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[发明专利]机械手零点位置自动校准的方法及传输位置校准的方法-CN202111614098.6有效
发明人：刘小俊;左少杰;李春龙;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，具体公开了一种机械手零点位置自动校准的方法及机械手传输位置校准的方法，包括以下步骤：对第X组机械臂上转轴的零点位置进行校准；包括以下步骤：驱动所述机械上臂朝靠近所述机械下臂的方向运动；获取所述第一激光器、第二激光器之间收发的激光强度，并判断所述激光强度的高低；确定所述激光强度达到预设最高值并记录此时所述步进马达的步数Sx，将步数Sx作为所述转轴校准后的零点位置，其中，N为正整数，X选自1至N的正整数。本申请通过在机械上臂设置第一激光器、机械下臂设置第二激光器，根据激光强度实现对零点位置的校准，减少零点位置校准的时间和大幅提高零点位置校准精度。
机械手零点位置自动校准方法传输

[实用新型]一种新型半导体静电吸盘-CN202320607387.1有效
发明人：王磊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型半导体静电吸盘，包括静电吸盘本体，所述静电吸盘本体外表面设置方形框，方形框上端对称开设滑槽，滑槽内设置螺纹杆，螺纹杆左端转动连接滑槽内壁，螺纹杆右端穿过方形框，螺纹杆右端安装链轮，两个链轮外表面共套设链条，螺纹杆外表面套设螺纹套，螺纹套上端安装电动伸缩杆，电动伸缩杆上端安装匚型板，方形框上方设置移动板，移动板侧面固定连接两个匚型板。本实用新型将湿布和干布安在移动板下端，电机带动移动板移动，移动板带动湿布和干布移动，湿布先对静电吸盘本体上端面进行清理，然后干布将静电吸盘本体上端面湿的地方清理干净，使静电吸盘本体保持干燥，清理方便快捷，省时省力。
一种新型半导体静电吸盘

[实用新型]一种静电吸盘的加热机构-CN202223055512.7有效
发明人：王磊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种静电吸盘的加热机构，包括放置板和静电吸盘主体，所述放置板的外部设置有固定组件，所述放置板的外部设置有加热组件，所述固定组件包括固定安装于放置板底部的伺服电机，所述伺服电机的输出轴上固定连接有螺纹转杆，所述螺纹转杆的外部螺纹连接有固定夹板，所述加热组件包括固定安装于放置板顶部的安装板，所述放置板的顶部固定连接有限位板，所述限位板的内部开设有安装口，所述安装口的内壁上固定连接有安装架，所述安装架的内部固定连接有风扇。该静电吸盘的加热机构，通过启动加热盘对静电吸盘主体的指定部位进行加热，通过启动风扇使静电吸盘主体的温度快速降低，便于对静电吸盘主体快速进行拆卸工作，提高了工作效率。
一种静电吸盘加热机构

[发明专利]一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜-CN202111576265.2有效
发明人：左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B24B37/11 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的隔膜，该隔膜通过增大圆形膜片的直径并相应增大隔膜第一区的宽度，使第一区可直接接触晶圆并作用于晶圆边缘部分，同时利用第一卡环底部的凸起结构将晶圆固定，从而实现晶圆边缘厚度的精确控制，实现晶圆表面的平坦化。
一种用于化学机械研磨设备隔膜

[实用新型]一种石英管切割的定位机构-CN202223086026.1有效
发明人：陈涛 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石英管切割的定位机构，包括一号支撑架、二号支撑架和石英管本体，所述一号支撑架和二号支撑架上均固定连接有定位圈，所述定位圈由底部固定环和顶部固定环组成，所述底部固定环和顶部固定环活动铰接，所述一号支撑架和二号支撑架之间设有调节间距的调节组件，所述定位圈上设有对石英管本体夹持的夹持结构；所述调节组件包括固定在一号支撑架和二号支撑架相对侧的第一调节套和第二调节套。该石英管切割的定位机构，通过旋转把手带动双向螺杆旋转，使得第一调节套和第二调节套靠近或远离，从而对一号支撑架和二号支撑架的间距进行调节，从而便于对不同长度的石英管本体进行定位，达到便于对不同长度的石英管定位等优点。
一种石英管切割定位机构

