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[发明专利]薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板-CN202110450638.5有效
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板，所述薄膜晶体管的制备方法包括：在基板上方依次形成第一金属层、第一绝缘层、有源层、欧姆接触层以及第二金属层；对所述第二金属层进行蚀刻以在所述第二金属层形成第一沟道；在所述第二金属层上方形成钝化层；以所述钝化层为掩体，对位于所述第一沟道下方的所述欧姆接触层进行蚀刻，以在所述第一沟道下方形成第二沟道；在所述第二金属层上方形成第二绝缘层。能够避免制备得到的薄膜晶体管存在半导体台阶，从而避免半导体台阶引起的漏电问题。
薄膜晶体管制备方法显示面板

[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板-CN202111680913.9有效
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;康报虹 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L33/50 文献下载
摘要：本申请公开一种阵列基板及其制备方法、显示面板，所述阵列基板具有多个像素单元，各所述像素单元包括多个子像素，多个所述子像素包括用于发出红色光的红色子像素、用于发出绿色光的绿色子像素及用于发出蓝色光的蓝色子像素，各所述子像素包括子像素凹槽、安装于所述子像素凹槽内的蓝光LED和设于所述蓝光LED的发光侧的混合胶层，所述混合胶层的材质包括荧光粉和颜料，所述荧光粉用以与所述蓝光LED发出的蓝光配合形成白光，所述颜料用以对所述白光进行滤色分光以形成对应的色光。本申请提供的阵列基板有助于提高显示面板的寿命，显示面板的寿命长。
阵列及其制备方法显示面板

[发明专利]金属导电薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管-CN202110253492.5在审
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;袁海江 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L29/417 文献下载
摘要：本发明公开一种金属导电薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管，所述金属导电薄膜包括铜层和共溅合金层，所述共溅合金层通过共溅射工艺成型于所述铜层的一侧，所述共溅合金层的材质包括铜和第一金属，所述第一金属包括钛、铝或钼。本发明提供的金属导电薄膜，通过在铜层的一侧设置附着性佳的共溅合金层，改善了金属导电薄膜的附着性；同时，共溅合金层的设置，能够阻止铜离子向半导体材料的扩散，有助于提高半导体产品的良品率；此外，由于共溅合金层是由铜和第一金属共溅射制得，相较传统的合金工艺，共溅合金层在蚀刻时，只需要一种铜蚀刻液即可完成整个金属导电薄膜的图案化蚀刻，且相较溅镀合金靶，共溅合金层的制备效率更高。
金属导电薄膜及其制备方法以及薄膜晶体管

[发明专利]阵列基板制作方法及阵列基板-CN202110377208.5有效
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;袁海江 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本申请属于显示面板技术领域，提供了一种阵列基板制作方法及阵列基板，其中阵列基板制作方法包括以下步骤：S1、在衬底上依次制作半导体层、金属层和光阻层；S2、采用湿蚀刻法对金属层进行处理；S3、采用完成第一道湿蚀刻的金属层作为光罩对光阻层进行曝光和显影；S4、采用干蚀刻法将半导体层暴露在光阻层外的区域去除；S5、采用湿蚀刻法再次对金属层进行处理，形成数据线和半导体尾巴；阵列基板采用阵列基板制作方法制作完成。本申请提供的阵列基板制作方法及阵列基板通过在步骤S2和步骤S4之间增加步骤S3，使得光阻层的覆盖宽度减小，进而使对半导体层进行干蚀刻时半导体层的覆盖宽度减小，从而有效地缩短了半导体尾巴的长度。
阵列制作方法

[发明专利]薄膜晶体管、显示装置以及薄膜晶体管制备方法-CN202110304653.9有效
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-03-22 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种一种薄膜晶体管、显示装置以及薄膜晶体管制备方法，其中，薄膜晶体管包括基板以及在基板上依次层叠的第一金属层、绝缘层、第一半导体层、第二半导体层、第二金属层；薄膜晶体管还包括布拉格全反射镜结构、像素电极以及像素区域保护层；布拉格全反射镜结构设于绝缘层上，且包裹层叠后的第一半导体层、第二半导体层和第二金属层；像素区域保护层设于布拉格全反射镜结构的一侧，像素电极设于像素区域保护层上。本申请通过在薄膜晶体管中设置具有反射效果的布拉格全反射镜结构，利用布拉格全反射镜结构对背光源发出的散射光和折射光进行反射，减少背光源所发出的光进入薄膜晶体管的有源层，从而抑制光生载流子，提升显示装置的显示性能。
薄膜晶体管显示装置以及制备方法

