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[发明专利]用于搬运半导体部件承载器的设备及方法-CN201911046013.1有效
发明人： 吴仁豪;陈彦翰;胡政纲;吴丰光;刘旭水;白峻荣 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开实施例提供多种用于搬运半导体部件承载器的设备及方法。在一范例中，公开一种用于搬运半导体部件承载器的设备。此设备包括一机械手臂及耦接到机械手臂的一成像系统。机械手臂配置以固持一半导体部件承载器。成像系统配置以在将放置半导体部件承载器的表面上自动定位一目标位置。
用于搬运半导体部件承载设备方法

[发明专利]用于晶圆传输的推车、晶圆传送系统和传输晶圆的方法-CN202310213880.X在审
发明人： 吴仁豪;胡政纲;林洁君;廖嘉宏;刘承宜 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：用于晶圆传输的推车，该推车包括推车主体，推车主体包括围绕间隔的侧壁和可附接到侧壁的盖子；第一晶圆保持架，被配置为承载晶圆并且被设置在间隔内；第二晶圆保持架，被配置为承载晶圆并且被设置在间隔内以及第一晶圆保持架上方；分离器，设置在第一晶圆保持架和第二晶圆保持架之间；以及气密锁，被配置为密封推车主体，其中，分离器与推车主体彼此独立，并且气密锁包括被配置为彼此接合的插销元件和卡扣元件，卡扣元件从侧壁突出，并且卡扣元件设置在盖子上。本发明的实施例还提供了晶圆传送系统和传输晶圆的方法。
用于传输推车传送系统方法

[发明专利]晶圆处理装置和方法以及气流设备-CN202210713447.8在审
发明人： 吴仁豪;胡政纲;徐伊芃;吴政隆;刘旭水 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例涉及晶圆处理装置和方法以及气流设备。装载端口接收晶圆载体。设备前端模块(EFEM)通过EFEM壳体的出入口将半导体晶圆转移到晶圆载体和从晶圆载体转移，并且还将晶圆转移到半导体处理或描绘工具和从半导体处理或描绘工具转移晶圆。设置在EFEM的壳体内的气流设备被连接以接收具有10％或更低的相对湿度的低湿度气体，并且被定位成使接收的低湿度气体流过进入开口。气流设备的饱和压力层对低湿度气体的渗透性随着与饱和压力层的进气边缘的距离增加而增加，例如由于穿过饱和压力的不同直径和/或密度的孔层。气流设备的过滤层使离开饱和压力层的气体均匀。
处理装置方法以及气流设备

[发明专利]气流检测装置及使用方法-CN202210091348.0在审
发明人：陈与辰;吴政隆;朱延安;白峻荣;吴仁豪 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明实施例涉及气流检测装置及使用方法。气流检测装置能够检测与运输载体相关的气流问题，例如运输载体中扩散器的阻塞或转移支架的泄漏等。气流检测装置包含风洞，运输载体中的气体可以流过所述风洞。气流检测装置包含气流传感器，所述气流传感器经布置以根据流过风洞的气体的气流产生气流数据。在一些实施方案中，气流检测装置包含在气流检测系统中以执行自动测量并且确定、识别及/或检测与运输载体有关的气流问题。以这种方式，气流检测系统可以根据对扩散器阻塞或转移支架的泄漏的检测来执行一或多个自动化动作(或者可以使一或多个其它装置执行一或多个自动化动作)。
气流检测装置使用方法

[发明专利]电流和摩擦辅助加热的异质叠层板复合成形装置及方法-CN202010595385.6有效
发明人：刘欣梅;吴仁豪;李猛;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-06-27 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B21D39/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种电流和摩擦辅助加热的异质叠层板复合成形装置及方法，属于机械制造加工技术领域。装置包括与第一金属板旋转接触的第一工具头组件、与第二金属板旋转接触的第二工具头组件以及可调式时变电源，该可调式时变电源分别与第一工具头组件、第二工具头组件及异质叠层板的端部电连接。成形时，主动工具头与板料压力接触并高速旋转，通过摩擦生热和电流辅助加热的方式完成两块异质金属板料的连接及渐进同步复合成形。与现有技术相比，本发明中的成形装置及成形方法具有加工效率高、节约能源、提高零件的表面质量和轮廓精度等优点。
电流摩擦辅助加热异质叠层板复合成形装置方法

