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[发明专利]准分子激光器能量掉点恢复方法及装置-CN202210415545.3在审
发明人：梁赛;冯泽斌;王吉亮;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;陈佩佩 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔(104)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔(104)在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值；在主振荡放电腔(103)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一次脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
准分子激光能量恢复方法装置

[发明专利]激光器的波长调整方法及计算设备-CN202210388557.1在审
发明人：王香;冯泽斌;刘广义;李娟娟;袁海涛;梁赛;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器的波长调整方法及计算设备。在本申请实施例中，基于目标波长，获取激光器发射的不同波长与用于调整波长的不同电机运动位置之间的多个映射关系；获取最准确的映射关系，并确定电机运动位置，作为第一运动位置，控制电机运动到第一运动位置，以获取第一波长；根据目标波长、第一波长以及最准确的映射关系，确定电机第二运动位置，控制电机运动到第二运动位置，并获取第二波长；根据目标波长、第一波长以及第二波长确定第一定位误差，根据第一定位误差与第二定位误差进行对比，确定第二波长是否满足最准确的映射关系，在满足的情况下，完成激光器发射目标波长的调整。能够快速地实现激光器的波长调整和定位。
激光器波长调整方法计算设备

[发明专利]准分子激光器能量掉点检测方法及装置-CN202210406979.7在审
发明人：梁赛;冯泽斌;王吉亮;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌;陈佩佩 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量掉点检测方法及装置。该方法包括以下步骤：接收来自MO能量传感器的主振荡放电腔在当前脉冲的出光能量，并且计算预先设定的脉冲数量N的主振荡放电腔的出光能量的均值，判断出主振荡放电腔是否出现能量掉点；接收来自PA能量传感器的功率放大放电腔在当前脉冲的出光能量；并且，结合功率放大放电腔的预先设定的能量目标以及预先设定的脉冲数量N的功率放大放电腔的出光能量的均值，判断出功率放大放电腔是否出现能量掉点。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
准分子激光能量检测方法装置

[发明专利]光栅衍射效率测量装置和光栅衍射效率推算方法-CN202210362153.5在审
发明人：桑琦;魏晓马;邓明翰;孔令浩;常庆麒 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种光栅衍射效率测量装置，包括：设置在基台上的激光组件、光电探测组件、待测光栅组件以及通信连接的控制设备；激光组件设置在以待测光栅组件为圆心以R1为半径的第一圆弧上，包括激光器；光电探测组件对应设置在以R2为半径的第二圆弧上和以R3为半径的第三圆弧上；待测光栅组件设置在第一圆弧、第二圆弧的同心位置；测量时，光电探测组件用于测量激光器出射光功率，控制设备用于确定激光器在不同角度对应偏振态下相对待测光栅的闪耀级次，控制光电探测组件移动至衍射级次光路处，以获得不同角度对应偏振态下的衍射光及激光器出射光的功率数据比值的平均值作为待测光栅的测量衍射效率值。本申请还公开一种光栅衍射效率推算方法。
光栅衍射效率测量装置推算方法

[发明专利]激光器风机振动干扰信号提取方法、装置及激光器-CN202310798189.2在审
发明人：梁赛;刘锴锋;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及激光器风机振动干扰信号提取方法、装置及激光器，所述方法包括：根据风机振动干扰信号特性，构建陷波滤波器；根据陷波滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的首脉冲时，利用首脉冲对应的输出能量初始化陷波滤波器输入参数，得到对应的输出结果；当前脉冲为所属burst的非首脉冲时，利用当前脉冲对应的输出能量、同一burst内上一个脉冲的输出结果及输出能量，设置陷波滤波器输入参数，得到对应的输出结果；根据陷波滤波器的输出结果提取对应的干扰信号幅值。本发明能够直接提取激光器风机的干扰信号，为干扰补偿控制算法提供基础。
激光器风机振动干扰信号提取方法装置

