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[发明专利]真空装置-CN201880015142.1有效
发明人：铃木杰之;武者和博;松崎淳介;田宫慎太郎;南展史;中尾裕利 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供基板不会破损且能够在短时间从真空气氛改变成大气压气氛的真空装置。在处理对象物（10）和供气排气口（9）之间配置第一整流板（5），使得从供气排气口（9）喷出的升压用气体不会与搬运对象物（10）碰撞。在盖部件（16）的壁面和搬运对象物（10）之间设置第二整流板（6），使升压用气体从比搬运对象物（10）中的基板（7）高的上侧贯通孔（13）、比该基板（7）低的下侧贯通孔（23）向基板（7）和第一整流板（5）之间、基板（7）和台（15）之间导入，基板（7）不会抬起。
真空装置

[发明专利]基板输送装置和基板输送方法-CN202011049143.3有效
发明人：武者和博;南展史;铃木杰之 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。
输送装置方法

[发明专利]基板输送装置和基板输送方法-CN202011078916.0有效
发明人：武者和博;南展史;铃木杰之 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供能够保持基板的位置精度且提高基板的输送效率的基板输送装置和基板输送方法。具备：驱动部(20)，使臂(11)上升而使末端执行器(12)接收基板(S)；以及控制装置(30)，对驱动部(20)的输出进行控制来设定臂(11)的上升速度，末端执行器(12)与臂(11)之间的高度差为位置差分，从末端执行器(12)碰到基板(S)时起到末端执行器(12)完成基板(S)的接收为止的期间为过渡期间，控制装置(30)将使位置差分的加速度和加加速度中的任意一个的振幅在过渡期间比过渡期间之前小的上升速度的上限值，作为过渡期间中的上升速度的上限值。
输送装置方法

[发明专利]非接触式供电系统-CN202111330511.6在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]带静电卡盘的运输机器人的控制系统-CN201680031508.5有效
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。
静电卡盘运输机器人控制系统

[发明专利]真空处理装置-CN201780021217.2在审
发明人： 南展史;铃木杰之;武者和博;中尾裕利;佐藤诚一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供一种设置面积较小的真空处理装置。在真空槽（12）的内部配置升降板（15），将基板保持装置（27）配置到升降板（15）上而使其能够升降移动。在位于升降板（15）升降移动的升降区域（12b）的侧方的处理区域（12a）内设置上方侧处理装置（40）和下方侧处理装置（50），借助上方侧移动装置（35）和下方侧移动装置（36），使基板保持装置（27）穿过处理区域（12a）内，借助交接装置（37），在上方侧移动装置（35）或下方侧移动装置（36）与升降板（15）之间进行基板保持装置（27）的交接。由于能够在上方侧和下方侧进行真空处理，所以真空处理装置（10）的设置面积较小。
侧移动升降板基板保持装置真空处理装置处理区域处理装置升降移动交接装置升降区域真空处理真空槽侧方配置交接穿过

[发明专利]非接触式供电系统-CN201680039186.9在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： H02J50/05 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]基板运送方法和基板运送系统-CN201180036140.9有效
发明人： 南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-07-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种能够不损害位置精度而迅速转运基板的基板运送方法和基板运送系统。在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。
运送方法系统

[发明专利]输送装置及真空装置-CN201080052339.6有效
发明人： 南展史 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-11-01 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下及该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送、并且能够尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由第3左臂（3L）、第3右臂（3R）连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作而与基板（10）的侧部抵接、将基板（10）向朝向连杆机构（20）的方向施力的下游侧施力机构（7），在载置部（5）的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作、与基板（10）的侧部抵接而将基板（10）向基板输送方向施力的上游侧施力机构（9）。
输送装置真空

[发明专利]旋转传递机构、输送装置和驱动装置-CN201080032830.2有效
发明人：藤村和广;南展史 -专利权人：株式会社SOWAMD中心;株式会社爱发科
申请日： 2010-07-20 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： F16H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种可以以小段数获得高减速比的旋转传递机构、使用所述旋转传递机构的输送装置、驱动装置。旋转传递机构(10)具有内侧旋转体(1)、与内侧旋转体(1)同轴配置的外侧旋转体(2)。另外，旋转传递机构(10)具有配置于输入端(下段)(10A)的驱动旋转体(5)及旋转体(6)、配置于输出端(上段)(10B)的2个行星旋转体(3)、(4)。旋转传递机构(10)的中央形成有中空部(9)。在输入端(10A)上通过电动机(16)旋转驱动旋转体(5)时，在输出端(10B)上的2个行星旋转体(3)、(4)在自转的同时又绕内侧旋转体(1)的周围公转。此时，行星旋转体(3)、(4)极其缓慢地绕内侧旋转体(1)的周围公转。因此，可以以小段数获得高减速比。其中，中空部(9)被用作例如通过线缆的孔。
旋转传递机构输送装置驱动

