支撑强度以及支撑稳定性，减少基板中部弯曲现象的发生。基板承载架包括第一支撑杆和第二支撑杆，还包括第三支撑杆，第三支撑杆用于连接第一支撑杆的第一端和第二支撑杆的第一端；第四支撑杆，第四支撑杆的第一端与第三支撑杆连接，且第四支撑杆位于第三支撑杆和四支撑杆之间，第四支撑杆沿其长度方向间隔设有多个用于支撑基板的支撑单元。
一种承载高温烘烤设备

[实用新型]一种机械手及蒸镀装置-CN201720008118.8有效
发明人：封建林;周梁;蒋国;奉洛阳;蒲杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种机械手及蒸镀装置，涉及显示面板的制造技术领域，用以降低当待蒸镀基板在机械手上放置位置发生偏移时，在将待蒸镀基板送入蒸镀腔室与冷却板贴合的过程中可能发生变形甚至破碎的问题的几率。应用于蒸镀装置中，包括承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，且承载件用于与机械臂固定连接。还包括定位件，定位件与承载件的后端沿纵向可滑动连接，定位件底端用于通过弹性元件与机械臂连接，定位件包括横向定位部；弹性元件在自由状态下，横向定位部顶端高于承载面。弹性元件在受压压缩状态下，横向定位部顶端可与承载面平齐或低于承载面。
一种机械手装置

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