[发明专利]基于风机干扰补偿的准分子激光器恒能量控制方法、装置及激光器-CN202310800263.X在审
发明人：刘锴锋;梁赛;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及基于风机干扰补偿的准分子激光器恒能量控制方法、装置及激光器。所述方法包括：获取当前脉冲的输出能量，干扰补偿模块提取对应风机的干扰信号，预估同一burst内下一脉冲的干扰补偿电压；获取激光器输出的目标能量，能量控制模块根据当前脉冲的输出能量和对应干扰信号，进行PI控制：当前脉冲位于所属burst的超调部分时，输出下一burst相同位置脉冲的电压增量，调节下一burst相同位置脉冲的输入电压；当前脉冲位于所属burst的非超调部分时，输出同一burst内下一脉冲的电压增量，结合对应干扰补偿电压，调节同一burst内下一脉冲的输入电压。本发明能够考虑其风机的振动干扰，从而保证了输出单脉冲能量稳定性以及剂量稳定性。
基于风机干扰补偿准分子激光能量控制方法装置激光器

[发明专利]数据的存储方法及计算设备-CN202210301987.5在审
发明人：王香;冯泽斌;李娟娟;袁海涛;梁赛;江锐;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06F16/22 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种数据的存储方法及计算设备。在本申请实施例中，创建第一数据库，用于接替第二数据库持续存储待存储数据；根据创建的第一数据库，确定数据库的状态信息表示为第一数据库，以指示第一数据库可进行数据存储；根据数据库的状态信息表示为第一数据库，将第二数据库切换为第一数据库，并将获取到的待存储数据存储至第一数据库。由此实现了数据在受到文件格式限制的情况下，能够将激光器产生的数据全部进行存储，并且保证激光器能够稳定运行。解决了在操作系统和文件格式受限的情况下，数据量过大导致无法继续进行数据存储的问题。
数据存储方法计算设备

[实用新型]脉冲式电源负载-CN202320948749.3有效
发明人：郭威;吕成伟;杨艳兵 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本申请实施例提供脉冲式电源负载，该电源负载，是与待测电源进行连接的电源负载组件；其中，电源负载组件包括：电容、用于控制电容进行充电的至少一个第一开关器、用于控制电容放电的至少一个第二开关器以及通过电容进行充电的负载，电容通过至少一个第一开关器与待测电源连接；电容的容量与待测电源对应的负载电容的容量相同，且电容的耐压级别与待测电源的充电电压相匹配。该电源负载模拟了待测电源的实际工作环境，可以实现对脉冲电源的离线测试。
脉冲电源负载

[实用新型]一种新型静电除尘结构及其金属氟化物颗粒捕集装置-CN202223420680.1有效
发明人：姜鑫先;陈文斌;张寅虎;林世超;牛自彪;刘斌;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B03C3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种新型静电除尘结构及其金属氟化物颗粒捕集装置，新型静电除尘结构包括在气体流动方向上依次设置有电离区和除尘区；电离区的气体出口与所述除尘区的气体入口连接；所述电离区包括相对布设的两个侧板，用于合围出电离区气体流道；所述电离区的气体入口处设置有壁板；所述壁板上设置透气孔，用于气体通过进入电离区；所述电离区设置有高压电极，用于对被净化气体进行电离处理；高压电极设置在所述壁板的中心轴线上；壁板的两侧与两个侧板连接；壁板与侧板由导电材料制成，且接地设置。本申请通过设置壁板且接地设置，从而保证电晕放电区域呈半圆形均匀分布，同时增大了电离区域，粉尘被电离、负载荷电的效率大大提高。
一种新型静电除尘结构及其金属氟化物颗粒集装

[发明专利]激光光斑尺寸的计算方法及装置-CN202310800571.2在审
发明人：吴亦轩;赵玉平;詹绍通;赵超越;刘斌;刘广义;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光光斑尺寸的计算方法和装置，所述计算方法包括：通过CCD获取光斑信息；基于光斑信息和预设阈值，确定光斑位置中心；基于光斑位置中心，得到初版粗略光圈；基于初版粗略光圈，获取初始光圈；基于初始光圈，确定光斑尺寸。采用上述方法，解决了现有技术中计算光斑尺寸过程繁琐的问题。
激光光斑尺寸计算方法装置