[发明专利]一种显示面板的基板、驱动方法和非便携式显示装置-CN202011327048.5有效
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;余思慧 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：本发明公开一种显示面板的基板、驱动方法和非便携式显示装置。所述显示面板的基板包括入光面，面向所述显示面板的背光模组；出光面，面向用户，与所述入光面相背设置；入光面传感器，形成在所述基板的表面，面向所述显示面板的入光面；出光面传感器，形成在所述基板的表面，面向所述显示面板的出光面；背光调节单元，连接所述入光面传感器和所述出光面传感器，用于调节所述背光模组的发光强度。本发明在可以达到节能环保，保护视力的目的，提高了背光光强的调节效果。
一种显示面板驱动方法便携式显示装置

[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板-CN202011438273.6有效
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;康报虹 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板。所述薄膜晶体管包括形成于衬底上的遮光层，形成于所述遮光层上的有源层；以及依次形成于所述有源层上方的栅极，形成于栅极上方的源极和漏极；所述源极和漏极分别通过接触孔与所述有源层电性连接；所述有源层边缘设有挡光部，采用遮光材料制成。本发明能减少光线进入有源层导致漏电流增大，从而提升了TFT的品质。
一种薄膜晶体管及其制作方法显示面板

[发明专利]显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备-CN202011209926.3有效
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;袁海江 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开一种显示面板和薄膜晶体管的制造方法及其制造设备。薄膜晶体管的制造方法包括：在衬底上形成未结晶的有源层；在所述有源层上方形成遮光层；在所述遮光层上方用激光对所述有源层进行结晶化处理；所述遮光层宽度小于对应的所述有源层的宽度。本发明在有源层结晶前先在辅助层上方设置遮光层，然后再用激光诱导结使有源层的存在未结晶的区域，该区域可以有效抑制器件的漏电流，因此能增加器件的开关比，从而提高器件的稳定性。
显示面板薄膜晶体管制造方法及其设备

[实用新型]阵列基板、显示面板及显示装置-CN202123430961.0有效
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;康报虹 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：本实用新型提供一种阵列基板、显示面板及显示装置，阵列基板包括显示区域、设置于显示区域边缘的扇形区域和连接于扇形区域一端的芯片，扇形区域内设置有第一金属走线和第二金属走线，第一金属走线连接显示区域和芯片，第二金属走线连接显示区域和芯片，第一金属走线包括第一子金属走线层和第二子金属走线层，第一子金属走线层和第二子金属走线层通过导电介质层并联连接。通过两根并联连接的第一子金属走线层和第二子金属走线层，可以降低扇形区域第一金属走线的电阻值，进而可以大大降低扇形区走线的电阻，改善因各导线的电阻差异导致数据信号变化而引起的色偏问题。该阵列基板具有能够改善色偏，提高画质的优点。
阵列显示面板显示装置

[发明专利]阵列基板、阵列基板制造方法及显示面板-CN202111604133.6在审
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请适用于显示技术领域，提出了一种阵列基板，包括：衬底基板；第一绝缘层，设于所述衬底基板上且设有第一凹槽；第一金属层，设于所述第一绝缘层背离所述衬底基板的一侧；在垂直于所述衬底基板的方向上，所述第一金属层的一端容纳于所述第一凹槽中，另一端凸出于所述第一绝缘层的表面。本申请同时提出一种阵列基板制造方法和显示面板。上述阵列基板、阵列基板制造方法和显示面板能够降低第一金属层在衬底基板上的高度，从而第一金属层的线电阻较小，能够满足高阶产品的需求，解决了金属膜增厚造成的金属线断线、绝缘层沉积不佳造成的ITO断线的技术问题。
阵列制造方法显示面板