[发明专利]地板下充电站-CN202110275047.9在审
发明人：吴政隆;李幸璁;吴仁豪;朱延安;白峻荣;吴丰光 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H02J7/00 文献下载
摘要：本发明实施例涉及地板下充电站。根据本发明的一些实施例，地板下充电站可经安装于地板下方使得所述地板下充电站的顶板与所述地板的顶面基本上齐平而不触碰地面。所述顶板中的开口允许充电元件在使用时延伸以对移动机器人充电，且在不使用时缩回于所述地板下方。所述伸缩式充电元件防止绊倒的危险且允许所述移动机器人在整个无尘室中自由地移动。此外，因为在所述地板下充电站未投入使用时所述充电元件可缩回于不突出位置中，所以准许所述地板下充电站定位于所述无尘室中允许所述移动机器人在充电时继续工作及/或允许所述移动机器人不停地运行的位置。
地板充电站

[发明专利]用于自动化晶片载具搬运的装置及方法-CN202010862386.2在审
发明人： 吴仁豪;吴政隆;白峻荣;胡政纲 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种用于自动化晶片载具搬运的装置及操作方法。所述装置包括基底框架及设置在基底框架上的接合机构。接合机构包括控制器及主动扩展组件，所述主动扩展组件可移动地耦合到基底框架且由控制器控制以相对于基底框架实行往复移动。主动扩展组件由控制器驱动穿过基底框架，以与安装在晶片载具上的顶部凸缘接合。
用于自动化晶片搬运装置方法

[发明专利]一种叠层板双点同步连接与渐进复合成形装置及方法-CN201910680233.3有效
发明人： 吴仁豪;李猛;蔡圣;刘欣梅;杨梅;黄文帅;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种叠层板双点同步连接与渐进复合成形装置及方法，装置包括设于叠层板一侧的辅助板、与叠层板旋转接触的主工具头组件以及与辅助板相适配的副工具头组件；方法包括：1)设定加工轨迹；2)主工具头组件及副工具头组件基于加工轨迹分别对叠层板以及辅助板施加压力，进行渐进成形加工。与现有技术相比，本发明采用辅助板和副工具头共同提供背压力，改善侧壁连接效果；本发明可以通过调整工具头和偏置策略，满足不同加工要求，同时结合摩擦焊连接技术同步实现异质板料连接和渐进成形加工；本发明中工具头端部不设搅拌针，避免破坏板料的内部及表面结构，结构简单的工具头有效降低生产成本。
一种叠层板双点同步连接渐进复合成形装置方法

[发明专利]异质叠层板的两点数控渐进成形与同步连接复合成形方法-CN202010432014.6有效
发明人：李猛;吴仁豪;刘欣梅;蔡圣;常志东;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B21D39/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种异质叠层板的两点数控渐进成形与同步连接复合成形方法，复合成形装置包括装夹系统、工具头和支撑模，装夹系统用于固定层叠板料，工具头进行自转接触层叠板料的一面，并且按预设轨迹由板料平面中心向外作螺旋线型运动，支撑模接触层叠板料的另一面向垂直于板料平面方向作同步直线运动，控制工具头与支撑模之间的预设间隙对层叠板料施加一定挤压力进行渐进成形与同步连接。与现有技术相比，本发明能够显著提高复合板件的表面质量，以及提高最终成形零件的几何精度。
异质叠层板两点数控渐进成形同步连接复合方法

[发明专利]定位方法-CN202010977947.3在审
发明人：陈彦翰;胡政纲;吴仁豪;陈正宏;吴丰光;刘旭水;白峻荣;郭守文 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本公开的一些实施例公开一种方法，用于在一半导体制造环境中相对于一固定装置来定位一活动装置。方法包括检测在一目标定点处固定至固定装置的一目标，其中目标定点对应于目标相对于固定装置上的一参考点的一定点，基于检测目标来决定一第一位置坐标偏移值，利用第一位置坐标偏移值，相对于固定装置来移动活动装置，以训练活动装置相对于固定装置移动，以便于执行一半导体制造操作。
定位方法