[发明专利]准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器-CN202310800259.3在审
发明人：梁赛;刘锴锋;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机振动干扰补偿方法、装置及激光器，所述方法包括：获取激光器输出当前脉冲的输出能量，通过各陷波滤波器提取对应风机振动干扰信号；针对每组提取的干扰信号，通过对应超前滤波器预估下一脉冲的干扰信号；由每组预估的下一脉冲的干扰信号计算对应电压增量，叠加后得到下一脉冲的补偿电压；将下一脉冲的补偿电压加入当前脉冲的输入电压中，构成下一脉冲输入电压。本发明能够直接堵风机振动干扰进行补偿，稳定光源的输出能量和剂量，从而提高光源性能。
准分子激光风机振动干扰补偿方法装置激光器

[发明专利]准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器-CN202310803066.3在审
发明人：刘锴锋;梁赛;冯泽斌;徐向宇;江锐 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器。所述方法包括：分别设计二阶低通滤波器和二阶高通滤波器；将二阶低通滤波器和二阶高通滤波器级联得到带通滤波器；根据带通滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的首脉冲时，利用首脉冲对应的输出能量初始化带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；当前脉冲为所属burst的非首脉冲时，利用当前脉冲对应的输出能量、同一burst内上一个脉冲的输出结果及输出能量，设置带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；根据带通滤波器的输出结果提取对应的干扰信号幅值。本发明能够直接提取干扰信号。
准分子激光风机干扰信号提取方法装置激光器

[实用新型]一种棱镜粘胶固定调节工装-CN202223428144.6有效
发明人：郭媚媚;孔令浩;李梦龙;张艳茹;常庆麒 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种棱镜粘胶固定调节工装，其包括底座、定位垫板、压板和连接螺钉；棱镜通过粘接方式固定在所述定位垫板上；所述定位垫板置于所述底座上，定位垫板与所述底座之间设置有定位结构，用于防止定位垫板相对于所述底座在水平投影内活动；所述压板自上方将所述棱镜压紧固定；若干个所述连接螺钉两端分别与所述压板和所述底座连接，用于调节压板的压紧力。本实用新型结构简单，通过粘接方式改善了现有棱镜的固定方式，防止棱镜在运输振动过程中发生松动而使光路偏移，保证棱镜的安装精度，提高光路稳定性；同时采用连接螺钉调节压板对棱镜压力，使棱镜在压紧后面形变化不会太大，以及便于更换和调整。
一种棱镜粘胶固定调节工装

[发明专利]一种光栅衍射效率测量装置-CN202210257503.1在审
发明人：徐继涛;刘广义;江锐;徐向宇;赵江山 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开一种光栅衍射效率测量装置，包括：激光光源，利特罗准直单元，探测装置；所述利特罗准直单元包括：偏振分束组件、对准光阑、准直镜、光反射衍射组件、转台；所述光反射衍射组件包括待测光栅和参考平面镜；所述转台用于承载所述待测光栅或参考平面镜；所述偏振分束组件设置于所述激光光源的出射光束的光路中，所述对准光阑、准直镜和光反射衍射组件依次设置于所述偏振分束组件的透射光路中。本申请实现了光栅衍射效率测量中完全利特罗角度入射的光路结构，解决了入射光束与衍射光束不重合的问题，可准确测量光栅在利特罗结构应用中的衍射效率测量问题。
一种光栅衍射效率测量装置

[发明专利]激光器输出光斑特性测量装置及方法-CN202310719665.7在审
发明人：赵玉平;詹绍通;赵超越;刘广义;吴亦轩;徐向宇 -专利权人： 北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供激光器输出光斑特性测量装置及方法，包括分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头及探测装置；分束镜设置于待测激光光路中，将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；沿第一光束和第二光束传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径长短及方向，并将第一光束和第二光束分别投射至光波长转换元件表面不同位置；光波长转换元件将接收的第一光束和第二光束转换为可见光；远心镜头和探测装置依次设置光波长转换元件之后，远心镜头将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置，探测装置采集可见光斑信息。本申请是通过光波长转换元件将待测激光转化为可见光，以间接测试待测激光的光斑特性。
激光器输出光斑特性测量装置方法

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