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[发明专利]一种用于TFT-LCD的PVD设备的自动滚刷机构-CN202111205072.6有效
发明人：刘晓阳;区炜锋 -专利权人：深圳市墨提斯科技有限公司
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B08B9/36 文献下载
摘要：本发明提供一种用于TFT‑LCD的PVD设备的自动滚刷机构，包括底座和滚轮，所述底座的顶部通过轴销对称转动连接有滚轮，所述底座上端的一侧固定有连接板，所述连接板远离底座的一侧固定有底部封板，所述底部封板的顶部等距固定有电机安装板，所述底部封板内壁两侧的两个电机安装板的外侧均等距固定有减速箱，所述减速箱远离电机安装板的一侧固定有第三电机，且第三电机的输出端与减速箱的输入端固定，本发明能够对PVD设备上的托盘底部的杂质进行自动清理，从而能够有效地提高产品的良品率，且能够对清除下来的杂质进行有效的收集，并能够自动进行杂质收集装置的更换工作，极大的降低了更换积尘组件对生产效率带来的影响。
一种用于 tft lcd pvd 设备自动机构

[发明专利]显影液回收系统-CN201780060322.7有效
发明人： 区炜锋 -专利权人：深圳市柔宇科技股份有限公司
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：提供了显影液回收系统，该系统包括：显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。
显影液回收系统

[实用新型]一种光刻胶汲取器-CN202122092356.0有效
发明人： 区炜锋 -专利权人：深圳市墨提斯科技有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B05C11/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶汲取器，至少包括密封盖和汲取管，所述汲取管连接至所述密封盖，所述密封盖呈中空状以限定出中空型腔，所述汲取管与所述中空型腔连通，在汲取管的第一端部连接至所述密封盖的情况下，汲取管的第二端部上设置有长度能够增大或减小的弹簧管，所述弹簧管至少包括卡接头和波纹管，所述卡接头设置于波纹管的第一端上，所述卡接头至少包括第一半环体和第二半环体，所述第一半环体和所述第二半环体能够彼此片拼接形成圆环体，所述圆环体的内径小于汲取管的外径。
一种光刻汲取

[实用新型]一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置-CN202122094513.1有效
发明人： 区炜锋 -专利权人：深圳市墨提斯科技有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调整光刻胶侧边角度的曝光装置，至少包括底座、曝光壳体、曝光腔和曝光架，所述曝光壳体设置于所述底座上，所述曝光壳体呈中空状以限定出所述曝光腔，所述曝光架滑动设置于所述曝光腔中，所述曝光腔中设置有曝光罩，所述曝光罩位于所述曝光架的上方，其中，所述曝光罩具有第一区域和第二区域，所述第一区域上设置有若干个第一曝光区，所述第二区域上设置有若干个第二个曝光区，在第一曝光区和第二曝光区的各自的形状均由圆形限定的情况下，第一曝光区的直径小于第二曝光区的直径。
一种调整光刻侧边角度曝光装置

[发明专利]承载装置及真空干燥设备-CN201880093904.X在审
发明人： 区炜锋;郑宏海;徐顺龙;陈晓妮 -专利权人：深圳市柔宇科技股份有限公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种承载装置，包括两个支撑件(10)及设置于两个所述支撑件(10)之间的至少一个承载组件(30)，每个承载组件(30)包括承载基台(31)及能够调节地设置于所述承载基台(31)上的至少一个顶针(33)。承载装置及包括该承载装置的真空干燥设备，避免顶针出现在不该出现的部位，能够重复利用。
承载装置真空干燥设备

[发明专利]真空干燥装置及真空干燥方法-CN201910130466.6在审
发明人：汪明建;徐凯;区炜锋 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空干燥装置及真空干燥方法。该真空干燥装置包括腔室以及设于所述腔室中的多个支撑杆，所述支撑杆用于支撑液晶母板，所述液晶母板包括多个间隔设置的液晶面板以及包围每个液晶面板的外围区域，所述多个支撑杆包括对应支撑液晶面板的多个第一支撑杆以及对应支撑外围区域的多个第二支撑杆，提高支撑杆的数量以降低液晶母板在每一个支撑点位受到的压强，避免液晶母板在真空干燥时单点受力过大而导致形成Mura，并且针对同一尺寸的液晶母板生产不同尺寸的液晶面板时，不需要切换支撑杆排布方式，以一种通用的支撑杆排布方式满足所有尺寸的液晶面板的生产，提高产能。
支撑杆液晶面板母板液晶真空干燥装置排布方式外围区域支撑腔室压强间隔设置通用的产能单点点位受力包围生产

[发明专利]支撑构件-CN201410212368.4有效
发明人： 区炜锋;梁元豪;刘丽军 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： F16M11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种支撑构件，包括：一外壳；一支撑杆，具有第一末端和第二末端，所述支撑杆具有卡设部，所述卡设部位于所述第一末端和所述第二末端之间；以及一调整构件，套接于所述外壳内，所述调整构件具有一容纳室和一第一通孔，所述第一通孔与所述容纳室相连，所述容纳室内设置有一弹簧，所述支撑杆穿过所述第一通孔，所述支撑杆的所述卡设部设置于所述容纳室内，所述支撑杆的第一末端露出于所述调整构件外，所述支撑杆的第二末端穿过所述弹簧，所述卡设部与所述弹簧接触；其中，所述外壳的横截面的形状与所述调整构件的横截面的形状对应。本发明的支撑构件能实现对弹簧的压缩量的调节，从而实现对弹簧的长度衰减的补偿。
支撑构件

[发明专利]一种热处理装置-CN201310212971.8有效
发明人： 区炜锋 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种热处理装置。所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。本发明的热处理装置包括至少两个冷热源，在需要改变制程温度时，可以通过切换机构改变与导热板接触的冷热源，由此快速改变制程温度。
一种热处理装置

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