“图师庵”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201310339337.0无效
发明人：若林雅;加藤升;石泽泰明;图师庵 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-08-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；与该机器人搬送室连接的2个蒸镀室；能够放置2张基板且水平收放在蒸镀室内的分度工作台；使分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于分度工作台的下方，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源。真空机器人能够在蒸镀室与机器人搬送室之间在水平方向搬入、搬出基板，在使用蒸镀源对放置在分度工作台上的2张基板中的一方进行蒸镀时，利用真空机器人将另一方的基板从蒸镀室搬出到机器人搬送室，取而代之将新的基板从机器人搬送室搬入蒸镀室。蒸镀结束后，旋转分度工作台。
装置方法

[发明专利]有机EL器件制造装置以及有机EL器件制造方法-CN201310070276.2无效
发明人：片桐贤司;图师庵;龟山大树;郑载勋;李相雨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-03-06 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够减少驱动机构且进一步高精细地蒸镀的有机EL器件制造装置或者有机EL器件制造方法。本发明提供一种有机EL器件制造装置或者方有机EL器件制造方法，能够内置N（N为2以上）张基板，使上述基板与蒸发源正对，通过上述蒸发源的单向往返移动来使蒸镀材料蒸镀到上述基板上，其特征在于，上述蒸发源通过仅在上述单向的移动来依次蒸镀N张上述基板。
有机 el 器件制造装置以及方法

[发明专利]成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构-CN201310052768.9无效
发明人：若林雅;加藤升;图师庵;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-18 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明是成膜装置、以及成膜装置用基板搬运机构。提供能够缩小转送室的高度以及处理腔室的高度、且能够缩小闸阀的开口的上下方向的大小的长行程搬运机构。从下方开始第二层的直动轴承的上下两个滚动体保持部背对背地固定安装于基体（第一移动件）上，接下来一层的直动轴承的上下两个轨道轴背对背地固定安装于基体（第二移动件）上，交替地组合第一移动件与第二移动件而形成交叉滚子导向件，在真空中将载置在平板上的基板搬运规定的距离。
装置以及用基板搬运机构

[发明专利]有机EL器件制造装置-CN201210414165.4无效
发明人： 图师庵;龟山大树;福岛真;郑载勋;李相雨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-10-25 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供不必在真空处理室内设置用于基板保持的促动器而能够可靠地保持基板的有机EL器件制造装置。该有机EL器件制造装置具备基板支架、基板支承销、使基板支架升降的基板支架升降机构、由基板夹具、夹具支撑金属件、夹具加力螺旋弹簧构成的基板保持机构、以及夹具开闭销，夹具支撑金属件在纵向上旋转具有第一臂与第二臂，基板夹具的一端固定在第一臂的端部，在第二臂的端部设有在纵向上旋转的旋转部，在基板支承销接受基板的状态下，第二臂的旋转部被夹具开闭销推压而使连接第一臂与第二臂的直线为大致水平的状态，在将接受了的基板载置在基板支架上的状态下，连接第一臂与第二臂的直线为大致垂直的状态且基板夹具将基板推压到基板支架上。
有机 el 器件制造装置

[发明专利]有机EL器件制造装置-CN201210417798.0无效
发明人： 图师庵;龟山大树;福岛真;郑载勋;李相雨 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-10-26 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能高精度地控制基板与掩模的间隙的有机EL器件制造装置。有机EL器件制造装置的构成为，其具有：设置在真空处理室内的荫罩；放置基板的基板座；使基板与荫罩之间接近或分离的基板密合机构；以及设置于基板座的四角的距离计测机构，距离计测机构具有：设置成贯通基板座的距离计测用空间；设置于基板座的表面上的透明玻璃板；以及配置于距离计测用空间中的距离计测部，距离计测部具有：发射光并接收反射光以计测距离的距离计；使距离计与真空处理室内的气氛隔离的距离计箱体；以及设置在距离计箱体的一部分上的透明玻璃窗，距离计通过透明玻璃窗计测透明玻璃板与荫罩之间的距离。
有机 el 器件制造装置