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- [发明专利]阵列基板的制作方法及阵列基板-CN202110864742.9在审
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刘凯军;周佑联;许哲豪;袁海江
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北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
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2021-07-29
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2021-11-02
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H01L27/12
- 本申请适用于显示技术领域,提供了一种阵列基板的制作方法及阵列基板。阵列基板的制作方法包括:提供基板,基板包括衬底、设于衬底上的栅极、覆盖于衬底和栅极上的第一绝缘层、覆盖于第一绝缘层上的半导体层以及覆盖于半导体层的金属层;在金属层上形成第二绝缘层,以覆盖金属层;在第二绝缘层上设置光刻胶,采用光罩对光刻胶进行曝光和显影处理,得到阻挡层,以露出需要蚀刻的第二绝缘层;以阻挡层为遮挡,对第二绝缘层进行第一次蚀刻,去除露出的第二绝缘层,以露出需要蚀刻的金属层;对金属层进行第二次蚀刻,去除露出的金属层,得到金属线,第二绝缘层可以防止金属层被氧化或者杂质掉落至金属层的表面,有效避免金属线咬伤或断线的情况发生。
- 阵列制作方法
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