[发明专利]阵列基板制造方法及显示面板制造方法-CN202110487442.3有效
发明人：刘振;许哲豪;张合静;周佑联;刘凯军;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本申请涉及显示面板制造技术，公开了阵列基板制造方法及显示面板制造方法，阵列基板制造方法包括：在基板上沉积遮光层、缓冲层、第一金属层和欧姆接触层；进行第一次光罩制程，形成遮光层图案、缓冲层图案、第一金属层图案和欧姆接触层图案；在经过第一次光罩制程后的基板上沉积有源层、绝缘层和第二金属层；进行第二次光罩制程，形成有源层图案、绝缘层图案和第二金属层图案；在经过第二次光罩制程后的基板上沉积钝化层；进行第三次光罩制程，形成第一导电过孔，第二导电过孔和第三导电过孔以及氧化铟锡层图案。显示面板制造方法，采用了上述的阵列基板制造方法。本申请公开的阵列基板制造方法及显示面板制造方法，工艺流程简单，成本低廉。
阵列制造方法显示面板

[发明专利]阵列基板、制作方法和显示面板-CN202111561639.3在审
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请适用于显示技术领域，提供了一种阵列基板、制作方法和显示面板，该阵列基板包括衬底基板、设于所述衬底基板上的栅极、设于所述栅极上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上有源层以及设于所述有源层上源极和漏极，栅极绝缘层包括平坦部分和第一部分，所述第一部分与所述平坦部分的厚度不同；有源层覆盖所述第一部分，源极覆盖所述第一部分；在保证源极与栅极之间小的正对面积的基础上，使得源极与有源层之间有大的接触面积，在保证源极与栅极之间小的寄生电容的基础上提高对像素电容的充电率，改善对像素电容的充电效果，减小TFT的面积，提高开口率。具有该阵列基板的显示面板，其源极与栅极之间的寄生电容小，对像素电容的充电率高。
阵列制作方法显示面板

[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板-CN202111449755.6在审
发明人：刘凯军;周佑联;许哲豪;郑浩旋 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L29/51 文献下载
摘要：本申请适用于显示技术领域，提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板，薄膜晶体管包括铜栅极、有源层及位于有源层及铜栅极之间的绝缘层组，绝缘层组包括至少三个低速沉积栅极绝缘层，至少三个低速沉积栅极绝缘层依次逐层覆盖在铜栅极上；两个低速沉积栅极绝缘层之间设置有中速沉积栅极绝缘层和/或高速沉积栅极绝缘层。在两个低速绝缘层之间设置中速沉积栅极绝缘层和/或高速沉积栅极绝缘层，提高加工效率。一方面利用下部的低速沉积栅极绝缘层的较致密的特点，有效阻挡金属铜的扩散，另一方面利用上部的低速沉积栅极绝缘层的较致密特点，能够与有源层充分接触，保证绝缘层与有源层界面的清洁程度，减少界面的凹凸现象，提高电子迁移率。
薄膜晶体管及其制备方法阵列

[发明专利]阵列基板及其制作方法和显示面板-CN202111430612.0在审
发明人：鲜济遥;周佑联;许哲豪;康报虹 -专利权人：北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本申请公开了一种阵列基板及其制作方法和显示面板，所述制作方法包括步骤：提供一玻璃衬底；在所述玻璃衬底上形成多个纳米级凹坑；在所述玻璃衬底对应所述纳米级凹坑的区域形成金属层；形成阵列基板。本申请通过上述方式，提高金属层与玻璃衬底之间的附着力。
阵列及其制作方法显示面板

[发明专利]一种显示面板的制备方法和显示面板-CN202111197242.0有效
发明人：鲜济遥;孙松;刘凯军;周佑联;许哲豪;康报虹 -专利权人：惠科股份有限公司;北海惠科光电技术有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01L27/15 文献下载
摘要：本申请公开了一种显示面板的制备方法和显示面板，所述制备方法包括步骤：透明衬底上外延生长形成发光阵列；在发光阵列远离透明衬底的一侧上形成薄膜晶体管；以及在薄膜晶体管远离发光阵列的一侧加装第一衬底，并使用封装胶进行封装；在透明衬底远离发光阵列的一侧形成发光介质层；其中，所述薄膜晶体管控制所述发光阵列进行发光，所述发光介质层接收发光阵列发出的光并生成不同颜色的光进行显示。本申请通过在透明衬底上依次形成发光阵列和驱动阵列，发光阵列无需进行转移，节省显示面板的制备时间，提高生产效率。
一种显示面板制备方法

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