[发明专利]电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备-CN202211422719.5在审
发明人：王磊;徐忠元;丁常天 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请涉及刻蚀技术领域，尤其涉及电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备。其中电极固定装置包括连接件和分体式固定杆，连接件的底部开设有凹槽，连接件的顶部开设有通孔；分体式固定杆包括杆头和杆体，杆头以可拆卸的方式固定于杆体穿过通孔的一端，杆头不穿过通孔。根据本发明的电极固定装置，当连接件的通孔因为气体的腐蚀而孔径变大后，可以拆卸杆头和杆体，单独更换更大一些的杆头，这样可以继续保证连接件和分体式固定杆的固定关系，防止电极固定装置失效，这样单独更换杆头，可以大幅降低维护所需的成本，电极固定装置的适用范围也变得更广泛。
电极固定装置维护方法刻蚀设备

[实用新型]一种耐高温的氟硅密封圈-CN202221754904.X有效
发明人：陈涛 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： F16J15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种耐高温的氟硅密封圈，包括氟硅密封圈本体，氟硅密封圈本体的内部填充有冷却液，氟硅密封圈本体的内部分别固定连接有延伸至氟硅密封圈本体外部的加水管和排水管，加水管和排水管的外部均螺纹连接有密封套。该耐高温的氟硅密封圈，通过氟硅密封圈本体的内部分别固定连接有延伸至氟硅密封圈本体外部的加水管和排水管，便于往氟硅密封圈本体的内部添加冷却液，通过加水管和排水管的外部均螺纹连接有密封套，能够有效增强氟硅密封圈本体整体的密封性，通过氟硅密封圈本体的内部填充有冷却液，便于对氟硅密封圈本体产生的热量进行吸热处理，能够有效提高氟硅密封圈本体整体的耐温效果，达到了耐高温效果好的优点。
一种耐高温密封圈

[实用新型]一种防护效果好的石英管-CN202221517400.6有效
发明人：陈涛 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防护效果好的石英管，包括管体，所述管体的外周壁且靠近顶部处固定套装有顶部防护圈，所述管体的外周壁且靠近底部处固定套装有防护套，所述管体的底面连通有排管，且排管贯穿防护套的底部并延伸至其底部，所述管体的外周壁且位于中间处固定套装有橡胶套，所述橡胶套的外周壁固定安装有数量为多个的凸块，所述管体的外周壁且位于正面处刻有刻度尺。该防护效果好的石英管，通过管体外周壁的顶部防护圈以及防护套，可使得管体在与地面或者坚硬物发生碰撞致，减少管体与坚硬物接触，从而使得顶部防护圈以及防护套的软性物质与坚硬物接触，进而达到防护管体的作用，提高了整个石英管的实用性。
一种防护效果石英管

[发明专利]等离子体处理设备及处理方法-CN202210425870.8在审
发明人：王磊;徐忠元 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体技术领域，具体公开了一种等离子体处理设备及处理方法，包括：内稳压桶，两端具有开口，且内稳压桶上开设有第一气孔；外稳压桶，两端具有开口，套设在内稳压桶的外侧，外稳压桶上开设有第二气孔，且外稳压桶相对于内稳压桶可转动，以调整第二气孔与第一气孔的错开或重合；第一电极板设置在外稳压桶的底端开口处；内稳压桶、第一电极板以及第二电极板围绕构成等离子体反应腔。本申请通过在内稳压桶外侧设置外稳压桶，且所述外稳压桶相对于所述内稳压桶可转动，以调整所述第二气孔与所述第一气孔的错开或重合，从而实现了等离子体反应腔内的气压随着第二气孔和第一气孔的相对位置进行变化的目的。
等离子体处理设备方法

[发明专利]弹性接触器及半导体制程腔室-CN202210243374.0在审
发明人：刘小俊;徐忠元;李春龙;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01R13/33 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备领域，具体公开了一种弹性接触器及半导体制程腔室，包括：管状弹性本体，本体的截面呈螺旋状，沿本体的长度方向，于本体上开设若干个缺口。本申请的弹性接触器的横截面呈螺旋状，接触面积大，回弹力强，保证了与上盖和底座紧密的接触，有效的电导通；本申请的弹性接触器上开设若干个缺口，使得弹性接触器可适配上盖和下盖的导电沟槽的形状。
弹性接触器半导体制程腔室