[发明专利]基板传输装置-CN201080025769.9无效
发明人：相泽真也;中尾裕利;吾乡健二;浅石隆;南展史;中村伸悟 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-06-15 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。
传输装置

[发明专利]保持装置、传送装置以及旋转传动装置-CN201080014072.1无效
发明人：武者和博;南展史;安齐秀伸;樱井宏治;青山藤词郎;柿沼康弘 -专利权人：株式会社爱发科;藤仓化成株式会社;学校法人庆应义墪
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种可以抑制对象物的形状变化或保持形态的变动带来的影响，从而稳定地保持对象物的保持装置、传送装置以及旋转传动装置。本发明的传送装置具有机械手(4)及设置在机械手上的保持体(5)。保持体(5)包括具有与保持对象物紧贴的保持面并在保持面上可保持传送对象物的保持构件(7)，以及由与机械手(4)和保持构件(7)相互连接的粘弹性材料组成的粘弹性构件(6)。传送装置(1)通过粘弹性构件(6)的弹性变形，使保持构件(7)的整个面与对象物紧贴，从而能够将传送对象物保持在机械手(4)上。
保持装置传送以及旋转传动

[发明专利]一种夹持装置、输送装置及旋转传动装置-CN201080013199.1无效
发明人：武者和博;南展史;安齐秀伸;樱井宏治;青山藤词郎;柿沼康弘 -专利权人：株式会社爱发科;藤仓化成株式会社;学校法人庆应义塾
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供了一种可自由倾动地夹持输送对象的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。本发明的输送装置包括在机械手(4)上由支撑部(7)支撑的衬垫(6)。衬垫(6)处形成有凹部(8a)，通过所述凹部(8a)与固定在机械手(4)上的支撑部(7)的咬合，可倾动地支撑衬垫(6)。通过衬垫(6)的黏着层(10)的黏着来夹持输送对象，通过衬垫(6)相对于衬垫(4)的倾动运动，迎合输送对象的形状或追踪其振动，从而实现对输送对象的稳定输送。
一种夹持装置输送旋转传动

[发明专利]密封机构及处理装置-CN200980149584.6有效
发明人：武者和博;南展史;山田清隆 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-12-02 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： F16J15/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供一种能够降低为补充润滑剂而作的保养的频度并且摩擦阻力较小的密封机构以及配备有该密封机构的处理装置。为达到上述目的，密封机构(100)的突出状密封件(12)配置在驱动轴(25)的外周，其突出状部(12b)具有与驱动轴(25)接触的密封部(12c)。分隔壁部件(15)安装在驱动轴(25)上，封闭安装部件(30)的下部的开口，且与突出状密封件(12)相面对。至少由安装部件(30)与分隔壁部件(15)形成用于收装润滑剂(16)的容器。在分隔壁部件(15)与保持基座体(60)之间设有间隙(17)，且该间隙(17)不会使润滑剂(16)通过。通过这样的结构，能够确保收装润滑剂(16)的空间，同时，密封机构(100)与驱动轴(25)接触的部分仅为突出状密封件(12)的密封部(12c)。
密封机构处理装置

[发明专利]输送装置及真空装置-CN200980141034.X有效
发明人： 南展史 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-10-15 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种不仅在低温下、在高温环境下也可靠地保持输送物而实现高速输送、并且使输送物的输送时的灰尘减少的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由驱动连杆部连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）中，设有用来与基板（10）的侧部抵接而卡止的卡止部（5a、5b），并且在连杆机构（20）的驱动连杆部中设有由凸轮机构实现的施力单元（9）。施力单元（9）具备设在连杆机构（20）的驱动连杆部上的凸轮驱动面（31L、31R）、和具有抵接在凸轮驱动面（31L、31R）上而能够从动的从动辊、具有对应于该从动辊的移动而被朝向载置部（5）的卡止部（5a、5b）导引移动的凸状的施力部（6a）的从动机构部（6）。
输送装置真空

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