[发明专利]异质叠层板单点数控连接及渐进复合成形系统及其应用-CN201910339288.8有效
发明人： 吴仁豪;王志恒;李猛;蔡圣;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明涉及异质叠层板单点数控连接及渐进复合成形系统及其应用，系统包括夹具、工具头、主轴伺服电机、驱动控制单元，夹具夹持在异质叠层板的两端，工具头与异质叠层板的表面接触，主轴伺服电机与工具头连接，经驱动控制单元控制工具头对异质叠层板进行加工。与现有技术相比，本发明不需要进行叠层板的预先连接和额外制造模具，能够实现异质板料的同步连接成形，克服异质金属材料同步连接成形能力差，加工效率低等缺点，同时结合了压力摩擦焊和渐进成形的优点。
异质叠层板单点数控连接渐进复合成形系统及其应用

[发明专利]冷却液补充机构及具有其的冷却循环系统及电子设备-CN201810151278.7有效
发明人：周志升;吴仁豪 -专利权人：纬创资通股份有限公司
申请日： 2018-02-14 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：本发明公开一种冷却液补充机构及具有冷却液补充机构的冷却循环系统及电子设备，其中该电子设备包含热源、循环管路、泵、热交换器及冷却液补充机构。循环管路热接触热源以带走部分热能，循环管路具有循环流道。泵设置于循环管路，用以令冷却液于循环流道流动。热交换器设置于循环管路，用以将热能散逸以冷却冷却液。冷却液补充机构包含储液槽体、挤压板及施力构件。储液槽体具有储液空间及出液口，出液口连通储液空间与循环流道，储液空间用以储存补充液。挤压板可活动地位于储液空间。施力构件设置于储液槽体并朝出液口的方向作用于挤压板，用以自动地迫使挤压板朝出液口方向移动，以将补充液经出液口挤至循环流道。
冷却液补充机构具有冷却循环系统电子设备

[发明专利]一种异质金属板原料的复合成形装置及方法-CN201811572310.5有效
发明人： 吴仁豪;蔡圣;常志东;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B21D31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种异质金属板原料的复合成形装置及方法，包括夹具、驱动控制单元和两个复合成形模块，两个复合成形模块对称设置于两块层叠的金属板原料的两面，两块层叠的金属板原料通过夹具固定，每个复合成形模块包括工具头、超声波机构和主轴电机，主轴电机的主轴连接工具头，控制工具头旋转接触金属板原料，超声波机构安装在主轴电机的固定部分，驱动控制单元分别连接两个复合成形模块的主轴电机，用于控制两个复合成形模块同步移动。与现有技术相比，本发明利用工具头的摩擦生热和超声波能量共同调节的方式加热两块金属板原料，在金属板原料复合的同时进行渐进成形，减少加工工序和成本，提高生产效率。
一种金属板原料复合成形装置方法

[发明专利]一种板料的复合成形装置及方法-CN201811594193.2有效
发明人：常志东;蔡圣;吴仁豪;王志恒;李猛;陈军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本发明涉及一种板料的复合成形装置及方法，包括主动工具头模块，辅助工具头、背压气缸、粉末喷头、第一驱动模块和第二驱动模块，其中，主动工具头模块包括支架，以及安装在支架上的激光器和主动工具头，主动工具头和辅助工具头相对设置，待加工的板料设置在主动工具头和辅助工具头之间，两端由夹具固定，辅助工具头连接背压气缸，第一驱动模块分别连接支架和背压气缸，带动主动工具头和辅助工具头同步运动，粉末喷头安装在主动工具头模块的同一侧，第二驱动模块连接粉末喷头。与现有技术相比，本发明将增材制造技术和渐进成形技术进行融合，实现对异质金属叠层板复合加工和渐进成形加工的一体化操作，减少加工工序和成本，提高生产效率。
一种板料复合成形装置方法

[发明专利]基于电阻焊的叠层板同步复合双点渐进成形装置及方法-CN201810954208.5有效
发明人：蔡圣;李猛;吴仁豪;陈军;李铭 -专利权人：上海交通大学;上海模具技术研究所有限公司
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： B23K11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于电阻焊的叠层板同步复合双点渐进成形装置及方法，其中装置包括分别从两侧成形叠层板的第一压头和第二压头，以及分别用于补偿第一压头和第二压头运动的两个背压气缸，所述第一压头和第二压头分别与两个背压气缸对应连接，装置还包括可调式时变电源，该可调式时变电源的一极连接至第一压头，另一极连接至第二压头，并与第一压头、叠层板和第二压头构成闭合回路。与现有技术相比，本发明提高了成形后板料的表面质量，可以通过调整输入电流实现对成形温度的控制。
基于电阻叠层板同步复合渐进成形装置方法

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