[发明专利]半导体芯片生产设备的传送装置-CN202210249774.2在审
发明人：刘小俊;徐忠元;李春龙;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，具体公开了一种半导体芯片生产设备的传送装置，包括：夹持结构，包括夹持本体以及与夹持本体连接的从动轴；真空室，夹持本体设置在真空室内；内磁转子，与从动轴连接；外磁转子，与主动轴连接，内磁转子和外磁转子间由磁力耦合构成联动；隔离套，设置在外磁转子和内磁转子之间，隔离套固定在真空室外壁上并将内磁转子和从动轴罩在其中与外界隔离。隔离套将内磁转子与外界大气完全隔开，让作用于外磁转子上的动力通过磁力穿过隔离套传递给内磁转子，由内磁转子来带动工作转子运行，从而实现无机械动密封的全静密封动力传递，解决了动力传动轴机械密封泄漏问题，保证了真空室有效的密封，隔绝外部传动部分对真空室的污染。
半导体芯片生产设备传送装置

[发明专利]耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法-CN202210119168.9在审
发明人：刘小俊;胡如健;李春龙;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法，该耐腐蚀的气体喷淋头包括：喷淋头本体，包括进气面和与所述进气面相对设置的出气面；多个气孔，贯穿所述进气面和所述出气面设置；所述出气面上由内到外依次设置有保护层和阻挡层，所述保护层用于保护所述喷淋头本体以免被腐蚀，所述阻挡层用于阻挡所述保护层与等离子体发生反应。该气体喷淋头通过在喷淋头本体的出气面覆盖一层抗腐蚀性能力较强的保护层，同时在保护层上再覆盖一层阻挡层，可以保护喷淋头本体以免被腐蚀，提高耐腐蚀性，使其具有更佳的稳定性。
腐蚀气体喷淋及其制作方法

[发明专利]分子泵-CN202210212040.7在审
发明人：刘小俊;陈涛;李春龙;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及真空泵技术领域，具体公开了一种分子泵，包括：机体，内部具有腔体，所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口，所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口；注入管路，与所述入口连通，以将外部的自清洁剂导入所述腔体内；排出管路，与所述出口连通，以将所述腔体内的残余液体排出。本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路，可以将自清洁剂自注入管路注入机体内，并将机体内的残余液体从排出管路排出机体，起到了清洁机体腔体的作用，延长了分子泵的寿命，减少故障率。
分子

[发明专利]一种用于化学机械研磨设备的研磨头-CN202111406652.1在审
发明人：左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B24B37/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头，其通过在挡圈外围设置整理环和位于所述整理环上方的环形气囊，使研磨头兼具研磨功能和整理功能，简化了结构设计。另外，由于本发明将整理环集成在研磨头上，因此，相比现有技术，本发明解决了整理器与研磨头容易相撞的问题。此外，本发明的整理环的下表面积比现有的整理器的下表面积更大，因此，提高了对研磨垫的整理效率。
一种用于化学机械研磨设备

[发明专利]一种用于离子注入机的离子源的灯丝-CN202111321156.6在审
发明人：陈涛;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 -专利权人： 北京子牛亦东科技有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于离子注入机的离子源的灯丝，其活性部分的纵截面积为70‑90mm2；其中，用于所述离子源的阴极固定装置包括：紧固件；卡具，所述卡具设置在阴极外围，其上设置有凸块，所述凸块上设置有连接孔，所述连接孔用于配合紧固件将所述卡具固定在阴极上；以及支撑结构，所述支撑结构通过紧固件与所述凸块连接。本发明的灯丝需要配合新型的阴极固定装置一起使用，该阴极固定装置取消了阴极杯体底部中心的中间杆，增大了阴极空腔中的可利用空间；在此基础上，本发明人通过改变灯丝的活性部分的尺寸和形状增大了灯丝的活性部分的纵截面积，减小了灯丝电流，从而使得能够在确保灯丝的热电子释放效率的同时，延长灯丝的使用寿命。
一种用于离子注入离子源灯丝

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